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[发明专利]一种新型管式PECVD设备及其镀膜工艺-CN202310586090.6在审
发明人：宋长钰;钱锋;姚飞;梁锦东;黄冠 -专利权人：东莞嘉拓日晟智能科技有限公司
申请日： 2023-05-23 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明涉公开了一种新型管式PECVD设备及镀膜工艺。该管式PECVD设备包括保温外壳体、主供气单元、匀气单元、内保温腔体、加热单元、对电极和控制单元。本发明的双层壳体结构采用截面为非圆形的形状，减少了放置石墨舟时的空间浪费，能够通过增加截面宽度来增加石墨舟的放置数量；将加热单元设置在内保温腔体内部，降低了加热区体积，减少了所需的加热功率；通过设置气体挡板，延长了石墨舟与内保温腔体之间的工艺气体流动路径，使通过石墨舟的工艺气体的气流量增加且更加均匀，降低了废气的排除；采用石墨材质的内保温腔体不仅起到保温隔热作用，同时延长了其使用寿命，又避免镀膜时对产品污染；相同工艺时间下产量提高了至少15％，能耗降低了至少25％。
一种新型 pecvd 设备及其镀膜工艺

[实用新型]一种等离子体增强化学气相沉积设备-CN202022079239.6有效
发明人：钱锋;姚飞;王小东;廖运华;梁锦东;陈进福 -专利权人：东莞帕萨电子装备有限公司
申请日： 2020-09-21 - 公布日： 2021-01-19 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：本实用新型涉及镀膜技术领域，具体涉及一种等离子体增强化学气相沉积设备，包括抽真空机构、反应机构及移送机构，抽真空机构与反应机构相连通，移送机构将待处理产品送入或取出反应机构，反应机构包括反应腔室、电极组件及承载组件，电极组件设置在反应腔室的顶端并在反应腔室的内部移动，承载组件设置在反应腔室的底端并在反应腔室的内部移动，电极组件包括至少一个出气装置，出气装置从上往下依次包括弥散管和弥散球头，弥散管和弥散球头均设有若干个均匀分布的弥散孔。以此可以使镀膜气体从弥散管和弥散球头中全方位发散，确保镀膜气体能均匀地粘附在疫苗瓶内壁，避免疫苗瓶内壁出现镀膜缺陷、不完整的问题，有利于提高疫苗瓶的生产质量。
一种等离子体增强化学沉积设备

[发明专利]一种等离子体增强化学气相沉积设备-CN202010996920.9在审
发明人：钱锋;姚飞;王小东;廖运华;梁锦东;陈进福 -专利权人：东莞帕萨电子装备有限公司
申请日： 2020-09-21 - 公布日： 2020-12-04 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：本发明涉及镀膜技术领域，具体涉及一种等离子体增强化学气相沉积设备，包括抽真空机构、反应机构及移送机构，抽真空机构与反应机构相连通，移送机构将待处理产品送入或取出反应机构，反应机构包括反应腔室、电极组件及承载组件，电极组件设置在反应腔室的顶端并在反应腔室的内部移动，承载组件设置在反应腔室的底端并在反应腔室的内部移动，电极组件包括至少一个出气装置，出气装置从上往下依次包括弥散管和弥散球头，弥散管和弥散球头均设有若干个均匀分布的弥散孔。以此可以使镀膜气体从弥散管和弥散球头中全方位发散，确保镀膜气体能均匀地粘附在疫苗瓶内壁，避免疫苗瓶内壁出现镀膜缺陷、不完整的问题，有利于提高疫苗瓶的生产质量。
一种等离子体增强化学沉积设备