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[发明专利]晶体管、电子装置及晶体管之制造方法-CN202180014587.X在审
发明人：中积诚;岸梅工;森诚树;藤元高佳 -专利权人：株式会社尼康;东丽工程株式会社
申请日： 2021-02-17 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： H01L29/786 文献下载
摘要：本发明之晶体管具有闸极电极、闸极绝缘膜、半导体膜、源极电极及汲极电极，且上述闸极绝缘膜系交替积层SiOx膜与SiCyNz膜而成之积层膜，构成上述积层膜之膜之总数为3层以上18层以下，构成上述积层膜之各膜之膜厚为25nm以上150nm以下。
晶体管电子装置制造方法

[发明专利]光转换部件-CN201780073087.7有效
发明人：恩地卓也;森诚树 -专利权人：东丽工程株式会社
申请日： 2017-10-31 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： G02B5/20 文献下载
摘要：本发明提供即使形成阻挡层也能够得到高输出亮度的光转换部件。具体而言，该光转换部件具有：光转换膜，将光的颜色从规定颜色进行转换；第1阻气部，位于光转换膜的待转换的光入射的面侧，由防止水分、气体向光转换膜渗入的一层以上的阻气层构成；和第1基材，位于第1阻气部的与光转换膜所处的面相反的面侧，透光并保持光转换膜和第1阻气部，该光转换部件具备具有下述特征的第1阻气部：对于规定颜色的光，第1基材与第1阻气部两者的组合体的透光率高于第1基材的透光率。
转换部件

[发明专利]LED模块和LED模块的制造方法-CN201680015963.6有效
发明人：藤元高佳;山下雅充;森诚树;冈裕 -专利权人：东丽工程株式会社
申请日： 2016-03-23 - 公布日： 2019-12-24 - 主分类号： H01L33/58 文献下载
摘要：在LED模块中，将用于解决产生放射到大气的光的输出损失这一问题的方式具体化。具体来说，是一种利用密封树脂对LED芯片进行密封而得的LED模块，其中，该密封树脂的表面被薄膜覆盖，所述薄膜由线膨胀系数比所述密封树脂小的材质构成，在所述薄膜的表面上具有凹凸面，从而该LED模块构成为使来自所述LED芯片的光进行多重反射。
led 模块制造方法

[发明专利]密封膜的形成方法和密封膜-CN201580048757.0有效
发明人：山下雅充;藤元高佳;森诚树 -专利权人：东丽工程株式会社
申请日： 2015-10-29 - 公布日： 2019-05-28 - 主分类号： C23C16/505 文献下载
摘要：本发明提供能够稳定地形成具有高阻隔性的密封膜的密封膜形成方法。具体地说，本发明涉及在基材(2)上进行缓冲层(M1)和密度高于缓冲层(M1)的阻隔层(M2)的交替成膜而形成密封膜的密封膜的形成方法，该方法具有下述工序：在基材(2)的表面形成第1缓冲层(M1a)的第1缓冲层成膜工序；在第1缓冲层(M1)的表面形成阻隔层(M2)的第1阻隔层成膜工序；以及在第1阻隔层形成工序中形成的阻隔层(M2)的表面形成第2缓冲层(M1b)的第2缓冲层成膜工序，与第2缓冲层(M1b)中的在与基材(2)的厚度方向倾斜的方向成膜的部分的膜厚相对于在该厚度方向成膜的部分的膜厚的比例相比，第1缓冲层(M1a)中的在与上述厚度方向倾斜的方向成膜的部分的膜厚相对于在上述厚度方向成膜的部分的膜厚的比例更接近于1。
密封形成方法

