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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]一种圆形基板版架-CN202321110355.7有效
发明人：蔡海;李周坤 -专利权人： 深圳市精石光掩膜技术有限公司
申请日： 2023-05-10 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： G03F1/60 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种圆形基板版架，涉及光掩膜基板技术领域，包括支撑架和三个架板，三个所述架板的上端且位于两侧边缘位置处均设置有夹持装置，所述夹持装置包括放置座和升高结构，所述放置座的上端且靠近两侧边缘位置处均设置有弧形乳胶块，所述放置座的上端靠近四角处均贯穿开设有长孔，所述放置座的内部设置有多个凹形座，多个所述凹形座的内部均固定安装有支撑弹簧。本实用新型，能够防止圆形光掩膜在架板上滑动，防止圆形光掩膜从架板上滑落到地面上，防止对圆形光掩膜造成损坏，降低经济上的损失，同时，通过设置弧形乳胶块，其材质为乳胶制作而成，能够对圆形光掩膜起到保护作用，防止对圆形光掩膜的外侧壁造成磨损。
一种圆形基板版架

[实用新型]一种检查治具-CN202321015386.4有效
发明人：李昌科;李周坤 -专利权人： 深圳市精石光掩膜技术有限公司
申请日： 2023-04-28 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种检查治具，涉及检查设备技术领域，包括安装架，所述安装架与滑槽固定连接，所述滑槽与滑块滑动连接，所述滑块与一号连接架固定连接，所述一号连接架与二号伺服电机固定连接，所述二号伺服电机与转轴固定连接，所述转轴与二号连接架转动连接，所述二号连接架与滑块固定连接，所述转轴与限位板固定连接，所述限位板与连接框固定连接，所述限位板与螺纹杆滑动连接，所述螺纹杆与吸盘固定连接，且螺纹杆与固定螺母固定连接。本实用新型，通过二号伺服电机带动转轴转动半圈，带动限位板翻转一面，此时光掩膜基版另一面朝上，再通过二号伺服电机翻转，带动光掩膜基版另一面进行检查，提高检查的效率。
一种检查

[实用新型]一种涂胶夹持装置-CN202321027570.0有效
发明人：李昌科;李周坤 -专利权人： 深圳市精石光掩膜技术有限公司
申请日： 2023-05-04 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： B05C13/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种涂胶夹持装置，涉及夹持装置技术领域，包括安装板，所述安装板与固定板固定连接，所述固定板与一号电液推杆固定连接，所述一号电液推杆与夹持固定架固定连接，所述夹持固定架与移动滑块固定连接，所述移动滑块与滑槽滑动连接，所述夹持固定架与限位导轨固定连接，所述限位导轨与限位滑块滑动连接，所述限位滑块与夹板固定连接。本实用新型，夹板在相对移动时，夹板带动限位滑块沿限位导轨表面进行滑动，通过限位导轨对限位滑块进行限位，提高夹板夹紧移动时的稳定性，便于对光掩膜基版材料两侧进行水平夹紧，避免一侧的夹板在夹紧过程中的出现竖直方向的位移，导致光掩膜基版材料两侧的高度不同。
一种涂胶夹持装置

[实用新型]一种大尺寸版架-CN202320810506.3有效
发明人：萧训山;谭斌 -专利权人： 深圳市精石光掩膜技术有限公司
申请日： 2023-04-13 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型提供一种大尺寸版架，涉及光掩膜基板技术领域，包括壳体，所述壳体内侧设置有支撑台，所述壳体内侧设置有定位机构；所述定位机构包括转动台和移动块，所述转动台顶部表面设置有螺旋状滑槽，所述滑槽位于支撑台内侧，所述转动台位于支撑台下方，所述转动台上方设置有三个滑动块，所述滑动块底部固定连接有移动块，所述移动块底部固定连接有多个卡块，所述卡块位于滑槽内部，所述滑动块一侧固定连接有挤压垫。本实用新型将大尺寸版架放置在三个限位块内侧，然后通过转动轴、驱动齿轮、齿条、转动台、滑槽和卡块可以控制三个滑动块移动，然后通过三个挤压垫将需要加工的大尺寸版架定位好，可以适应于不同尺寸的基板。
一种尺寸

[实用新型]一种光刻胶均匀性的托盘-CN202320920716.8有效
发明人：萧训山;谭斌 -专利权人： 深圳市精石光掩膜技术有限公司
申请日： 2023-04-23 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本实用新型提供一种光刻胶均匀性的托盘，涉及光掩膜基版涂胶装置技术领域，包括底板，所述底板的顶面活动连接有伺服电机，所述伺服电机的输出轴端固定连接有托盘本体，所述托盘本体的顶面设置有收缩槽，所述收缩槽的内壁固定安装有第二电缸。本实用新型通过启动第二电缸拉动活动板使得两个防滑胶条对托盘本体上的光掩膜基版进行同时夹持固定，使得光掩膜基版在托盘本体上快速中心对齐，从而便于后续涂胶位置的准确性，利用防滑胶条对光掩膜基版两侧进行一定的包裹，增大接触面积提高了摩擦力，从而使得光掩膜基版在托盘本体上保持足够的稳定性，在转动涂胶时不易回转造成涂胶部位重叠，保证了涂胶的均匀性。
一种光刻均匀托盘

[实用新型]一种多片装清洗架-CN202320853858.7有效
发明人：萧训山;谭斌 -专利权人： 深圳市精石光掩膜技术有限公司
申请日： 2023-04-17 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： G03F1/82 文献下载
摘要：本实用新型提供一种多片装清洗架，涉及光掩膜基版清洗技术领域，包括支撑架，所述支撑架的外壁固定连接有置物杆，所述置物杆的外壁开设有置物槽，所述支撑架的上部外壁贯穿开设有活动槽，所述活动槽的内壁两侧均开设有限位滑槽，所述限位滑槽的内壁活动连接有滑块，所述滑块的一端固定连接有压板。本实用新型通过对压板的拉动，使滑块在活动槽内对弹簧进行压缩，利用置物杆上的置物槽进行多组基版进行放置，在放置完成后，松开对压板的拉动，利用弹簧的弹性形变使压板对基版进行快速压触固定，将本实用新型放入清洗机内进行清洗，使得本实用新型对多组基版进行快速装夹清洗，方便使用，提高了基版清洗的效率。
一种多片装清洗

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