专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]带电粒子束装置-CN201780030731.2有效
  • 榎本裕久;铃木渡 - 株式会社日立高新技术
  • 2017-06-21 - 2020-05-15 - H01J37/09
  • 本发明提供即使在作用了环境音等干扰的情况下也减少支撑体的振动、保持支撑体的平行度、抑制支撑体的重量的增大并且支撑体具有支撑试料室的刚性的带电粒子束装置。支撑体(4)具有:支撑搭载物并支撑于除振支架的第一部件(5);厚度与第一部件(5)的厚度不同并配置为与第一部件(5)重叠的第二部件(6);固定第一部件(5)和第二部件(6)的固定部件(7);以及刚性比固定部件(7)的刚性小并基于第一部件(5)与第二部件(6)的变位差而变形的衰减部件(8)。
  • 带电粒子束装置
  • [发明专利]带电粒子装置-CN201280027699.X有效
  • 榎本裕久;铃木渡;北山真也 - 株式会社日立高新技术
  • 2012-05-31 - 2014-02-19 - H01J37/16
  • 本发明提供一种带电粒子装置,其具有筒形的镜筒(10)、设于该镜筒内部的带电粒子线光学系统、设于该镜筒的试料台(103)、以及支承所述镜筒的支承装置(211、212)。所述支承装置具有在沿所述镜筒的轴线方向设定的多个支承点对所述镜筒进行简支的简支构造,所述镜筒的支承点被设定在如下位置:将所述镜筒视为两端为自由端的梁时的、与梁的振动的波节的位置对应的位置。由此,能够不增加镜筒自身的重量,使镜筒高刚性化,使作用于镜筒的振动降低。
  • 带电粒子装置

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