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[实用新型]一种晶圆升降装置及半导体加工设备-CN202321287046.7有效
发明人：曹建伟;沈文杰;朱凌锋;汪志杰;陶梦竹;沈加富 -专利权人：浙江求是创芯半导体设备有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2023-05-25 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆升降装置及半导体加工设备，该晶圆升降装置包括支撑管、第一端板、第二端板、驱动机构以及波纹管，支撑管的一端伸入晶圆盒，且用于支撑晶圆，第一端板套设于支撑管的一端且与晶圆盒贴合，第二端板连接于支撑管的另一端且封闭支撑管，驱动机构的动力输出端与第二端板相连且伸入支撑管内部，波纹管套设于支撑管，且两端与第一端板和第二端板密封连接。该晶圆升降装置的密封性能较好，较好地避免了外部污染物进入晶圆盒内，降低了晶圆被污染的几率。
一种升降装置半导体加工设备

[发明专利]用于外延生长的双层进气反应腔和外延生长工艺-CN202310333499.7在审
发明人：曹建伟;沈文杰;朱凌锋;沈加富;陶梦竹;刘道源;罗通;汤承伟 -专利权人：浙江求是创芯半导体设备有限公司
申请日： 2023-03-29 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： C30B25/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于外延生长的双层进气反应腔和外延生长工艺，双层进气反应腔包括反应腔体、基座和隔板，基座悬空设置在反应腔体内，隔板设在腔室内，隔板环绕基座设置并与基座之间具有一定间隔，隔板将腔室分隔为上下排布的工艺气体流通腔和吹扫腔，工艺气体在工艺气体流通腔内流动以便与衬底的上表面接触进行化学沉积反应，吹扫气体在吹扫腔内流动进行吹扫。本发明提供的双层进气反应腔能够有效解决腔室内表面及腔内器件产生的沉积问题，提高外延工艺质量，降低腔室及腔内器件的维护时间、频次及成本，从而提升生产效率。
用于外延生长双层反应工艺

[实用新型]晶圆传送装载设备-CN202320394876.3有效
发明人：曹建伟;沈文杰;朱凌锋;罗通;陶梦竹;沈加富;刘道源 -专利权人：浙江求是创芯半导体设备有限公司
申请日： 2023-02-27 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶圆传送装载设备，所述晶圆传送装载设备包括箱体、晶圆盒装载组件和关窗件。箱体的侧壁具有第一窗口，晶圆盒装载组件设在箱体具有第一窗口的一侧，晶圆盒装载组件包括升降平台，升降平台相对于箱体可升降移动，关窗件设在升降平台上，关窗件在升降平台的驱动下可在第一位置和第二位置之间移动，在第一位置，关窗件封闭第一窗口，在第二位置，关窗件开启第一窗口。本实用新型的晶圆传送装载设备在晶圆盒装载组件的升降平台上设置关窗件，通过关窗件封闭和释放第一窗口，结构简单。
传送装载设备

[实用新型]晶圆盒装载设备-CN202320386159.6有效
发明人：曹建伟;沈文杰;朱凌锋;沈加富;罗通;刘道源 -专利权人：浙江求是创芯半导体设备有限公司
申请日： 2023-02-27 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶圆盒装载设备，所述晶圆盒装载设备包括固定平台、升降平台、限位座和夹持组件。升降平台的中部具有用于容纳固定平台的容纳空间，升降平台相对于固定平台可升降移动，限位座设在升降平台上，限位座环绕形成放置空间，放置空间位于容纳空间的上方，夹持组件设在限位座上，且夹持组件的至少部分相对于限位座可沿朝向和远离放置空间的方向移动。本实用新型的晶圆盒装载设备在限位座上设有能够沿朝向和远离放置空间的方向移动的夹持组件，通过夹持组件对位于放置空间内的晶圆盒盒盖进行夹持，以避免盒盖脱落。
盒装设备

[发明专利]外延生长装置-CN202310284431.4在审
发明人：曹建伟;沈文杰;朱凌锋;沈加富;罗通;刘道源 -专利权人：浙江求是创芯半导体设备有限公司
申请日： 2023-03-20 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： C30B25/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种外延生长装置，所述外延生长装置包括壳体、隔板、基座、进气组件和排气组件，所述壳体上具有腔室，所述隔板设于所述腔室内，所述隔板将所述腔室分隔为第一空腔和第二空腔，所述隔板上具有沿其厚度方向延伸的避让孔，所述基座的至少一部分设于所述避让孔内，所述基座可转动地与所述壳体相连，所述基座用于承载晶圆，所述进气组件和所述排气组件均设于所述壳体上，所述进气组件用于向所述第一空腔内输送工艺气体，所述排气组件用于向所述第二空腔内输送保护气体，所述排气组件用于排出所述第一空腔和第二空腔内的气体。本发明实施例的外延生长装置具有外延工艺质量好等优点。
外延生长装置