[发明专利]膜厚不匀检测装置和方法、带有该检测装置的涂布装置-CN201310023443.8无效
发明人：西村幸治;平田肇;森诚树 -专利权人：东丽工程株式会社
申请日： 2013-01-22 - 公布日： 2013-07-31 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明提供膜厚不匀检测装置和方法、带有该检测装置的涂布装置，即使对伴随微小膜厚不匀的纵筋或横段，能够在刚涂布完后可靠地发现膜厚不匀，该膜厚不匀检测装置包括：照射部，向基板上的涂布膜照射特定照射图案的光；光接收部，接收从涂布膜表面反射的反射光；判断部，对由光接收部接收的光图案和特定的照射图案进行比较，由此判断涂布膜的形成状态是否良好；其中，判断部包括：图像比较部，比较接收光图案和照射图案；偏差提取图像生成部，用图像比较部比较接收光图案和照射图案以提取偏差；累加计算部，从偏差提取的图像累加计算散布的偏差提取图像的面积；累加计算偏差面积判断部，判断累加计算的偏差提取面积累加计算值是否比判断基准值大。
膜厚不匀检测装置方法带有

[发明专利]板状部件的输送装置及板状部件的输送方法-CN200810144454.0有效
发明人：谷川央树;尾崎充佳;森诚树 -专利权人：东丽工程株式会社
申请日： 2008-07-31 - 公布日： 2009-10-21 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种板状部件的输送装置及板状部件的输送方法，其在输送路径的中途，可以高精度地对板状部件进行要求表面平坦度的处理。输送装置(10)具有：飘浮单元(20)，其沿玻璃基板(11)的输送方向排列多个使玻璃基板(11)飘浮的飘浮部件(21)；输送单元(30)，其在玻璃基板(11)利用飘浮单元(20)从飘浮部件(21)飘浮的状态下，保持玻璃基板(11)，同时沿输送方向向下游侧输送玻璃基板(11)；以及处理部(40)，其在输送单元(30)中的输送路径的中途，对玻璃基板(11)进行曝光处理。在与处理部(40)相对应的区域内，设置作为表面平坦度提高单元的横置飘浮部件(43)。
部件输送装置方法

[发明专利]利用激光束的识别码的打印方法和装置-CN200510125046.7无效
发明人：佐藤谦二;森诚树;植原幸大 -专利权人：东丽工程株式会社
申请日： 2002-10-24 - 公布日： 2006-06-07 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：在利用激光束对平台上的被标记物品打印识别码的方法和装置中，使从曝光单元输出的激光束在与对上述平台相对移动方向正交的方向上按时间顺序依次偏移地进行扫描，同时使该照射方向与上述相对移动方向同步地偏移，从而使上述被标记物品上的照射点排列成直角坐标状。另外，其它的打印方法和装置是在1个曝光单元沿相对移动方向移动1个间距的期间打印多列识别码的方法和装置。
利用激光束识别码打印方法装置

[发明专利]利用激光束的识别码的打印方法和装置-CN02821192.8无效
发明人：佐藤谦二;森诚树;植原幸大 -专利权人：东丽工程株式会社
申请日： 2002-10-24 - 公布日： 2005-02-02 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：在利用激光束对平台上的被标记物品打印识别码的方法和装置中，使从曝光单元输出的激光束在与对上述平台相对移动方向正交的方向上按时间顺序依次偏移地进行扫描，同时使该照射方向与上述相对移动方向同步地偏移，从而使上述被标记物品上的照射点排列成直角坐标状。另外，其它的打印方法和装置是在1个曝光单元沿相对移动方向移动1个间距的期间打印多列识别码的方法和装置。
利用激光束识别码打印方法装置

[发明专利]识别码的激光标记方法及装置-CN200310122324.4无效
发明人： 森诚树;常吉豪 -专利权人：东丽工程株式会社
申请日： 2003-12-16 - 公布日： 2004-06-30 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种用至少1个声光光偏向器使激光振荡器输出的激光束在水平面和垂直面的至少1个平面上扫描，用圆点按时间序列形成由一维和二维中的至少一方构成的标记；然后，用电流计扫描设备使该标记在基板上二维扫描这样地照射的识别码激光标记方法和装置。
识别码激光标记方法装置

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