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- [发明专利]磁控管溅射用磁场生成装置-CN201480004542.4有效
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栗山义彦
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日立金属株式会社
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2014-01-23
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2017-05-10
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C23C14/35
- 一种磁控管溅射用磁场生成装置,具有由直线部以及拐角部构成的跑道形状,在非磁性体的基底上具有(a)直线状的中央磁极部件;(b)外周磁极部件,其设置为将所述中央磁极部件包围;(c)多个垂直永久磁铁,配置在所述中央磁极部件与所述外周磁极部件之间,并在与靶面垂直的方向上被磁化;和(d)多个第一以及第二水平永久磁铁,配置在垂直永久磁铁的两侧,并在与靶面平行的方向上被磁化,所述第一以及第二水平永久磁铁的与所述垂直永久磁铁对置的一侧的极、和所述垂直永久磁铁的与靶材表面对置的一侧的极相同。
- 磁控管溅射磁场生成装置
- [发明专利]磁控管溅射用磁电路装置及其制造方法-CN200680002673.4无效
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汤浅宏昭;栗山义彦
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日立金属株式会社;新王磁材机工株式会社
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2006-02-01
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2008-01-16
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C23C14/35
- 一种磁控管溅射用磁回路装置,具备:内侧永久磁铁列(3),其由以上表面具有规定极性的磁极的方式连设的多个永久磁铁(30)构成;外侧永久磁铁列(4),其包围内侧永久磁铁列(3),并由以上表面具有与内侧永久磁铁列(3)的磁极反极性的磁极的方式连设的多个永久磁铁(40)构成;磁轭板(2),其装拆自如地保持内侧永久磁铁列(3)及外侧永久磁铁列(4)的永久磁铁(30、40);和至少逐个覆盖永久磁铁(30、40)的大致截面コ字状的非磁性保护罩构件(31、41),各保护罩构件(31、41)由覆盖永久磁铁(30、40)的一侧面并且机械固定在磁轭板(2)上的第一侧板部(31a、41a)、覆盖永久磁铁(30、40)的另一侧面的第二侧板部(31b、41b)、一体地连结两侧板部(31a)及(31b)、(41a)及(41b)的上板部(31c、41c)构成,由各保护罩构件(31、41)的两侧板部(31a)及(31b)、(41a)及(41b)牢固地把持永久磁铁(30、40)。
- 磁控管溅射磁电装置及其制造方法
- [发明专利]磁场中热处理炉及用其进行热处理的方法-CN02121706.8无效
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栗山义彦;牛嶋诚;东康幸
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日立金属株式会社
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2002-04-17
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2003-01-08
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H01F13/00
- 一种磁场中热处理炉,其内外环状永久磁铁组合体的轴线方向的磁场中心与热处理容器内的热处理件集合体的轴线方向的中心基本一致。该热处理炉包括(a)磁场发生机构,该磁场发生机构包括外侧环状永久磁铁组合体,其由具有使磁通沿直径方向定向分布的磁化方向的多个永久磁铁扇形体组成环状;内侧环状永久磁铁组合体,其设置在所述外侧环状磁铁组合体内侧且由具有使磁通沿直径方向定向分布的磁化方向的多个永久磁铁扇形体组成环状;(b)热处理机构,该热处理机构位于内侧环状永久磁铁组合体的中空部内,并从外侧依次设有冷却机构、加热机构及热处理容器,该热处理容器包含保持多个热处理件的热处理用保持器。
- 磁场热处理进行方法
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