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[发明专利]接近式曝光装置-CN201210169115.4有效
发明人：前田武文;森本贺津美 -专利权人：恩斯克科技有限公司
申请日： 2012-05-28 - 公布日： 2013-01-02 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种接近式曝光装置(PE)，其具备：由具有第一定子(31)及与其对置的第一转子(32)的第一直线电动机(30)、和具有第二定子(41)及与其对置的第二转子(42)的第二直线电动机(40)构成的工件驱动部；沿转子(32、42)配设的致冷剂循环通路(35、45)；向致冷剂循环通路(35、45)循环供给致冷剂的致冷剂供给装置(37、47)；和配置于致冷剂循环通路(35、45)的入口(35a、45a)和出口(35b、45b)附近，检测致冷剂流入流出温度的温度传感器(36、46)，基于温度传感器(36、46)的检测值进行温度管理，以使从直线电动机(30、40)传递到基板(W)的热量一定。
接近曝光装置

[发明专利]切削装置的切削刀片监视装置-CN03143868.7有效
发明人： 森本贺津美;松原政幸;菅野洋平 -专利权人：株式会社迪斯科
申请日： 2003-07-01 - 公布日： 2004-02-25 - 主分类号： B23Q17/00 文献下载
摘要：本发明提供一种切削装置的切削刀片监视装置，该切削装置的切削刀片监视装置不受切削水和污垢物的影响，能够正确检测切削刀片的切削刃的状态，同时也可以适用于装备多刀片的切削装置。本发明是下述的切削装置的切削刀片监视装置，该切削装置具备：保持被加工物的被加工物保持单元、和切削由该被加工物保持单元保持的被加工物的切削单元；该切削单元具备：回转轴、和装在该回转轴上并具有由磁性材料固定磨料的切削刃的切削刀片。该切削装置的切削刀片监视装置具备与该切削刀片的该切削刃的外周对向配设的磁性传感器，和根据该磁性传感器的检测信号判定该切削刃的状态的控制单元。
切削装置刀片监视