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- [发明专利]流体供给装置和流体供给方法-CN201880052011.0有效
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吉田俊英;皆见幸男;篠原努
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株式会社富士金;东京毅力科创株式会社
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2018-07-31
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2023-08-29
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H01L21/304
- 提供一种能够稳定地供给超临界流体的流体供给装置和流体供给方法。该流体供给装置是用于朝向处理室(500)供给向超临界流体变化之前的液态的流体的流体供给装置(1)，其具有：冷凝器(130)，其用于使气态的二氧化碳冷凝液化；贮存器(140)，其用于贮存利用冷凝器(130)冷凝液化而成的流体；泵(150)，其用于朝向处理室(500)加压输送被贮存于贮存器(140)的液化而成的二氧化碳；以及阻尼部(10)，其设于与泵(150)的喷出侧连通的流路(2)，用于抑制自泵(150)喷出的液体的周期性的压力变动，阻尼部(10)具有螺旋管(20)，该螺旋管(20)的两端部固定于预定的位置，并且该螺旋管(20)形成为供自泵(150)喷出的液体流通的螺旋状。
- 流体供给装置方法
- [发明专利]流体供给装置和该装置的液体排出方法-CN201880052631.4有效
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吉田俊英;皆见幸男;篠原努
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株式会社富士金;东京毅力科创株式会社
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2018-07-31
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2023-06-13
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H01L21/304
- 提供一种能够防止因设置在主配管的各种设备发生冻结而产生故障的流体供给装置和适合该装置的液体排出方法。该流体供给装置具有：冷凝器(130)；贮存器(140)，其用于贮存流体；泵(160)，其用于朝向处理室(500)加压输送流体；主配管(2)，其连结贮存器(140)与泵(160)，用于利用在贮存器(140)贮存的液体的自重向泵(160)输送该液体；以及排出用配管(5)，其一端与主配管(2)在该主配管(2)的最低位置MB连接，另一端部向大气开放，该排出用配管(5)用于使贮存器(140)和主配管(2)内的液体气化并向外部排出，排出用配管(5)形成为：在贮存器(140)和主配管(2)内的液体全部排出后，在排出用配管(5)内暂时地产生将排出用配管(5)的大气侧的空间和主配管(2)侧的空间隔开的积液。
- 流体供给装置液体排出方法
- [发明专利]一种流体控制器-CN202111520325.9在审
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小林圭吾;药师神忠幸;堀河裕生;杉村瞭
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株式会社富士金
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2021-12-13
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2022-06-21
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F16K7/17
- 本发明提供一种流体控制器，其是使用隔膜来截断流道的流体控制器，可以通过简化工艺来制造，使隔膜即使在恒定的负载下长期使用也不会引起塑性变形，即使高腐蚀性的液体流入流道，也不会损坏隔膜，即使高温液体流入流道，在流体控制器打开和关闭时隔膜压件接触和脱离隔膜时，也可以抑制橡胶弹性体的损坏。一种流体控制器，其特征在于，包括：阀箱，其具有流体流道和，顶面为阀座的堰；隔膜，与所述阀座抵接和分离，并关闭和打开流道，所述隔膜由两层组成，第一层配置在流道侧，由具有耐腐蚀性的硬质树脂材料制成，第二层是不与第一层粘合的独立体，是由软质树脂材料和硬质树脂材料组成的层压板，所述软质树脂材料设置于第一层的非流道侧，支撑第一层，所述硬质树脂材料与软质树脂材料层粘合，设置于非流道侧。
- 一种流体控制器
- [发明专利]Y型阀-CN202111319809.7在审
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小林圭吾;药师神忠幸;八幡聪太;堀河裕生
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株式会社富士金
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2021-11-09
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2022-05-31
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F16K1/36
- 本发明提供一种Y型阀，其与以往的Y型阀相比，阀芯的脱落可能性降低，将阀杆与阀芯连结的销的破损可能性也降低。Y型阀具有：管状部，其与配管连接；大致呈Y状的主体，其具有相对于该管状部在斜向上延伸设置的分支管部；和使在前端具有阀芯的阀杆驱动的致动机构，该阀芯相对于形成在该主体的内部的阀座抵接或分离而进行开闭。在阀芯形成有供阀杆的前端部插入的凹部，在阀杆的前端部形成有环状槽，在阀芯形成有供用于将阀杆与阀芯连结的销插入的孔，该销与环状槽卡合，在阀杆前端的端面与凹部的底面之间夹着对阀杆和阀芯始终在使该阀杆和阀芯分离的方向上施力的施力部件。
