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[发明专利]表面固化处理装置及表面固化处理方法-CN201010205179.6无效
发明人： 河田一喜;木立彻;关谷庆之 -专利权人：东方工程公司
申请日： 2010-06-13 - 公布日： 2011-02-02 - 主分类号： C23C8/06 文献下载
摘要：本发明提供表面固化处理装置及表面固化处理方法。表面固化处理装置具备：氢浓度检测单元4，其基于处理炉2内的炉内气体的热导率检测炉内气体的氢浓度；炉内气体组成演算单元24，其基于氢浓度检测单元4检测的氢浓度演算炉内气体的组成即炉内气体组成；和气体导入量控制单元26，其根据炉内气体组成演算单元24演算的炉内气体组成和预先设定的设定炉内气体混合比率，在将两种以上的炉内导入气体向处理炉2内的导入量的比率即炉内导入气体流量比率保持为恒定值的状态下，控制两种以上的炉内导入气体向处理炉2内的合计导入量，以使炉内气体组成成为设定炉内气体混合比率，或者，分别控制两种以上的炉内导入气体的导入量以使炉内导入气体流量比率变化。
表面固化处理装置方法

[发明专利]渗碳方法和渗碳设备-CN02102026.4有效
发明人： 河田一喜;佐藤初男;浅井茂太;关谷庆之 -专利权人：东方工程公司
申请日： 2002-01-17 - 公布日： 2002-10-30 - 主分类号： C23C8/22 文献下载
摘要：提供一种经济的渗碳方法和渗碳设备,即使渗碳条件与正常情况不同,也能象正常情况一样高质量并且高重复性地进行渗碳处理。一种用于在13－4,000Pa的压力下在含有不大于30体积%的气氛气体中进行渗碳的渗碳设备,包含一个容纳被处理物体(4)的渗碳室(3);一个用于测量渗碳过程中在渗碳室(3)中的气氛气体的氧浓度的氧传感器(20);和一个用于根据氧传感器(20)的测量结果调节渗碳室(3)中的气氛气体组成的质量流量控制器(5)。
渗碳方法设备