[发明专利]用于热电偶的轴向定位装置-CN202211686624.4在审
发明人：曹建伟;沈文杰;朱凌峰;沈加富;罗通;刘道源;陶梦竹;汤承伟;彭建波 -专利权人：浙江求是创芯半导体设备有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： G01K1/14 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于热电偶的轴向定位装置，所述轴向定位装置包括基座组件、第一限位件、第二限位件和驱动组件，第一限位件、第二限位件和驱动组件均设在基座组件上，驱动组件连接第一限位件和/或第二限位件，以调节第一限位件和第二限位件的间距，并具有最小间距位置和最大间距位置，在最小间距位置，第一限位件和第二限位件插入限位槽内，且间距大于等于限位段在第一方向上的尺寸，在最大间距位置，第一限位件和第二限位件脱离限位槽。本发明的用于热电偶的轴向定位装置将位于最小间距位置的第一限位件和第二限位件插入限位槽内，以对热电偶进行轴向定位，由于第一限位件和第二限位件的间距大于等于限位段的尺寸，因此能够避免热电偶碎裂。
用于热电偶轴向定位装置

[实用新型]一种用于金刚线切片机的线轮-CN201822056098.9有效
发明人：曹建伟;李林;周锋;刘文涛;饶鹏;沈加富;聂炎 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2018-12-09 - 公布日： 2019-12-24 - 主分类号： B28D1/22 文献下载
摘要：本实用新型涉及硬脆晶体材料的切割技术，旨在提供一种用于金刚线切片机的线轮。该线轮包横向固定在转轴上的工作轮，以及与工作轮具有相同外径尺寸的中空圆筒状的储线轮，两者并列布置且共轴；所述切割线的一部分在储线轮上均匀缠绕多层，另一部分在工作轮表面依次缠绕单层。本实用新型的储线轮和工作轮之间的连接简单，径向定位精准。切割线从储线轮到工作轮的过渡简单。装卸操作很简单，切割时只有工作轮上的线参与切割，储线轮和过渡区的线不参与切割。因为线轮的实际表面直径是恒定的，故张力控制简单、波动小，能有效的降低线轮造成的张力波动。
储线轮工作轮线轮切割本实用新型切割线金刚线切片机硬脆晶体材料工作轮表面中空圆筒状并列布置横向固定径向定位均匀缠绕实际表面张力波动张力控制装卸操作过渡区恒定的单层多层共轴转轴缠绕

[实用新型]一种带迷宫密封的线锯张力测量装置-CN201721392445.4有效
发明人：曹建伟;傅林坚;李林;刘文涛;梁永峰;聂炎;沈加富;饶鹏 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2017-10-26 - 公布日： 2018-05-25 - 主分类号： G01L5/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及单晶硅金刚线切片机的辅助设备，旨在提供一种带迷宫密封的线锯张力测量装置。该种带迷宫密封的线锯张力测量装置包括传感器安装座、传感器轴、传感器后盖、轴承安装座、轴承、轴承内压盖、轴承外压盖、张力传感器、张力测量导轮、传感器信号处理电路板，传感器信号处理电路与测量装置设计成一体。本实用新型在工作状态时，可有效防止传感器信号受到外部环境的干扰及信号的衰减，能获得更灵敏、准确的张力信号，更能有效防止切割液、硅粉、硅泥进入传感器内部的可能性，能有效确保张力导轮的灵活性。
张力测量装置迷宫密封线锯轴承本实用新型传感器传感器信号处理电路传感器信号处理传感器安装座金刚线切片机单晶硅电路板传感器信号张力传感器轴承安装座后盖测量装置传感器轴辅助设备外部环境张力测量张力导轮张力信号内压盖切割液外压盖导轮硅粉硅泥衰减灵敏

[发明专利]金刚线单晶硅棒切方设备-CN201610158042.7有效
发明人：傅林坚;何守龙;曹建伟;沈文杰;朱亮;卢嘉彬;邱文杰;沈加富;邱敏秀 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2016-03-18 - 公布日： 2018-01-19 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明涉及单晶硅棒加工专用切割设备，旨在提供金刚线单晶硅棒切方设备。该金刚线单晶硅棒切方设备包括大底架、龙门架、排线安装架、张力电机安装架、张力电机、张力臂、工作台头座、工作台尾座、排线部件、收放线部件、线偏检测部件、进刀单元、过渡导轮、张力导轮，工作台头座和工作台尾座之间用于夹持晶棒，且能够控制晶棒沿工作台头座和工作台尾座的轴线旋转。本发明结构紧凑，布局合理；本发明采用金刚石线锯切割，切割刀痕小，切割面质量高，大大减少了原材料的损耗；本发明大大改善了工作环境，实现了环保生产。
金刚单晶硅棒切方设备

