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[发明专利]一种MOCVD设备及其供电方法-CN202211732753.2在审
发明人： 汪亮良;闫勇 -专利权人：楚赟精工科技（上海）有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： H02H7/09 文献下载
摘要：本发明提供了一种MOCVD设备及其供电方法，所述供电方法包括：监测主用电器件的输入电压，以获取所述主用电器件的输入电压的电压暂降信息，所述主用电器件包括用于使所述MOCVD设备中的托盘旋转的旋转电机；在所述电压暂降信息具有第一预设特征时，对所述主用电器件的输入电压进行补偿；以及在所述电压暂降信息具有第二预设特征时，使所述MOCVD设备运行预设停机程序，控制所述旋转电机停止旋转。本发明提供的MOCVD设备的供电方法，能够实时补偿工厂电压暂降，并执行相应预设停机程序，保护设备及产品的安全。
一种 mocvd 设备及其供电方法

[发明专利]温度控制装置及方法、化学气相沉积设备-CN202211696570.X在审
发明人： 汪亮良;闫勇 -专利权人：楚赟精工科技（上海）有限公司
申请日： 2022-12-28 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： C23C16/52 文献下载
摘要：本发明提供了一种温度控制装置及方法、化学气相沉积设备，一种温度控制装置，包括测温单元，用于测量加热区的实际温度；执行单元，与位于所述加热区的加热单元电连接，用于调整所述加热单元的电力输入；温控单元，与所述执行单元电连接，用于输出温度控制参数至所述执行单元，所述温控单元包括可编程模块和N个温控器；选择单元，与所述温控单元电连接，用于对所述温控器进行选择；控制单元，用于根据所述实际温度与设定温度的温度差值，控制所述选择单元选择相应输出范围的所述温控器，并调整当前所述可编程模块的输出参数。本发明可有效提高加热过程的温度控制精度，减少温度波动。
温度控制装置方法化学沉积设备