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[发明专利]一种高灵敏的负电容场效应管光电探测器及制备方法-CN201911093520.0有效
发明人：王建禄;涂路奇;刘琦;沈宏;林铁;孟祥建;褚君浩 -专利权人：中国科学院上海技术物理研究所
申请日： 2019-11-11 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： H01L31/0224 文献下载
摘要：本发明公开了一种高灵敏的负电容场效应管光电探测器及制备方法。其特征在于，器件结构自下而上依次为衬底、氧化物、栅电极、具有负电容效应的氧化铪基铁电栅电介质、氧化物栅电介质、低维半导体沟道、金属源漏电极。首先在衬底上通过离子束溅射制备栅电极层，在该电极层上利用原子层沉积法生长氧化铪基铁电薄膜，高温快速退火后，沉积氧化物栅电介质，而后在该结构上制备过渡金属硫族化合物低维半导体，最后运用电子束刻蚀技术结合剥离工艺制备金属源漏电极，形成基于氧化铪基铁电薄膜的低维材料负电容场效应管光电探测器件结构。该金属‑铁电‑氧化物‑半导体光电晶体管结构可实现极低的亚阈值摆幅与高性能的室温光电探测。
一种灵敏电容场效应光电探测器制备方法

[发明专利]一种硅基集成微波光子下变频芯片及其下变频实现方法-CN202111523769.8有效
发明人：徐珍珠;朱宇鹏;高旭东;崇毓华;曹继明;梅理;李泽正;涂路奇 -专利权人：中国电子科技集团公司第三十八研究所
申请日： 2021-12-14 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： H04B10/50 文献下载
摘要：一种硅基集成微波光子下变频芯片及其下变频方法，属于微波光子技术领域，解决现有技术中基于分立器件实现的微波光子下变频系统尺寸大、不利于集成以及现有的微波光子下变频技术方案复杂度高、能量损耗较大、系统转换效率低的问题；在与CMOS工艺兼容的SOI平台上集成光栅耦合器、两个硅基相位调制器、热光移相器、2×2的3dB光耦合器、GeSi平衡光探测器，实现了芯片化，尺寸小、集成度高；使用两个硅基相位调制器即可实现微波光子信号下变频，结构简单、链路损耗小、变频效率高；采用平衡式差频探测，两路光电流信号相减，部分噪声和直流项被抵消，降低了系统中激光器产生的输入噪声水平。
一种集成微波光子变频芯片及其实现方法

[发明专利]一种光开关阵列的校准控制电路-CN202111591919.9有效
发明人：高旭东;肖士研;李泽正;梅理;朱宇鹏;徐珍珠;曹继明;崇毓华;涂路奇 -专利权人：中国电子科技集团公司第三十八研究所
申请日： 2021-12-23 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： H03K17/94 文献下载
摘要：本发明公开了一种光开关阵列的校准控制电路，包括控制电路、驱动电路、反馈校准电路及微波光子链路，控制电路包括FPGA、串并转换器和电开关，电开关包括两个输入端和两个输出端，微波光子链路包括光开关阵列，光开关阵列包括多个串联连接的电光开关，所述电光开关为双臂MZI结构，包括两个并行的移相器，反馈校准电路包括多通道ADC，驱动电路包括多通道DAC，每个电光开关的两个并行的移相器一一对应的连接一个电开关的两个输出端，每个电开关的两个输入端分别对应连接DAC的一个输出IO口；本发明的优点在于：解决现有技术元器件数量成本高，控制码传输时间长的问题。
一种开关阵列校准控制电路

[发明专利]带状线过渡的毫米波芯片封装结构-CN202211199722.5在审
发明人： 涂路奇;段宗明;朱传明;徐建国 -专利权人：中国电子科技集团公司第三十八研究所
申请日： 2022-09-29 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： H01L23/66 文献下载
摘要：本发明提供一种带状线过渡的毫米波芯片封装结构，涉及毫米波芯片封装技术领域。该毫米波芯片封装结构包括：毫米波芯片，天线贴片和水平悬置带状线过渡结构，所述天线贴片贴在金属屏蔽层上，所述毫米波芯片嵌入所述水平悬置带状线过渡结构，芯片的输出端口通过焊盘焊球结构连接到带状线的一端，并通过缝隙耦合效应与贴片天线互连。本发明实施例将芯片嵌入到水平悬置带状线过渡结构的上层中，不同于大部分的芯片倒装焊结构，需要垂直同轴过渡结构和水平带状线过渡，本发明实施例能够仅利用水平过渡结构实现芯片端口到天线馈电端口的互连，避免引入垂直过渡结构，降低封装结构复杂度，减少高频寄生效应，有效降低高频损耗。
带状线过渡毫米波芯片封装结构

[发明专利]一种微波光子MIMO雷达收发系统-CN202210042053.4在审
发明人：曹继明;崇毓华;梅理;徐珍珠;高旭东;朱宇鹏;王冰;涂路奇;李泽正 -专利权人：中国电子科技集团公司第三十八研究所
申请日： 2022-01-14 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： G01S17/89 文献下载
摘要：一种微波光子MIMO雷达收发系统，属于雷达探测技术领域，解决发射端的高重复频率的光频梳信号难以产生以及接收端去斜中频信号杂散量高的问题；发射端生成两个不同重复频率的光频梳信号，一路光频梳信号作为本振光频梳信号，另一路光频梳信号作为光载波被基带线性调频信号调制，调制后的光频梳信号分为两路，一路与本振光频梳信号拍频得到上变频的M路发射波形，另一路传输到接收子系统作为参考光信号；接收端N路接收天线接收到雷达回波信号后调制到发射子系统耦合过来的光频梳信号上，并与参考光信号耦合后输入到光电探测器中进行拍频，得到回波信号的M×N路去斜中频信号，再经模数转换后进行数字信号处理得到回波信号中携带的目标信息。
一种微波光子 mimo 雷达收发系统

[发明专利]一种硅基光子收发芯片及其高信噪比模拟光链路实现方法-CN202111523911.9在审
发明人：徐珍珠;高旭东;朱宇鹏;崇毓华;曹继明;梅理;李泽正;涂路奇 -专利权人：中国电子科技集团公司第三十八研究所
申请日： 2021-12-14 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： G02F1/015 文献下载
摘要：一种硅基光子收发芯片及其高信噪比模拟光链路实现方法，属于微波光子技术领域，解决现有技术中基于分立器件实现的模拟光链路尺寸大、不利于集成以及串联、并联多调制器架构的模拟光链路损耗大、系统复杂度高的问题；本发明的技术方案仅采用单个相位调制器与平衡光探测器即可实现电光‑光电转换的模拟光链路，实现面向模拟光链路的硅基光子收发芯片，具有芯片尺寸小、集成度高的优势；相比于基于串行、并行等复杂结构调制器的模拟光链路，本发明的模拟光链路结构简单，避免了串联、并联多调制器架构的模拟光链路损耗大、系统复杂的问题。
一种光子收发芯片及其高信噪模拟光链路实现方法