[发明专利]金刚线晶锭开方机-CN201610791377.2有效
发明人：曹建伟;沈文杰;傅林坚;卢嘉彬;何守龙;邱文杰;杨思炜;沈加富;邱敏秀 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2016-08-31 - 公布日： 2017-12-22 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明涉及多晶硅加工专用切割设备，旨在提供金刚线晶锭开方机。该种金刚线晶锭开方机包括大底架、工作台、工作台水平移动电机、减速机、主丝杠、机械手部件、切割室部件、升降机构、收放线部件、张力部件、底部导轮部件。本发明采用金刚石线锯切割，切割刀痕小，切割面质量高，大大减少了材料损耗，并改善了工作环境；本发明采用新的旋转机构来降低工作台高度，从而减小切割导轮轴距，线弓小，进刀快，切割效率高，避免了因为硬质点造成的切割尺寸偏差；本发明在底部导轮处增加了水平移动功能，在第二次进刀时将切割线由竖直变为斜线，仅在晶锭上方切出一个切入口，从而避免了尺寸无法控制及崩边。
金刚线晶锭开方

[发明专利]金刚线多晶硅锭开方机-CN201610101068.8有效
发明人：曹建伟;卢嘉彬;沈文杰;傅林坚;何守龙;邱文杰;沈加富;朱亮;邱敏秀 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2016-02-24 - 公布日： 2017-08-25 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明涉及多晶硅加工专用切割设备技术领域，旨在提供金刚线多晶硅锭开方机。该金刚线多晶硅锭开方机包括大底架、进刀部件、左张力电机安装架、右张力电机安装架、工作台、机械手安装架、龙门架、导向导轮、切割导轮安装架、切割导轮、主导轨、工作台水平移动电机、减速机、主丝杠、导向轮驱动电机，能利用金刚线切割晶锭。本发明采用金刚石线锯切割，切割刀痕小，切割面质量高，大大减少了原材料的损耗；本发明使工作环境大大改善，实现了环保生产；本发明采用水平方向进刀，线弓小，进刀快，切割效率高；且导轮数量少，线网简单易布。
金刚多晶开方

[实用新型]一种用于线切机进刀单元的自重平衡装置-CN201621215862.7有效
发明人：曹建伟;李林;刘文涛;沈加富 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2016-11-10 - 公布日： 2017-05-24 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及单晶硅装备辅助设备，旨在提供一种用于线切机进刀单元的自重平衡装置。该种用于线切机进刀单元的自重平衡装置包括气缸、双肘接头、钢丝绳、滑轮组、滑轮安装座、线性导轨、进刀单元安装座，用于消除进刀单元自重对硅棒切片时的影响。本实用新型通过控制气缸输出力平衡进刀单元自重，大大增加丝杆传动的使用寿命，提高传动精度，改善硅棒的切片质量。
一种用于线切机进刀单元自重平衡装置

[实用新型]一种金刚线晶锭开方机-CN201621028688.5有效
发明人：曹建伟;沈文杰;傅林坚;卢嘉彬;何守龙;邱文杰;杨思炜;沈加富;邱敏秀 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2016-08-31 - 公布日： 2017-03-29 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及多晶硅加工专用切割设备，旨在提供一种金刚线晶锭开方机。该种金刚线晶锭开方机包括大底架、工作台、工作台水平移动电机、减速机、主丝杠、机械手部件、切割室部件、升降机构、收放线部件、张力部件、底部导轮部件。本实用新型采用金刚石线锯切割，切割刀痕小，切割面质量高，大大减少了材料损耗，并改善了工作环境；本实用新型采用新的旋转机构来降低工作台高度，从而减小切割导轮轴距，线弓小，进刀快，切割效率高，避免了因为硬质点造成的切割尺寸偏差；本实用新型在底部导轮处增加了水平移动功能，在第二次进刀时将切割线由竖直变为斜线，仅在晶锭上方切出一个切入口，从而避免了尺寸无法控制及崩边。
一种金刚线晶锭开方

[实用新型]一种斜插式单晶硅棒自动支撑机构-CN201621026362.9有效
发明人：傅林坚;沈文杰;谢永旭;卢嘉彬;邱文杰;杨思炜;沈加富;罗世铭;邱敏秀 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2016-08-31 - 公布日： 2017-03-29 - 主分类号： B28D7/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及单晶硅制备辅助设备，旨在提供一种斜插式单晶硅棒自动支撑机构。该种斜插式单晶硅棒自动支撑机构包括支撑装置、传动装置、密封装置，支撑装置包括底座、气缸支架，气缸支架安装在底座上，底座上设有两个对称的楔形块滑道，用于支撑楔形块，传动装置用于作为动力源，密封装置用于保护气缸。本实用新型利用楔形块实现自锁功能，支撑牢固可靠，结构简单，零部件易于更换，成本低，同时操作可实现自动化，大大降低了人力资源成本和工人的劳动强度，缩短硅棒支撑所需的时间，提升硅棒的切割效率。
一种斜插式单晶硅自动支撑机构

[外观设计]蝎子形一体式电脑桌椅-CN201630334017.0有效
发明人： 沈加富 -专利权人： 沈加富
申请日： 2016-07-21 - 公布日： 2016-11-30 - 主分类号： 06-05 文献下载
摘要：1．本外观设计产品的名称：蝎子形一体式电脑桌椅。2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于供人使用电脑时用的桌子和椅子。3．本外观设计产品的设计要点：形状。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图。
蝎子体式电脑桌椅

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