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[发明专利]激光加工方法-CN202180086113.6在审
发明人：杉本阳;坂本刚志;荻原孝文;内山直己;栗田隆史;吉村凉 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2021-12-20 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： B23K26/53 文献下载
摘要：激光加工方法，具备：第1工序，其准备晶圆，该晶圆包含以经由分割道互相邻接的方式配置的多个功能元件；第2工序，其在第1工序后，沿着通过分割道的线，在晶圆的内部形成改质区域；及第3工序，其在第2工序后，以去除分割道的表层，且自改质区域伸展的龟裂沿着线到达通过去除表层而成的凹部的底面的方式，对分割道照射激光。
激光加工方法

[发明专利]激光加工装置及激光加工方法-CN202180086377.1在审
发明人：杉本阳;坂本刚志;荻原孝文;内山直己;栗田隆史;吉村凉 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2021-12-20 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： B23K26/351 文献下载
摘要：激光加工方法具备：第1工序，其准备包含以经由分割道而彼此相邻的方式配置的多个功能元件的晶圆；以及第2工序，其在第1工序之后，基于关于分割道的信息来对分割道照射激光，以使在分割道的第1区域去除分割道的表层，且在分割道的第2区域残留表层。关于分割道的信息包含当沿着通过分割道的线在晶圆的内部形成有改质区域的情况下，从改质区域伸展的龟裂，在第1区域未沿着线到达分割道，在第2区域沿着线到达分割道的信息。
激光加工装置方法

[发明专利]激光加工装置及激光加工方法-CN202180086211.X在审
发明人：杉本阳;坂本刚志;荻原孝文;内山直己;栗田隆史;吉村凉 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2021-12-20 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： H01L21/301 文献下载
摘要：激光加工装置，具备：支撑部，其支撑晶圆，该晶圆含有配置成经由分割道彼此相邻的多个功能元件；照射部，其对分割道照射激光；以及控制部，其基于关于分割道的信息，控制照射部，以对分割道的第1区域及第2区域同时实施激光的照射，并使激光在第2区域去除分割道的表层的功率比在第1区域去除表层的功率大，关于分割道的信息，含有表示第1区域的激光加工的难度的加工阈值比第2区域的加工阈值低的信息。
激光加工装置方法

[发明专利]激光装置-CN202180071970.9在审
发明人： 栗田隆史;吉村凉;牧野凉;泷口优 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2021-09-29 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： B23K26/064 文献下载
摘要：一种激光装置，具备：激光光源，其出射激光；相位控制部，其用于输入自上述激光光源出射的上述激光，控制上述激光的一部分的光的空间相位并作为控制光出射，且将上述激光的另一部分的光作为非控制光出射；第1光学系统，其用于将自上述相位控制部出射的上述控制光照射于对象物；检测器，其用于检测自上述相位控制部出射的上述非控制光；第2光学系统，其用于将自上述相位控制部出射的上述非控制光朝上述检测器的检测面聚光；及控制部，其执行用于基于来自上述检测器的上述非控制光的检测结果，以修正上述相位控制部中的上述控制光的空间相位的控制状态的方式控制上述相位控制部的修正处理。
激光装置

[发明专利]激光加工方法和激光加工装置-CN202180065217.9在审
发明人：壁谷悠希;栗田隆史;吉村凉;渡利威士 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2021-07-05 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： B23K26/356 文献下载
摘要：本发明的一种激光加工方法是通过向对象物的表面中的对象区域照射激光，沿着对象区域向对象物赋予压缩残余应力的激光加工方法。该激光加工方法具备：加工步骤，一边增大每单位面积的激光的强度的移动平均值，一边对对象区域扫描激光的照射光斑。
激光加工方法装置

[发明专利]激光加工方法和激光加工装置-CN202180065188.6在审
发明人：壁谷悠希;栗田隆史;吉村凉;渡利威士 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2021-07-05 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： B23K26/356 文献下载
摘要：本发明的一种激光加工方法是通过向对象物的表面中的对象区域照射激光，沿着对象区域向对象物赋予压缩残余应力的方法。该激光加工方法具备：第一步骤，在对象区域中，将激光的被照射区域朝向第一侧扩展；和第二步骤，在对象区域中，将激光的被照射区域朝向与第一侧不同的第二侧扩展。
激光加工方法装置

