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- [实用新型]一种旋涂可控的低温型匀胶机-CN202222676033.0有效
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孙杭州;孙斌;尚博;梁舰;李晓刚
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江阴市纪泽万家科技有限公司
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2022-10-11
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2023-05-02
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B05C11/08
- 本实用新型涉及匀胶机技术领域,具体公开了一种旋涂可控的低温型匀胶机,包括箱体防护机构、冷却机构与主体机构,所述箱体防护机构包括下箱体组件、下上箱体组件与箱盖组件,所述主体机构包括匀胶主体组件与磁力搅拌组件,所述冷却机构包括冷却组件、左右吹风组件与前后吹风风扇;本实用新型中,通过冷却组件、前后吹风风扇与左右吹风组件协同作业准确降低溶液的温度,改变旋涂溶液的流体性质,提升成膜效果;通过冷却组件、前后吹风风扇与左右吹风组件的协同作业准确降低旋涂氛围的温度,控制溶液结晶、溶剂挥发的速率,提高成膜质量;旋涂腔体与治具为整体加工,优秀的导热系数和热容量保证了温度低扰动性和实验结果的重复性。
- 一种可控低温型匀胶机
- [发明专利]一种旋涂可控的低温型匀胶机-CN202211243804.5在审
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孙杭州;孙斌;尚博;梁舰;李晓刚
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江阴市纪泽万家科技有限公司
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2022-10-11
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2023-01-24
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B05C9/14
- 本发明涉及匀胶机技术领域,具体公开了一种旋涂可控的低温型匀胶机,包括箱体防护机构、冷却机构与主体机构,所述箱体防护机构包括下箱体组件、下上箱体组件与箱盖组件,所述主体机构包括匀胶主体组件与磁力搅拌组件,所述冷却机构包括冷却组件、左右吹风组件与前后吹风风扇;本发明中,通过冷却组件、前后吹风风扇与左右吹风组件协同作业准确降低溶液的温度,改变旋涂溶液的流体性质,提升成膜效果;通过冷却组件、前后吹风风扇与左右吹风组件的协同作业准确降低旋涂氛围的温度,控制溶液结晶、溶剂挥发的速率,提高成膜质量;旋涂腔体与治具为整体加工,优秀的导热系数和热容量保证了温度低扰动性和实验结果的重复性。
- 一种可控低温型匀胶机
- [发明专利]一种带光路的匀胶机-CN202111514909.5有效
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孙杭州;孙斌
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江阴市纪泽万家科技有限公司
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2021-12-10
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2023-01-24
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B05C11/08
- 本发明提出一种带光路的匀胶机,包括匀胶机本体,匀胶机本体包括第一机座、第二机和涂膜工作基座,第二机座内部设有光路气路多用途旋转机构,第一机座的内腔顶部设有光源组件,涂膜工作基座内部的工作腔底部设有排气管。本发明可在旋涂过程中吸收光谱、荧光光谱和反射光谱的动态变化,用于跟踪溶剂挥发、溶剂退火、热退火过程中的材料相变,并在化学反应动力学、生化过程的跟踪检测方面具有优势,排气泵机通过多条对称设置的导气管使得排气管进行抽气工作,而由于排气管座顶部开设有呈圆环形的排气槽口,且排气管与涂膜工作基座的工作腔呈同轴度设置,排气过程中,排气均匀,不产生气流紊乱,保证基片上涂膜的精度。
- 一种带光路匀胶机
- [实用新型]一种带光路的匀胶机-CN202123107202.0有效
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孙杭州;孙斌
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江阴市纪泽万家科技有限公司
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2021-12-10
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2022-08-12
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B05C11/08
- 本实用新型提出一种带光路的匀胶机,包括匀胶机本体,匀胶机本体包括第一机座、第二机和涂膜工作基座,第二机座内部设有光路气路多用途旋转机构,第一机座的内腔顶部设有光源组件,涂膜工作基座内部的工作腔底部设有排气管。本实用新型可在旋涂过程中吸收光谱、荧光光谱和反射光谱的动态变化,用于跟踪溶剂挥发、溶剂退火、热退火过程中的材料相变,并在化学反应动力学、生化过程的跟踪检测方面具有优势,排气泵机通过多条对称设置的导气管使得排气管进行抽气工作,而由于排气管座顶部开设有呈圆环形的排气槽口,且排气管与涂膜工作基座的工作腔呈同轴度设置,排气过程中,排气均匀,不产生气流紊乱,保证基片上涂膜的精度。
- 一种带光路匀胶机
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