- 型阀
- [发明专利]浓度测定装置-CN202080058213.3在审
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永濑正明;泷本昌彦;田中一辉;西野功二;池田信一
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株式会社富士金
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2020-08-31
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2022-04-01
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G01N21/01
- 本发明提供一种浓度测定装置(100)，其具备：具有光源(22)以及光检测器(24)的电气单元(20)；具有测定单元(1)的流体单元(10)；用于将来自光源的光传输到测定单元的第一光传输部件(11)；用于将来自测定单元的光传输到光检测器的第二光传输部件(12)；设置于流体单元的透镜(3A)，其被配置为来自第一光传输部件的光入射到第一位置，光从第二位置向第二光传输部件出射；测定在测定单元中流动的流体的压力的压力传感器(5)；以及检测在测定单元中流动的流体的浓度的运算电路(28)，为了降低由流体的折射率引起的测定误差，基于光检测器的输出和与压力传感器输出的压力以及流体的浓度建立关联的补正因子来计算流体的浓度。
- 浓度测定装置
- [发明专利]隔膜阀-CN202080042313.7在审
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石桥圭介;吉田俊英;药师神忠幸;山路道雄;筱原努
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株式会社富士金
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2020-06-08
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2022-01-11
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F16K7/17
- 本发明提供不受高压用、高温用等用途制约而具有优异的耐久性能且能够抑制颗粒产生的控制阀。隔膜阀包括：阀体(2)，其形成有流体的流入通路(22)及流出通路(23)；阀座(25)，其形成于该阀体内的流入通路的周缘；隔膜(30)，其通过与该阀座抵接/分离来进行流入通路与流出通路的连通/截断；隔膜按压部(31)，其按压该隔膜的中央部；以及致动器(4)，其使该隔膜按压部移动，所述隔膜阀具有调节机构，该调节机构将所述阀座与所述隔膜之间的封闭压力调节为规定的压力。
- 隔膜
- [发明专利]流体控制装置-CN202080038543.6在审
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栗城春彦;野刈慎也
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株式会社富士金
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2020-06-10
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2022-01-04
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F16L41/03
- 提供一种流体控制装置，其能够抑制对气体管线加热的加热器的热对相邻的流体控制设备产生的影响。在流体控制装置(1)中，气体管线(3)具备：沿着第一方向(D1)设置的树脂部件(4)；设置在树脂部件(4)上的第一托架(20)；设置在第一托架(20)上的多个接头(9)；设置于多个接头(9)的多个流体控制设备(10～16)；以及安装于多个接头(9)以及多个流体控制设备(10～16)的加热器(18)，第一托架(20)具备：固定于树脂部件(4)的第一固定部(21)；从第一固定部(21)向远离底板(2)的方向延伸的第一脚部(22)；以及从第一脚部(22)的相对于第一固定部(21)侧的相反侧的端部以与第一脚部(22)交叉的方式突出，并且设置有接头(9)的第一设置部(23)。
- 流体控制装置
- [发明专利]阀以及流体供给管线-CN201880051365.3有效
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丹野龙太郎;相川献治;原田章弘;铃木裕也;松田隆博;米华克典;落石将彦;篠原努
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株式会社富士金
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2018-08-28
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2021-12-03
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F16K31/12
- 本发明通过提供使布线简化的阀以及搭载有该阀的流体供给管线来提高材料气体的控制的精度。阀(V)具备阀本体(3)和与阀本体(3)连结的驱动压力控制装置(4)。驱动压力控制装置(4)具有：驱动压力导入通道(431)，与管线外的驱动压力供给源(G)连接；自动阀(411)，将驱动压力导入通道(431)打开或关闭；驱动压力导入通道(433)，与阀本体(3)的驱动压力导入口(3a)连结；自动阀(412)，与自动阀(411)联动来将驱动压力导入通道(433)打开或关闭，并将从驱动压力导入通道(433)释放驱动压力的排气通路(44)打开或关闭；以及驱动压力导入通道(432)，经由自动阀(411)和自动阀(412)来连结驱动压力导入通道(431)与驱动压力导入通道(433)。
- 以及流体供给管线
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