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[实用新型]全单晶硅铸锭炉-CN201420054130.9有效
发明人：水川;许柏 -专利权人：安徽大晟新能源设备科技有限公司
申请日： 2014-01-28 - 公布日： 2014-07-30 - 主分类号： C30B11/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种全单晶硅铸锭炉，包括炉体、隔热笼、上发热体、下发热体、侧发热体、上坩埚盖板、侧坩埚护板、石英坩埚、上热交换台、下热交换台、升降立柱、水冷盘；所述隔热笼为箱体型，固定在炉体内，隔热笼内部固定设有上发热体，侧发热体；隔热笼中部设有下热交换台与下发热体、升降立柱固定连接，上热交换台为活动式，其上放置石英坩埚，侧坩埚护板4，侧坩埚护板、上坩埚盖板；隔热笼底部外侧设有水冷盘。本实用新型结构合理，避免了已有技术中的不足之处，使整个热场横向热场梯度小，熔化硅料时间短，提高了单晶率，缩短了工艺周期，提高了设备的生产效率，可节约能耗、降低铸锭生产成本。
单晶硅铸锭

[实用新型]准单晶铸锭炉的下加热器固定结构-CN201320469893.5有效
发明人：水川;许柏 -专利权人：安徽大晟新能源设备科技有限公司
申请日： 2013-08-03 - 公布日： 2014-04-30 - 主分类号： C30B11/00 文献下载
摘要：准单晶铸锭炉的下加热器固定结构，其特征在于：包括石墨平台，石墨平台下部设有一个平行放置的下加热器，所述的下加热器通过至少两个双头螺杆吊挂在石墨平台上，每个双头螺杆对应配合的下加热器位置设有通孔，所述的每个双头螺杆穿过相应的通孔，双头螺杆下端通过连接螺母将下加热器设置在螺母上，所述的螺杆螺母与下加热器间设有绝缘装置。通过C/C螺杆和氮化硼绝缘件将下加热器固定在坩埚石墨平台下面，有效地提高下加热器石墨件的使用寿命。
准单晶铸锭加热器固定结构

[发明专利]全单晶硅铸锭炉-CN201410040583.0有效
发明人：水川;许柏 -专利权人：安徽大晟新能源设备科技有限公司
申请日： 2014-01-28 - 公布日： 2014-04-23 - 主分类号： C30B11/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种全单晶硅铸锭炉，包括炉体、隔热笼、上发热体、下发热体、侧发热体、上坩埚盖板、侧坩埚护板、石英坩埚、上热交换台、下热交换台、升降立柱、水冷盘；所述隔热笼为箱体型，固定在炉体内，隔热笼内部固定设有上发热体，侧发热体；隔热笼中部设有下热交换台与下发热体、升降立柱固定连接，上热交换台为活动式，其上放置石英坩埚，侧坩埚护板4，侧坩埚护板、上坩埚盖板；隔热笼底部外侧设有水冷盘。本发明结构合理，避免了已有技术中的不足之处，使整个热场横向热场梯度小，熔化硅料时间短，提高了单晶率，缩短了工艺周期，提高了设备的生产效率，可节约能耗、降低铸锭生产成本。
单晶硅铸锭

[实用新型]准单晶铸锭炉的带隔热环保温体结构-CN201320463212.4有效
发明人：水川;许柏;汪光林 -专利权人：安徽大晟新能源设备科技有限公司
申请日： 2013-08-01 - 公布日： 2014-01-15 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种准单晶铸锭炉的带隔热环保温体结构，包括保温体、侧发热体、上发热体、坩埚盖板、坩埚护板、石英坩埚、硅料、籽晶料和石墨平台，坩埚护板底部的外圈设有隔热环，隔热环置于石墨平台上。本实用新型结构合理，使保温体内的石墨平台上方的热量辐射不到石墨平台下部，满足了在生产中铸锭炉内部保持必要的温度梯度的需求，提高了设备的生产效率。
准单晶铸锭隔热环保结构

[实用新型]准单晶铸锭炉的保温体六面式热场结构-CN201320463213.9有效
发明人：水川;许柏 -专利权人：安徽大晟新能源设备科技有限公司
申请日： 2013-08-01 - 公布日： 2014-01-08 - 主分类号： C30B11/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种准单晶铸锭炉的保温体六面式热场结构，包括上保温体、下保温体、侧发热体、上发热体、石墨平台、石英坩埚、坩埚护板和坩埚盖板，所述石墨平台底部设有下发热体，所述下发热体、石墨平台与升降立柱连接，可随升降立柱一起上下移动。本实用新型结构合理，形成了一个动态六面热场，六面式热场加热方式采用上、下发热体和一组侧面发热体，三组发热体均可独立控制，整个热场横向温度梯度小，熔化硅料时间短，提高单晶率，缩短工艺周期，提高了设备的生产效率。
准单晶铸锭保温体六面式热场结构

