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[发明专利]基于PECVD的薄膜沉积方法以及太阳能电池的薄膜沉积方法-CN202310697791.7在审
发明人：陈淳才;王晨光;陈帅 -专利权人： 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2023-06-13 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： C23C16/505 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于PECVD的薄膜沉积方法以及太阳能电池的薄膜沉积方法。根据本发明的基于PECVD的薄膜沉积方法，对基材的表面进行沉积镀膜，包括如下步骤：将所述基材置于镀膜腔中；对所述镀膜腔进行抽真空；往所述镀膜腔中通入工艺气体；使射频电源以不同的脉冲比交替地进行输出；在所述脉冲比当中，至少包括第一脉冲比以及第二脉冲比，所述第二脉冲比比所述第一脉冲比大，所述射频电源以所述第一脉冲比以及所述第二脉冲比交替地进行输出。根据本发明的基于PECVD的薄膜沉积方法，能够在一定程度上兼具薄膜的膜厚均匀性以及缩短工艺时间两者。
基于 pecvd 薄膜沉积方法以及太阳能电池

[发明专利]双面镀膜系统以及双面镀膜方法-CN202011536934.9有效
发明人：张勇;马朋朋;卢贤政;陈麒麟 -专利权人： 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2020-12-23 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明公开了双面镀膜系统以及双面镀膜方法，其中，双面镀膜系统用于对基材的双面进行镀膜，包括：载置部，载置所述基材；第一镀膜部，对所述基材的一面进行镀膜；第二镀膜部，对所述基材的另一面进行镀膜；搬运部，搬运所述载置部，以使被载置在所述载置部的所述基材从所述第一镀膜部被搬运至所述第二镀膜部，或者从所述第二镀膜部被搬运至所述第一镀膜部。在本发明中，由于在不同的镀膜部对基材的双面进行镀膜，因此，能够针对基材的双面，分别镀不同类型的镀膜材料，能够实现基材的不同面的光电性能的差异性需求。
双面镀膜系统以及方法

[实用新型]横梁结构-CN202321315017.7有效
发明人：张勇;李学文;刘兵吉;许林华;谢韬 -专利权人： 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2023-05-26 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种横梁结构，横梁结构包括横梁本体和抓手连接板，横梁本体包括多个方通，多个方通沿横梁本体的宽度方向并排固定连接，每个方通沿方通的长度方向的顶面设置有与方通的内部连通的开口槽，多个方通的开口槽形成容置槽，抓手连接板固定连接在容置槽内，抓手连接板的厚度大于方通的壁厚。本申请实施例的横梁结构，通过在横梁本体上开设容置槽，在容置槽内固定连接抓手连接板，横梁本体在抓手连接板处的抗弯强度增大，在保障横梁的截面在高度方向的尺寸不变的情况下，可以增加横梁的抗弯强度，减少横梁在抓取石墨舟移载过程中向下变形量。
横梁结构

[实用新型]一种石墨舟承托桨调节结构及PECVD镀膜设备-CN202320335959.5有效
发明人：李学文;刘兵吉;余梦成;王晨光 -专利权人： 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2023-02-17 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种石墨舟承托桨调节结构及PECVD镀膜设备。石墨舟承托桨调节结构，包括：承托桨，用于承托石墨舟；承托管，所述承托桨的一端和所述承托管连接；承托框架，能够和镀膜设备主体连接，所述承托框架的横向两侧设有弧面支撑槽，所述弧面支撑槽的轴线与所述承托管的轴线垂直；连接件，所述连接件和所述承托管连接，所述连接件设有转轴段，所述转轴段横向搭接在所述弧面支撑槽中；横向调节组件，与所述承托框架连接，能够在横向上调节所述承托管，并在横向上将所述承托管固定；竖向调节组件，与所述承托框架连接，能够以所述转轴段为转动支点，在竖向上调节所述承托管，并在竖向上将所述承托管固定。
一种石墨承托调节结构 pecvd 镀膜设备

[实用新型]一种扩散炉及扩散装置-CN202320990286.7有效
发明人：王晨光;杨宝立;陈淳才;蒋能明;何子民 -专利权人： 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2023-04-23 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： C30B31/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种扩散炉，包括：内设有反应腔的炉主体，反应腔的侧壁开设有废气排气口；位于反应腔外部的第一进气管和第二进气管，第一进气管的第一出气端延伸至反应腔内部且位于炉主体前侧；第二进气管的第二出气端延伸至反应腔内部且位于炉主体的中后侧。通过采用上述的结构，通过调整第一进气管和第二进气管输送工艺气体的流量，使得扩散炉可以加长后，反应腔内部的工艺气体浓度前后仍能基本保持一致，因而扩散炉能够一次处理更多的硅片且硅片扩散处理工艺的均匀性更好。本实用新型还公开了扩散装置，包括输气组件及上述的扩散炉。通过采用上述的扩散炉，使得扩散装置进行扩散工艺处理时，既能够提高产能，而且硅片的扩散处理更加均匀。
一种扩散装置

