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[发明专利]清洁装置-CN202110481858.4有效
发明人：刘陈波;李建坤;金明光;周伟;汪直超 -专利权人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2021-04-30 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： B08B9/087 文献下载
摘要：本申请实施例公开了一种清洁装置，该清洁装置包括：第一主体、第二主体、第一清洁刷头、第二清洁刷头和第三清洁刷头；第一主体包括第一容置部，第二主体包括第二容置部；第一主体通过第一连接构件与所述第二主体活动连接，第一连接构件位于第一容置部与第二容置部之间；第一连接构件的两端分别在第一容置部和第二容置部内自由滑动；第一清洁刷头固定在第一主体远离第一连接构件的一侧；第二清洁刷头和第三清洁刷头，固定在第二主体远离第一连接构件的一侧，且第二清洁刷头和第三清洁刷头分别位于第二主体的两端。本申请实施例通过提供的清洁装置可以根据需求进行高度的升降，从而实现对制成显示面板的工艺腔体的内部进行除尘清洁，提高清洁效率。
清洁装置

[发明专利]一种微影玻璃薄化的方法及其控制系统-CN201910418416.8有效
发明人： 汪直超;蔡在秉;李彦泽;金明光;邓强;陈仲仁;李德全;何崇嘉;吴智坤;刘云 -专利权人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2019-05-20 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： G02F1/13 文献下载
摘要：一种微影玻璃薄化的方法，包括如下步骤：提供一玻璃基板；清洗；涂胶；预烘烤；曝光；微影：先将曝光得到的图案转移到光刻胶薄膜层上，再用溶剂浸泡将光刻胶受光照射到的部分加以溶解或保留；显影；成盒工艺；有益效果：与现有技术相比，本申请通过在曝光工序和显影工序之间增加一道微影工艺，使得在成盒工艺完成后便可得到薄化的液晶显示面板，无需再进行减薄处理。同时，可以使得微影玻璃薄化过程中，进行减薄的酸液浓度和温度的精确控制。
一种玻璃方法及其控制系统

[发明专利]传输装置-CN201910416960.9有效
发明人：金明光;李彦泽;陈仲仁;邓强;汪直超;于旭明;吴智坤;彭德和;孙鹏;张波 -专利权人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2019-05-20 - 公布日： 2021-07-23 - 主分类号： B65G13/073 文献下载
摘要：本申请提供一种传输装置，其包括输送机构、驱动机构和清洗机构，驱动机构包括驱动组件、主动齿轮和从动齿轮，驱动组件用于驱动主动齿轮转动，主动齿轮和从动齿轮啮合连接；清洗机构用于清洗和润滑主动齿轮和从动齿轮；清洗机构包括用于输送清洗液的主管和连通于主管的支管，支管的出口设置在主动齿轮和从动齿轮的上方。本申请通过清洗机构的设置，将清洗液从支管流出用于清洗主动齿轮和从动齿轮形成的啮合结构，即通过清洗液清洗掉啮合结构因长时间磨损产生的颗粒物。
传输装置

[发明专利]阵列基板及其制作方法、显示装置-CN201810004159.9有效
发明人：朱磊;汪直超;薛锐;朱晓东;谭倩 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;重庆京东方光电科技有限公司
申请日： 2018-01-03 - 公布日： 2021-01-22 - 主分类号： H01L27/12 文献下载
摘要：本发明提供一种阵列基板的制作方法，包括：在玻璃基板上依次形成栅极层、栅极绝缘层及钝化层；在所述钝化层上形成第一光刻胶层；基于预设通孔图案，通过曝光显影，对所述第一光刻胶层上的所述预设通孔图案区域进行刻蚀，以形成贯穿所述第一光刻胶层的第一通孔；在形成有所述第一通孔的第一光刻胶层上形成平整的第二光刻胶层；将所述预设通孔图案相对于所述第一通孔偏移预设距离；再次进行曝光显影，对所述第二光刻胶层进行刻蚀，以形成第二通孔；在与所述玻璃基板垂直的方向上沿所述第二通孔形成依次贯穿所述钝化层和所述栅极绝缘层的目标通孔。利用该制作方法可形成具有较小尺寸的通孔，为实现窄边框、布线精细化及提高开口率提供了可能。
阵列及其制作方法显示装置

[发明专利]显影液浓度测量装置及方法-CN201910087728.5在审
发明人：蔡在秉;李彦泽;陈仲仁;邓强;金明光;汪直超;韦智强;黄家都;何崇嘉;李德全 -专利权人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2019-01-29 - 公布日： 2019-04-16 - 主分类号： G01N9/24 文献下载
摘要：本申请提出了一种显影液浓度测量装置及方法。所述显影液浓度量测装置包括：光阻测量模块、管道模块、浓度计测量模块、处理模块以及测量辅助模块。所述浓度计测量模块包括第一超声波浓度计，用以获得数据M。所述测量辅助模块包括第二超声波浓度计，用以获得数据N。所述处理模块根据所述数据M与所述数据N的差值是否处在目标范围内判定所述显影液浓度测量的否准确。本申请通过在显影液浓度测量装置增设一组超声波浓度计对显影液进行测量，通过两组测量数据的对比，进而提升显影液浓度测量装置对碳酸根浓度测量的准确度。
显影液浓度计浓度测量装置测量模块超声波处理模块辅助模块浓度测量测量测量数据管道模块量测装置准确度碳酸根光阻两组申请判定增设

[实用新型]抽真空装置-CN201620558727.6有效
发明人：冯强;陈启超;汪直超;关永兵;甄慧慧;谈太奇 -专利权人：重庆京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2016-06-07 - 公布日： 2016-11-09 - 主分类号： F04B39/00 文献下载
摘要：本实用新型公开一种抽真空装置，属于抽真空技术领域。抽真空装置包括：真空泵、管道、检测组件和阻挡组件，真空泵设置在密闭腔室的外部，且与密闭腔室通过管道连接，检测组件和阻挡组件按照从靠近密闭腔室到远离密闭腔室的顺序设置在管道内，且检测组件与阻挡组件电连接；检测组件用于在有物体通过管道时生成检测信号，并向阻挡组件发送检测信号；阻挡组件用于根据检测信号，对物体进行阻挡。本实用新型解决了抽真空装置运行的稳定性较差的问题，达到了提高抽真空装置运行的稳定性的效果。本实用新型用于抽真空。
真空装置

[实用新型]一种缓存装置及设有该缓存装置的涂胶显影机-CN201620433712.7有效
发明人： 汪直超;宋翔宇;关永兵;刘丙强;曹坤 -专利权人：重庆京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2016-05-11 - 公布日： 2016-09-28 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本实用新型涉及集成电路生产设备技术领域，尤其涉及一种缓存装置及设有该缓存装置的涂胶显影机。缓存装置包括框架和设于所述框架内沿其高度方向依次设置的多层支撑板，所述支撑板用于放置待曝光的基板，所述框架上相应地设有多层支撑部件，每层所述支撑板均滑动地安装于所述支撑部件上。本实用新型提供的缓存装置缩短了维护保养的时间，提高了工作效率以及设备的稼动率。
一种缓存装置设有涂胶显影