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[发明专利]单片式晶圆洗涤装置的配管的洗涤方法-CN202180067323.0在审
发明人： 柳井凉一 -专利权人：胜高股份有限公司
申请日： 2021-10-04 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：本发明提出一种方法，其在利用单片式晶圆洗涤装置重复进行晶圆(W)的洗涤时也能够抑制晶圆表面处检测到的颗粒的数量突发性地增加。本发明的特征在于，单片式的晶圆洗涤装置(100)具备台(11)、药液供给喷嘴(12)、纯水供给喷嘴(13)、药液供给线(14)、纯水供给线(15)、废液线(17)，前述台(11)能够旋转，前述药液供给喷嘴(12)向在台(11)上载置的晶圆(W)供给药液，前述纯水供给喷嘴(13)向在台(11)上载置的晶圆(W)供给纯水，前述药液供给线(14)向药液供给喷嘴(12)供给药液，前述纯水供给线(15)向纯水供给喷嘴(13)供给纯水，前述废液线(17)将被供给的药液及纯水回收来排出，本发明包括向前述单片式的晶圆洗涤装置(100)的纯水供给线(15)导入含有微纳米气泡的纯水来洗涤纯水供给线(15)的配管的配管洗涤工序。
单片式晶圆洗涤装置方法

[发明专利]多色调光掩模、多色调光掩模的制造方法和图案转印方法-CN201010238214.4无效
发明人： 柳井凉一;三好将之 -专利权人： HOYA株式会社
申请日： 2010-07-23 - 公布日： 2011-02-02 - 主分类号： G03F1/14 文献下载
摘要：本发明涉及多色调光掩模、多色调光掩模的制造方法和图案转印方法，所述多色调光掩模在透明基板上形成有规定的转印图案，所述规定的转印图案含有遮光部、透光部和半透光部。遮光部在透明基板上层积有半透光膜和遮光膜而成。透光部露出透明基板。半透光部是形成于透明基板上的半透光膜露出而成的。半透光膜具有第1半透光层和层积于第1半透光层上的第2半透光层。以构成半透光部的第2半透光层的膜厚小于构成遮光部的第2半透光层的膜厚的方式进行了减膜。
多色调光制造方法图案