[实用新型]反应管及反应管组件-CN202320999811.1有效
发明人：张勇;邓金生;宋强;黄元俊 -专利权人： 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2023-04-26 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： F27D1/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种反应管及反应管组件，反应管包括炉体、炉口法兰和吹气单元，炉体内部设置有反应腔室，反应腔室一端设置有开口，炉口法兰上设置有通孔，炉口法兰套接在炉体上具有开口的一端，通孔与反应腔室连通，炉口法兰上设置有密封圈，密封圈围绕通孔设置，吹气单元位于炉口法兰靠近炉门的一侧，用于将反应腔室流向密封圈的热气吹散。反应管组件包括反应管和炉门，炉门盖在炉口法兰上。本实用新型的一种反应管及反应管组件，在炉口法兰一侧设置吹气单元，吹气单元向通孔处吹气，可以将反应腔室流向密封圈的部分热气吹散，可以给密封圈附近环境降温，可以提高密封圈的使用寿命。
反应组件

[实用新型]反应加热炉体-CN202321003884.7有效
发明人：邓金生;杨宝立;张数俊 -专利权人： 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2023-04-26 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： F27B17/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种反应加热炉体，包括炉体外壳、石英管、加热炉丝和支撑组件，石英管位于炉体外壳内部，与炉体外壳间隔设置，石英管与炉体外壳之间形成容置间隙，加热炉丝设于容置间隙中，支撑组件设于容置间隙中，支撑组件支撑石英管，且不阻碍容置间隙沿石英管的长度方向导通，支撑组件与加热炉丝间隔设置。本实用新型的一种反应加热炉体，可以减少石英管的变形，可以降低石英管破裂的风险，容置间隙沿石英管的长度方向呈导通状态，可以方便容置间隙沿石英管的轴线方向的热量传递，方便加热炉丝沿石英管的长度方向均匀加热石英管，均匀加热石英管内的待加热产品。
反应加热炉

[实用新型]吊装设备-CN202320350764.8有效
发明人：余仲;赖智勇;贾永健;覃鹏;王应斌;满小花 -专利权人： 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2023-02-20 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： B66F9/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种吊装设备，包括：堆高机，堆高机包括机体、设置于机体上的机架、以及可升降地设置于机架上的叉具；以及吊装机构，吊装机构包括被叉具叉起的吊架、以及均与吊架连接的多个起吊组件，多个起吊组件间隔设置，且每个起吊组件均包括与吊架连接的高度微调模块、以及与高度微调模块连接的起吊件，高度微调模块用于受控调节起吊件的高度。本实用新型的吊装设备提高盖板被吊起时的平稳性，降低因盖板倾斜致使某一起吊件因受力过大而断裂的风险。
吊装设备

[发明专利]透明导电膜PVD腔体的加热控制方法、装置及存储介质-CN202210180699.9有效
发明人：余仲;周涛 -专利权人： 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2022-02-25 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本发明公开了一种透明导电膜PVD腔体的加热控制方法、装置及存储介质。其中，透明导电膜PVD腔体的加热控制方法包括：接收启动指令以预设的加热参数启动加热器进行加热，并获取初始温度值，加热参数包括实时设定温度值；根据初始温度值和预设的主设定参数确定实时设定温度值，并获取当前温度上升率和当前温度值，主设定参数包括主设定温度值；根据当前温度上升率、当前温度值和主设定参数调节加热参数位于预设加热参数范围；若当前温度值超过主设定温度值与预设温度阈值的和值，控制加热器供电关闭或调节实时设定温度值。本发明根据当前温度上升率、当前温度值和主设定参数调节加热参数位于对应的预设加热范围，实现精准的温度控制和升温更加精确。
透明导电 pvd 加热控制方法装置存储介质

[实用新型]热丝加热系统及卧式热丝化学气相沉积镀膜设备-CN202320452097.4有效
发明人：余仲;吴刚;高洪臻;韩江 -专利权人： 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种热丝加热系统及卧式热丝化学气相沉积镀膜设备，热丝加热系统包括多个热丝组件，皆设置于卧式热丝化学气相沉积镀膜设备的工艺腔内，且多个热丝在工艺腔内阵列式布置；功率调整单元，用于接入交流电源和向多个热丝组件提供工作电源；控制器，与功率调整单元连接；电流检测单元，与控制器连接。本实用新型实施例使用了交流电对热丝进行供电，极大的降低了整体的成本，提高了加热的稳定性和均匀性，并且，可以有效的降低热丝在加热过程中出现断裂的风险。
加热系统卧式化学沉积镀膜设备

