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[发明专利]修正光路长测量误差的系统及方法-CN202210463006.7在审
发明人： 永井健治;长崎秀昭 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2022-04-28 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： G01K11/00 文献下载
摘要：系统具备：第1光学部，构成为，向测量对象物射出光，并且使来自测量对象物的第1干涉光入射；第2光学部，构成为，向构成为相对于温度变动而光路长为一定的基准物体射出光，并且使来自基准物体的第2干涉光入射；分光器，与第1光学部及第2光学部连接，使第1干涉光及第2干涉光入射；以及控制部，与分光器连接；控制部根据基于入射到规定温度环境下的分光器的第2干涉光计算的基准物体的测量光路长和预先取得的基准物体的基准光路长，计算规定温度环境下的测量光路长相对于基准光路长的变动率；将基于在规定温度环境下入射到分光器的第1干涉光计算的测量对象物的光路长基于变动率修正。
修正光路长测量误差系统方法

[发明专利]光干涉系统和基板处理装置-CN202110244840.2在审
发明人： 永井健治;长崎秀昭;铃木聪史 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2021-03-05 - 公布日： 2021-09-14 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明提供一种光干涉系统和基板处理装置。提供通过简易的结构来测量测定对象物的物理性质的技术。在一个例示性的实施方式中，提供一种光干涉系统。光干涉系统具备：光源，其构成为产生测定光；光纤，其构成为传输测定光；以及测量部。光纤具有单模光纤、多模光纤、以及将单模光纤和多模光纤连接的连接部。光纤的顶端由多模光纤构成。光纤的顶端的端面构成为向测定对象物射出测定光并且被射入来自测定对象物的反射光。测量部构成为基于反射光来测量测定对象物的物理性质。
干涉系统处理装置

[发明专利]输送系统和输送方法-CN202011388507.0在审
发明人：杉田吉平;永井健治 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2020-12-02 - 公布日： 2021-06-18 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种输送系统和输送方法。输送聚焦环的输送系统包括处理系统和位置检测系统，处理系统包括：处理装置，其具有腔室主体和包含基片载置区域及聚焦环载置区域的载置台；以及能够输送聚焦环的输送装置，位置检测系统包括：光源；构成为使光出射并且供反射光入射的多个光学元件；驱动部，其构成为使光学元件分别移动以扫描从聚焦环至基片载置区域为止的扫描范围；和控制部，其构成为按每个光学元件，基于扫描范围内的反射光计算聚焦环与载置台的位置关系，输送装置构成为基于计算出的位置关系来调节将聚焦环输送到聚焦环载置区域上的位置。根据本发明，能够提供高精度地输送聚焦环的技术。
输送系统方法

[发明专利]温度测量系统和温度测量方法-CN202011060754.8在审
发明人：吴同;永井健治 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2020-09-30 - 公布日： 2021-04-23 - 主分类号： G01K11/00 文献下载
摘要：本公开涉及温度测量系统和温度测量方法。对具有第一及与第一主表面相向的第二主表面的测定对象物的温度进行测量，具备：光源部，其产生输出光，所述输出光包括第一及第二波长范围，所述输出光透过测定对象物；测定部，其测定来自第一及第二主表面的反射光的光谱；光程比计算部，其通过对光谱进行傅立叶变换来计算光程比，所述光程比为关于第一波长范围的输出光的光程与关于第二波长范围的输出光的光程之比；以及温度计算部，其基于光程比及预先获取到的折射率比与测定对象物的温度之间的关系来计算测定对象物的温度，所述折射率比为关于第一波长范围的输出光的在测定对象物的折射率与关于第二波长范围的输出光的在测定对象物的折射率。
温度测量系统测量方法

[发明专利]进行处理装置的检查的系统和检查方法-CN202010875893.X在审
发明人：杉田吉平;永井健治 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2020-08-27 - 公布日： 2021-03-09 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本发明提供一种进行处理装置的检查的系统和检查方法，能够判定处理装置的异常。进行处理装置的检查的系统具备：温度调整机构，其调整处理装置的处理室内的部件温度；光源，其产生测定光；多个光学元件，在温度调整机构对部件进行温度调整的期间，所述多个光学元件将通过光源产生的测定光作为出射光射出至处理装置的处理室内的部件，并且反射光射入所述多个光学元件；以及控制部，其基于反射光，针对与光学元件对应的每个测定部位测定部件温度，基于测定部位的部件温度的各温度的比较来判定处理装置的异常。
进行处理装置检查系统方法

[发明专利]基片处理装置和载置台上是否存在聚焦环的检测方法-CN202010169382.6在审
发明人：宫馆孝明;平隆志;永井健治;长﨑秀昭 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2020-03-12 - 公布日： 2020-09-29 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供基片处理装置和载置台上是否存在聚焦环的检测方法。基片处理装置包括载置台、光源、聚焦调节部、受光部和控制部。载置台包括用于载置基片的第1载置面和包围第1载置面并用于载置聚焦环的第2载置面。聚焦调节部将来自光源的光聚焦到当聚焦环被载置于第2载置面上时的聚焦环的下表面位置。受光部接收来自聚焦环的下表面位置的光。控制部基于受光部接收到的光，检测第2载置面上是否存在聚焦环。本发明能够检测是否存在配置于载置台上的聚焦环。
处理装置台上是否存在聚焦检测方法

[发明专利]等离子处理装置-CN201810384258.4有效
发明人：上田雄大;永井健治 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-04-26 - 公布日： 2020-06-12 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种等离子处理装置。该等离子处理装置抑制相对于被处理体的等离子处理的均匀性的下降。等离子处理装置(10)具有第1载置台(2)、第2载置台(7)以及升降机构(120)。第1载置台(2)载置成为等离子处理的对象的晶圆(W)。第2载置台(7)设于第1载置台(2)的外周，并载置聚焦环(5)，且在内部设有制冷剂流路(7d)和加热器(9a)。升降机构(120)使第2载置台(7)升降。
等离子处理装置