[实用新型]准单晶铸锭炉的籽晶熔化厚度测试装置-CN201320463852.5有效
发明人：水川;许柏;罗道南 -专利权人：安徽大晟新能源设备科技有限公司
申请日： 2013-08-01 - 公布日： 2014-01-08 - 主分类号： C30B28/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种准单晶铸锭炉的籽晶熔化厚度测试装置，包括底板、焊接波纹管、磁流体密封、活动板、导柱、电机、顶板、光栅尺、不锈钢丝绳、滑轮、配重、石英探棒、籽晶和坩埚系统。本实用新型结构合理，实现了在铸锭炉炉腔的高温及真空环境中，对籽晶的融化厚度进行监控测量，保证了对准单晶硅生产工艺的过程控制。
准单晶铸锭籽晶熔化厚度测试装置

[实用新型]准单晶铸锭炉的坩埚平台升降机构-CN201320463112.1有效
发明人：水川;许柏 -专利权人：安徽大晟新能源设备科技有限公司
申请日： 2013-08-01 - 公布日： 2014-01-08 - 主分类号： C30B28/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种准单晶铸锭炉的坩埚平台升降机构，包括坩埚平台、石墨立柱、钢立柱、托板、升降装置、传动软轴和电机，所述坩埚平台底面设有石墨立柱，石墨立柱向下伸出下保温体外后与钢立柱连接，钢立柱向下伸出炉体后与水平设置的托板固定连接，炉体下固定设有升降装置，升降装置与托板连接，托板上设有传动软轴及电机，升降装置由传动软轴连接带动，传动软轴由电机连接带动。本实用新型结构合理，使坩埚平台在铸锭炉保温体内可以上下移动，满足了准单晶硅铸锭生产所需要的工艺要求。
准单晶铸锭坩埚平台升降机构

[实用新型]准单晶铸锭炉坩埚平台升降装置的真空密封结构-CN201320463146.0有效
发明人：水川;许柏 -专利权人：安徽大晟新能源设备科技有限公司
申请日： 2013-07-31 - 公布日： 2014-01-08 - 主分类号： C30B11/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种准单晶铸锭炉坩埚平台升降装置的真空密封结构，包括炉壳、移动立柱、支撑座，所述支撑座内设有真空密封橡胶圈、垫圈、油毡和压盖，所述炉壳内流通有冷却水。本实用新型结构合理，使坩埚平台升降装置的移动立柱在运动中能保持炉内的密封，不会有空气进入设备内部，满足其生产工艺要求,解决了在生产中铸锭炉内部保持真空的需求。
准单晶铸锭坩埚平台升降装置真空密封结构

[实用新型]准单晶铸锭炉加热器电极与炉体的真空密封及绝缘结构-CN201320463121.0有效
发明人：水川;许柏 -专利权人：安徽大晟新能源设备科技有限公司
申请日： 2013-07-31 - 公布日： 2014-01-08 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种准单晶铸锭炉加热器电极与炉体的真空密封及绝缘结构，包括电极、绝缘压块、真空绝缘橡胶圈、油毡、垫圈、绝缘套、电极座、下炉体外壁、下炉体内壁；所述下炉体外壁、下炉体内壁之间流通有冷却水。本实用新型结构合理，使加热器电极在升降运动中保持了炉内的真空密封状态，又保证了电极与炉体的绝缘状态，满足了在生产中铸锭炉内部保持真空、炉壳绝缘的需求。
准单晶铸锭加热器电极真空密封绝缘结构

[发明专利]准单晶铸锭炉的下加热器升降机构-CN201310328231.0有效
发明人：水川;许柏 -专利权人：安徽大晟新能源设备科技有限公司
申请日： 2013-08-01 - 公布日： 2013-11-27 - 主分类号： C30B11/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种准单晶铸锭炉的下加热器升降机构，其特征在于：包括下发热体、固定件、电极立柱、固定板、垫块、托板、升降装置、传动软轴和电机；所述下发热体通过固定件安装在保温体内部的坩埚平台底面，下发热体安装有垂直设置的电极立柱，电极立柱向下伸出保温体及炉体后安装在固定板上，固定板通过绝缘垫板与托板连接；炉体下固定设有升降装置，升降装置与托板连接；托板上设有传动软轴及电机，升降装置由传动软轴连接带动，传动软轴由电机连接带动。本发明结构合理，使下发热体在铸锭炉保温体内可以上下移动，满足了准单晶硅铸锭生产的工艺要求。
准单晶铸锭加热器升降机构