[发明专利]加工物的制造方法、加工物及加工装置-CN202180040983.X在审
发明人： 栗田隆史;渡利威士;壁谷悠希;吉村凉 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2021-06-04 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： B23K26/356 文献下载
摘要：本发明提供一种加工物的制造方法，其具备：准备含有金属的加工对象物(10)；通过激光(L)的照射，沿着加工对象物(10)的表面(10a)形成多个第一区域(α)和第二区域(β)。对多个第一区域(α)赋予拉伸残余应力。对第二区域(β)赋予压缩残余应力。激光(L)向加工对象物(10)的表面(10a)中彼此分离的多个照射部位(P)照射。在从与表面(10a)正交的方向观察的情况下，各第一区域(α)形成为彼此分离，并且被第二区域(β)包围。
加工制造方法装置

[发明专利]激光加工装置及激光加工方法-CN202180021209.4在审
发明人： 栗田隆史;泷口优 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2021-02-17 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： B23K26/067 文献下载
摘要：本发明的激光加工装置(10)具备：空间光调制器(12)，其输入从激光源(11)输出的激光(La1)，输出通过全息图相位调制后的激光(La2)；及控制部(18)，其使空间光调制器(12)呈现：通过聚光光学系统(14)使从空间光调制器(12)输出的相位调制后的激光(La2)聚光于被加工物(W)的多个照射点(SP)的全息图。控制部(18)互相独立地控制多个照射点(SP)中包含的至少2个照射点(SP)的光强度。由此，在通过使用空间光调制器相位调制激光而对多个照射点同时进行聚光照射的激光加工装置中，可进行更复杂的加工。
激光加工装置方法

[发明专利]激光加工装置及激光加工方法-CN202180021284.0在审
发明人： 栗田隆史;泷口优 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2021-02-17 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： B23K26/067 文献下载
摘要：本发明的激光加工装置(10)具备：空间光调制器(12)，其输入从激光源(11)输出的激光(La1)，输出通过全息图相位调制后的激光(La2)；及控制部(18)，其使空间光调制器(12)呈现：通过聚光光学系统(14)使从空间光调制器(12)输出的相位调制后的激光(La2)聚光于被加工物(W)的多个照射点(SP)的全息图。控制部(18)使以下两个被加工区域的形状及大小中的至少一个互不相同，该两个被加工区域为，在与照射于被加工物(W)的激光(La2)的光轴交叉的第1面内由多个照射点(SP)划定的被加工区域(A)、及在与光轴交叉且从所述第1面沿光轴方向分离的第2面内由多个照射点(SP)划定的被加工区域(A)。由此，在通过使用空间光调制器相位调制激光而对多个照射点同时进行聚光照射的激光加工装置中，可进行更复杂的加工。
激光加工装置方法

[发明专利]激光加工装置及激光加工方法-CN202180017054.7在审
发明人： 栗田隆史;川合一希 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2021-02-10 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： H01S5/062 文献下载
摘要：本发明的激光加工装置(1A)具备：半导体激光元件(2)；波形输出部(6)，其将输入波形数据(Da)输出；驱动电路(4)，其将具有与输入波形数据(Da)对应的时间波形的驱动电流(id)供给至半导体激光元件(2)；及加工光学系统(5)，其将自半导体激光元件(2)输出的激光照射至被加工物(B)。半导体激光元件(2)输出激光(La)，该激光由包含一个或多个光脉冲的二个以上的光脉冲组互相隔开时间间隔地排列而成。二个以上的光脉冲组中的至少二个光脉冲组的时间波形互不相同。时间波形中，包含一个或多个光脉冲各自的时间波形、一个或多个光脉冲各自的时间宽度、及多个光脉冲的时间间隔中的至少一者。由此，实现可将隔开时间差地对被加工物照射时间波形不同的多个光脉冲的结构小型化的激光加工装置及激光加工方法。
激光加工装置方法