[实用新型]磁导向装置的装配治具-CN202320179649.9有效
发明人：余仲;吴镇荣;满小花;王应斌;肖荣锋;谢进学;葛光星 -专利权人： 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2023-01-18 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： B25B11/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种磁导向装置的装配治具，包括：磁性座，磁性座用于供磁铁固定罩放置，磁铁固定罩用于供多个磁铁沿前后方向呈列放置；以及固定机构，固定机构设置于磁性座上，固定机构用于将磁铁固定罩固定于磁性座上；其中，多个磁铁用于依次放置于磁铁固定罩内，磁铁固定罩用于限制磁铁左右移动，并且，相邻两个磁铁互斥设置，每个磁铁均受到来自于磁性座的防上跳吸引力。利用本实用新型的装配治具将多个磁铁拼接在一起，可以保证磁铁受力平衡，运动状态稳定，使得多个磁铁在拼接时，磁铁可以稳定得到控制，从而提高磁导向装置的装配效率和装配安全性，并能够降低磁铁间因相互冲击而损坏的风险，提高磁铁利用率。
导向装置装配

[实用新型]周转车-CN202320259300.6有效
发明人：王晨光;葛光星;王应斌;满小花;肖荣锋;吴镇荣 -专利权人： 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2023-02-13 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： B62B3/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种周转车，用于周转输送硅片，包括：支架、限位装置以及行走轮。支架包括支撑组件，支撑组件用于承载放置硅片的载板。限位装置包括限位件，限位件能够相对支架活动，用于可选择地对载板锁定以及解除锁定。在输送过程中能够通过限位件锁定载板，避免载板在输送过程中出现移动，甚至从支架上掉落，以防止载板上的硅片损坏，从而确保硅片的质量。
周转

[发明专利]石墨舟装卸片机及硅片装卸方法-CN202310715595.8在审
发明人：张勇;周宏业;胡艳东;左晶;罗宁 -专利权人： 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2023-06-15 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种石墨舟装卸片机及硅片装卸方法，石墨舟装卸片机包括接驳机构和硅片装卸机构，接驳机构上设置有第一石墨舟输送组件，硅片装卸机构上设置有机器人、石墨舟循环输送组件和石墨舟缓存组件，石墨舟循环输送组件围绕机器人设置，石墨舟循环输送组件包括第一装卸工位和第二装卸工位，第一装卸工位和第二装卸工位间隔设置，且位于机器人的相对两侧，石墨舟缓存组件设于石墨舟循环输送组件一侧，用于接收石墨舟循环输送组件上的石墨舟，第一石墨舟输送组件用于输送石墨舟至石墨舟循环输送组件以及从石墨舟缓存组件上接收石墨舟，机器人用于给石墨舟进行硅片装卸。本发明可以简化机器人的运行路径，提高装卸效率。
石墨装卸硅片方法

[发明专利]太阳能电池片的制作方法及太阳能电池片-CN202310633021.6在审
发明人：李国庆;张勇;居瑞智 -专利权人： 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2023-05-31 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种太阳能电池片的制造方法，并公开了通过太阳能电池片的制造方法获得的太阳能电池片，其中太阳能电池片的制造方法包括以下步骤：S1:在硅片的第一表面和第二表面分别形成绒面结构，第一表面和第二表面为硅片上表面积最大的表面；S2：将制绒后的硅片通过PECVD处理，在第一表面的绒面结构制备掺硼非晶硅层；S3：采用激光对掺硼非晶硅层进行高温扩散，以形成选择性发射极结构和PN结；S4：在第二表面的绒面结构上依次制备隧穿氧化层和掺磷非晶硅层，仅需一次高温扩散即可完成太阳能电池片的生产，在降低太阳能电池片的接触电阻的同时，降低太阳能电池片的制造成本，提高太阳能电池片的生产效率。
太阳能电池制作方法

[实用新型]卧式热丝化学气相沉积设备-CN202320234678.0有效
发明人：余仲;张海涛;杨福满;赵步举;程培勇;刘顺;谭晓华 -专利权人： 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2023-02-02 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种卧式热丝化学气相沉积设备，包括：安装件；布气组件，布气组件位于安装件的其中一侧，布气组件包括固定架、以及设置于固定架上的多个布气管，多个布气管并列且间隔设置，每相邻两个布气管之间均形成有第一避让间隙；以及热丝组件，热丝组件与安装件连接、并穿设于第一避让间隙。本实用新型的卧式热丝化学气相沉积设备中，通过利用多个布气管来实现布气，相邻两个布气管之间形成的第一避让间隙可以供热丝组件安装。对于整个布气组件而言，无需额外开设用于避让热丝组件的孔位，降低了对布气组件的强度的影响，并且，这种布气组件的加工要求低，加工方便，成本较低。
卧式化学沉积设备

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