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- [发明专利]多晶硅栅的制造方法-CN201810992762.2有效
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沈冬冬;陆涵蔚
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上海华虹宏力半导体制造有限公司
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2018-08-29
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2021-01-22
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H01L21/28
- 本发明公开了一种多晶硅栅的制造方法,包括步骤:步骤一、在半导体衬底表面依次形成栅介质层、第一多晶硅层和硬质掩膜层;步骤二、依次对硬质掩膜层和所述第一多晶硅层进行刻蚀,刻蚀后的第一多晶硅层组成多晶硅栅;步骤三、在多晶硅栅的侧面自对准形成侧墙,通过硬质掩膜层将侧墙的顶部表面增加到高于多晶硅栅的顶部表面;步骤四、去除硬质掩膜层。本发明能通过硬质掩膜层将多晶硅栅表面调节到低于侧墙的顶部表面,形成多晶硅栅的顶部表面低于侧墙的顶部表面的结构,能防止多晶硅栅和两侧的接触孔短路,提高产品良率。
- 多晶制造方法
- [发明专利]一种认知无线电网络频谱感知方法-CN201710119519.5有效
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岳文静;魏怡;陈志;沈冬冬
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南京邮电大学
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2017-03-02
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2020-08-11
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H04B17/382
- 本发明公开了一种基于加速食物引导粒子群优化算法的认知无线电网络频谱感知方法,在认知无线电网络中,各感知用户进行本地能量感知,各自的能量统计量通过公共信道传送到融合中心,传输的过程中会引入噪声,融合中心对接收到的统计值进行加权合并,由合并结果再进行判断。本发明首先根据噪声方差的时变特性分析了噪声不确定情况下的分布特点,根据噪声时变的影响,考虑噪声对频谱检测的最坏影响,推导得到基于噪声不确定的信道中的虚警概率和检测概率。本发明采用加速食物引导粒子群优化算法,在认知无线电多用户协作频谱感知的模型下,通过对多用户协作频谱感知中的加权系数进行优化选择,最终缩短认知无线电频谱感知的感知时间,增强检测性能。
- 一种认知无线电网络频谱感知方法
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