[发明专利]激光装置和激光生成方法-CN202080051316.7在审
发明人： 栗田隆史;加藤义则;川嶋利幸 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2020-06-25 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： H01S3/10 文献下载
摘要：本发明的激光装置(1A)具备光源部(10A)和光合波部(21)。光源部(10A)将第1激光(L1)和与第1激光(L1)波长不同的第2激光(L2)分别向不同的光路输出。光合波部(21)与光源部(10A)光学耦合，将第1激光(L1)与第2激光(L2)进行合波，并以和第1激光(L1)的波长与第2激光(L2)的波长的差相对应的频率产生脉冲串式脉冲。在光源部(10A)，第1激光(L1)和第2激光(L2)的各波长，以脉冲串式脉冲的频率成为1GHz以上的方式，预先设定或为能够设定。由此实现能够生成具有1GHz以上的高重复频率的脉冲串式脉冲的激光装置和激光生成方法。
激光装置生成方法

[发明专利]激光装置和波形控制方法-CN201780077070.9有效
发明人： 栗田隆史;加藤义则;川嶋利幸 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2017-11-21 - 公布日： 2022-01-07 - 主分类号： H01S3/10 文献下载
摘要：激光装置(1)是包括输出朝向光放大部(12)的种子光(L1)的输出部(11)的激光装置，其中输出部(11)具有：将包含处于光放大部(12)的增益范围内的多个波长的光作为种子光(L1)输出的光源部(14)；和对从光源部(14)输出的种子光(L1)的强度时间波形进行控制的种子光控制部(13)。
激光装置波形控制方法

[发明专利]激光装置及激光波形控制方法-CN201980061175.4在审
发明人： 栗田隆史;加藤义则;川嶋利幸 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2019-07-02 - 公布日： 2021-04-30 - 主分类号： H01S3/10 文献下载
摘要：本发明提供一种激光装置(1A)，其具备：半导体激光元件(5)；波形运算部(3)，其运算输入波形数据(Da)；驱动电路(4)，其将具有与输入波形数据(Da)相对应的时间波形的驱动电流(Id)提供给半导体激光元件(5)；光放大器(7)，其放大从半导体激光元件(5)输出的激光(La)；以及光波形检测部(10)，其检测从光放大器(7)输出的放大后的激光(Lb)的波形。波形运算部(3)将由光波形检测部(10)检测到的放大后的激光(Lb)的波形与目标波形进行比较，调整输入波形数据(Da)的时间波形，使放大后的激光(Lb)的波形接近目标波形。由此，可实现能够使装置尺寸小型化的激光装置和激光波形控制方法。
激光装置波形控制方法

[发明专利]激光放大装置-CN201680006190.5有效
发明人：关根尊史;加藤义则;玉置善纪;栗田隆史;川嶋利幸;森田宇亮 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2016-01-13 - 公布日： 2019-06-18 - 主分类号： H01S3/10 文献下载
摘要：本发明所涉及的激光放大装置中的激光介质单元(10)具备多个激光介质(14)。在激光介质单元(10)的周围设置冷却介质流路(F1)，从外侧冷却激光介质单元(10)。在激光介质(14)之间的密闭空间内填充气体或者液体，通过所涉及的密闭空间内的激光因为不会被在外侧进行流动的冷却介质干涉，所以被放大的激光的晃动等被抑制并且激光的稳定性和聚焦特性等的质量提高。
激光放大装置

[发明专利]氧化锆的加工方法-CN201580073644.6在审
发明人：米田修;近藤拓也;川嶋利幸;菅博文;佐藤仲弘;关根尊史;栗田隆史;砂原淳;元广友美;日置辰视;东博纯;大岛繁树;梶野勉;北川米喜;森芳孝;石井胜弘;花山良平;西村靖彦;三浦永祐 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2015-08-10 - 公布日： 2017-09-26 - 主分类号： C04B41/91 文献下载
摘要：本发明的课题在于提供一种不会生成单斜晶的氧化锆的加工方法。该氧化锆的加工方法的特征在于，包括以1013～1015W/cm2的强度向氧化锆照射具有10－12秒至10－15秒的脉冲宽度的激光的工序。
氧化锆加工方法

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