[发明专利]准单晶铸锭炉的水冷盘及其制备方法-CN201310330027.2有效
发明人：水川;许柏;鲁廷云;汪光林 -专利权人：安徽大晟新能源设备科技有限公司
申请日： 2013-07-31 - 公布日： 2013-11-27 - 主分类号： C30B11/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种准单晶铸锭炉的水冷盘，包括上盘体、下盘体、连接铜螺钉、填充铜料，所述上盘体设有封闭的结合凸台，下盘体上设有封闭的结合凹槽，压合后使用连接铜螺钉将上盘体、下盘体组合，螺钉头部浇注有填充铜料，水冷盘内部主要由环形水道组成；此外，本发明还提供了一种水冷盘的制备方法。本发明结构合理，其制作工艺步骤操作便捷，确保了水冷盘组合件内部水道间不发生短路，在水的单向流动过程中没有死水区，通过水在内部流动可以均匀带走辐射吸收的热量，使得水冷盘的外表温度一致，达到作为冷源的效果。
准单晶铸锭水冷及其制备方法

[发明专利]准单晶铸锭炉的下加热器固定结构-CN201310333753.X有效
发明人：水川;许柏 -专利权人：安徽大晟新能源设备科技有限公司
申请日： 2013-08-03 - 公布日： 2013-11-27 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：准单晶铸锭炉的下加热器固定结构，其特征在于：包括石墨平台，石墨平台下部设有一个平行放置的下加热器，所述的下加热器通过至少两个双头螺杆吊挂在石墨平台上，每个双头螺杆对应配合的下加热器位置设有通孔，所述的每个双头螺杆穿过相应的通孔，双头螺杆下端通过连接螺母将下加热器设置在螺母上，所述的螺杆螺母与下加热器间设有绝缘装置。通过C/C螺杆和氮化硼绝缘件将下加热器固定在坩埚石墨平台下面，有效地提高下加热器石墨件的使用寿命。
准单晶铸锭加热器固定结构

[发明专利]准单晶铸锭炉的籽晶熔化厚度测试装置-CN201310328548.4无效
发明人：水川;许柏;罗道南 -专利权人：安徽大晟新能源设备科技有限公司
申请日： 2013-08-01 - 公布日： 2013-11-27 - 主分类号： C30B28/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种准单晶铸锭炉的籽晶熔化厚度测试装置，包括底板、焊接波纹管、磁流体密封、活动板、导柱、电机、顶板、光栅尺、不锈钢丝绳、滑轮、配重、石英探棒、籽晶和坩埚系统。本发明结构合理，实现了在铸锭炉炉腔的高温及真空环境中，对籽晶的融化厚度进行监控测量，保证了对准单晶硅生产工艺的过程控制。
准单晶铸锭籽晶熔化厚度测试装置

[发明专利]准单晶铸锭炉底部热场的无级可调式热开关装置-CN201310333758.2无效
发明人：水川;许柏 -专利权人：安徽大晟新能源设备科技有限公司
申请日： 2013-08-03 - 公布日： 2013-11-27 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：一种准单晶铸锭炉底部热场的无级可调式热开关装置，它包括下炉体，其特征在于：在下炉体内设有一个下保温体，下炉体的底部固定安装一个支架，支架上设有一个竖直放置的转轴，转轴下端安装一个从动齿轮，在转轴一侧的支架上设有一个竖直放置的伺服电机，伺服电机的主轴端安装主动齿轮与从动齿轮相啮合，转轴上端伸入到下炉体内至下保温体底部，转轴上端设有旋转的石墨硬毡，在石墨硬毡和下保温体底部分别设有相互配合传导口，在石墨硬毡旋转的过程中形成相联通或者闭合不联通。当石墨硬毡角度时，其石墨硬毡和下保温体之间的传导口尺寸也发生改变，其向下传导的热量也发生变化，当石墨硬毡旋转到传导口关闭时，石墨硬毡传导口对保温层固化毡，其热量也传导不下去，通过改结构有效地改变底部热场热量传导和变化。
准单晶铸锭底部无级调式开关装置

[发明专利]准单晶铸锭炉的保温体六面式热场结构-CN201310328254.1无效
发明人：水川;许柏 -专利权人：安徽大晟新能源设备科技有限公司
申请日： 2013-08-01 - 公布日： 2013-11-27 - 主分类号： C30B11/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种准单晶铸锭炉的保温体六面式热场结构，包括上保温体、下保温体、侧发热体、上发热体、石墨平台、石英坩埚、坩埚护板和坩埚盖板，所述石墨平台底部设有下发热体，所述下发热体、石墨平台与升降立柱连接，可随升降立柱一起上下移动。本发明结构合理，形成了一个动态六面热场，六面式热场加热方式采用上、下发热体和一组侧面发热体，三组发热体均可独立控制，整个热场横向温度梯度小，熔化硅料时间短，提高单晶率，缩短工艺周期，提高了设备的生产效率。
准单晶铸锭保温体六面式热场结构

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