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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]静电吸盘-CN202310289661.X在审
发明人：小野瑛人;池口雅文;梅津智树;上藤淳平 -专利权人： TOTO株式会社
申请日： 2023-03-23 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种静电吸盘，其能够抑制冷媒流路的位置偏离的影响。提供一种静电吸盘，具备：陶瓷电介体基板；及基座板，支撑陶瓷电介体基板，具有陶瓷电介体基板侧的上面和上面相反侧的下面，其特征为，基座板包含设置在上面与下面之间且冷媒可通过的连通路，连通路包含具有沿向第1方向的一对侧面的第1流路部，该第1方向是沿向冷媒的流向的方向，当沿着基座板与陶瓷电介体基板的积层方向上观察时，一对侧面中的一个侧面具有：多个凸部，在垂直于第1方向且从一对侧面中的另一个侧面朝向一个侧面的第2方向上呈凸状；及多个凹部，在第2方向的相反方向上呈凸状，多个凸部与多个凹部交替排列。
静电吸盘

[发明专利]静电吸盘-CN202310302696.2在审
发明人：小野瑛人;糸山哲朗;梅津智树;上藤淳平 -专利权人： TOTO株式会社
申请日： 2023-03-27 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种静电吸盘，其能够提高处理对象物的面内温度分布的均匀性。提供一种静电吸盘，具备：基座板，包含冷媒可通过的涡旋状的连通路；第1加热器元件，包含径向及周向上排列的多个第1区；及多个第1供电端子，向多个第1区供电，多个第1区包含发热的第1加热器线和向第1加热器线供电的一对第1供电部，一对第1供电部电连接于多个第1供电端子，多个第1供电端子包含：第1环状部分，配置在第1假想圆上；及第2环状部分，位于与第1环状部分相比更靠近内侧的位置且配置在第2假想圆上，当沿着积层方向观察时，在第1环状部分与第2环状部分之间，连通路包含围住第2环状部分周围的第1圈部分。
静电吸盘

[发明专利]静电吸盘以及半导体制造装置-CN202210240196.6在审
发明人：小野瑛人;上藤淳平;梅津智树;早川达也 -专利权人： TOTO株式会社
申请日： 2022-03-10 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种静电吸盘，具备陶瓷电介体基板及基座板，其特征为，陶瓷电介体基板具有：第1、第2主面；槽部，从第1主面向第2主面凹下；及多个冷却气体用孔，穿通槽部与第2主面之间，槽部具有第1、第2周向槽及第1、第2径向槽，多个冷却气体用孔具有：第1孔，当俯视观察时与第1径向槽发生重叠；及第2孔，当俯视观察时与第2径向槽发生重叠，基座板具有向第1孔及第2孔供给冷却气体的气体导入路，第1周向槽具有位于周向的一端侧的第1端部及位于另一端侧的第2端部，第2周向槽具有位于周向的一端侧的第3端部及位于另一端侧的第4端部，第3端部及第4端部分别在径向上并不与第1端部发生重叠。
静电吸盘以及半导体制造装置

[发明专利]防滑鞋底-CN200910001178.7有效
发明人：堀切川一男;山口健;相内亮庆;梅津智树;春日宪一;伊藤贵之;石泽智 -专利权人：弘进橡胶株式会社
申请日： 2009-01-23 - 公布日： 2010-01-20 - 主分类号： A43B13/22 文献下载
摘要：防滑鞋底，由橡胶或热塑性树脂的弹性体制成，其上的设计模块2由多个前后排列设置的相互独立的着地突起部2a构成，所述着地突起部2a之间存在可产生弹性变形的许可间隙，所述着地突起部2a上有着地面3，所述着地面3是由移动时同时着地的前后的平滑面3a和位于该平滑面3a之间的由无数凹凸而形成的粗糙面3b组成，所述凹凸的凸部3b′与所述平滑面3a同时着地，所述着地突起部2a的侧面与该着地面3相垂直。
防滑鞋底

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共 4 条

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