[发明专利]设备及使用其的判定系统-CN201880009711.1在审
发明人： 永井健治;新井由之;岩野惠 -专利权人：国立大学法人大阪大学
申请日： 2018-01-26 - 公布日： 2019-09-13 - 主分类号： G01N33/543 文献下载
摘要：本发明提供一种操作性及可移动性优异的设备及使用其的判定系统。涉及一种设备，其具有：配置有化学发光指示剂及所述指示剂的发光底物的试剂部、和形成有所述试剂部的基材，以在对所述试剂部供给试样时所述化学发光指示剂和所述底物可进行反应的方式，在所述试剂部独立配置所述化学发光指示剂及所述底物。另外，涉及一种远程诊断系统，其含有：摄像终端，其检测通过对该设备供给试剂而发出的发光信号；和，信息处理单元，其对用所述摄像终端得到的发光信号数据进行处理，所述摄像终端和所述信息处理单元可以经由网络而双向通信。
试剂部指示剂化学发光摄像终端信息处理单元判定系统底物发光远程诊断系统独立配置发光底物可移动性设备供给双向通信信号数据基材检测配置网络

[发明专利]生物体物质的检测方法、该方法中使用的化学发光指示剂-CN201880008839.6在审
发明人： 永井健治;新井由之 -专利权人：国立大学法人大阪大学
申请日： 2018-01-26 - 公布日： 2019-09-10 - 主分类号： G01N21/78 文献下载
摘要：本发明提供一种能够容易进行定量测定的生物体物质的检测方法。一种检测方法，其为试样中的生物体物质的检测方法，其包含：向所述试样中混合使可结合生物体物质的蛋白质(A)与化学发光蛋白质(B)融合成的融合蛋白(C)、及所述化学发光蛋白质(B)的底物；以及，观察来自所述试样的发光信号，所述蛋白质(A)与所述蛋白质(B)以可进行共振能量转移的方式连接，所述蛋白质(A)为在结合有所述生物体物质的状态下可发出荧光的蛋白质(A1)、或可结合作为自体荧光分子的生物体物质的蛋白质(A2)，所述蛋白质(B)可以利用其发光能量激发所述蛋白质(A)的荧光或自体荧光。
蛋白质生物体物质化学发光自体荧光荧光检测共振能量转移定量测定发光能量融合蛋白指示剂种检测底物发光激发融合观察

[发明专利]荧光蛋白质-CN201780016246.X在审
发明人： 永井健治;筱田肇;松田知己;马元卿 -专利权人：国立大学法人大阪大学
申请日： 2017-03-10 - 公布日： 2018-11-16 - 主分类号： C07K14/435 文献下载
摘要：本发明提供pH稳定性高的(pH敏感性被降低的)黄绿色荧光蛋白质。在一种或多种实施方式中，荧光蛋白质具有在序列编号1的氨基酸序列的第2位至第225位的序列中至少导入有下述突变而成的氨基酸序列。在此，所述突变选自由F149T_orS_orA、L158T_orS_orA、H160T_orS_orA、Y174T_orS_orA、及、Y192T_orS_orA以及其2～5个的组合构成的组。
氨基酸序列荧光蛋白质突变黄绿色荧光蛋白质自由

[发明专利]荧光观察方法和荧光观察设备-CN201380016595.3有效
发明人：藤田克昌;永井健治;齐藤健太;山中真仁;泷本真一 -专利权人：奥林巴斯株式会社
申请日： 2013-03-25 - 公布日： 2017-05-10 - 主分类号： G01N21/64 文献下载
摘要：本发明提供了一种荧光观察方法，其中可在不需要多种激发波长的情况下并且利用简单光学结构同时观察从多种荧光分子发射的多种荧光，荧光分子用作其荧光标签的被观察对象几乎不受损伤，并且可使用通常用作用于荧光观察的光学材料的玻璃，并且提供了一种荧光观察设备。根据本发明的用于检测从两种或更多种荧光分子发射的多种荧光的荧光观察方法包括以下步骤利用可见区中的具有等于或小于700nm的激发激发波长的光使两种或更多种荧光分子的每种经受多光子激发，以在利用两种或更多种荧光分子的每种的深紫外区中的吸收波长带时产生荧光；以及同时检测在激发光的激发波长的较短波长侧或较短波长侧和较长波长侧二者上产生的多种荧光。
荧光观察方法设备

[发明专利]深蓝色荧光蛋白质-CN200880101774.6无效
发明人： 永井健治;友杉亘;松田知己 -专利权人：国立大学法人北海道大学
申请日： 2008-08-01 - 公布日： 2010-08-18 - 主分类号： C12N15/09 文献下载
摘要：本发明提供一种具有新的发光波长峰的GFP的人工突变体。由在序列号1所示的氨基酸序列中，66位的氨基酸残基和175位的氨基酸残基分别被取代，而且72位的氨基酸残基或206位的氨基酸残基的至少一个氨基酸残基被取代的氨基酸序列构成的，发光波长峰为424nm的荧光蛋白质；或65位、145位、148位、46位、和/或203位的各氨基酸残基还被取代的，发光波长峰为424nm的，具有pH非依赖性荧光强度的荧光蛋白质。本发明的荧光蛋白质发出424nm这样的发光波长峰的荧光，其作为深蓝色可通过肉眼将其与其它荧光蛋白质识别开。而且，具有pH的变化不会影响荧光强度的pH非依赖性的荧光强度。
深蓝色荧光蛋白质

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