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- [发明专利]一种半导体光刻胶清洗剂-CN201911162280.5在审
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关美英;关清君;关雯
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深圳市伯斯特科技有限公司
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2019-11-25
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2020-02-18
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G03F7/42
- 本发明所涉及一种半导体光刻胶清洗剂,其包括醇胺,C4‑C6多元醇,溶剂,有机碱以及添加剂,而将所组成的成分混合形成混合溶液,再将含有光刻胶的半导体晶片浸入到所述混合溶液中,加热至85℃后浸泡设定的时间之后,取出洗涤后用高纯氮气吹干,即可。在此去除光刻胶工序过程中,因当含有光刻胶的半导体晶片浸入混合溶液之后,光刻胶中树脂材料溶解或分解于混合溶液内,使得去除于残留半导体晶片表面光刻胶的目的。与此同时,在浸泡于混合溶液之后的半导体晶片表面形成一层厚度为1‑2um的导电层,具有限流保护电极与电路的能力,从而达到防止电路板上芯片表面线路的被氧化,防止静电击穿电路,以及芯片边缘被崩边的功能。
- 一种半导体光刻洗剂
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