专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]量测方法-CN202180086062.7在审
  • A·E·A·科伦;S·G·J·马西森;林慧全;A·E·安德森 - ASML荷兰有限公司
  • 2021-12-09 - 2023-08-25 - G03F7/20
  • 公开了一种测量衬底上的目标的方法,包括:用测量辐射照射目标,测量辐射至少包括第一波长;收集在收集数值孔径内的所产生的散射辐射;和根据散射辐射确定感兴趣参数。目标包括中介体周期性结构和至少第一目标周期性结构,分别在衬底上的相应的不同层中,其中至少中介体周期性结构的节距小于由收集数值孔径和测量辐射的波长限定的单衍射极限,使得散射辐射包括双衍射辐射,双衍射辐射包括经历了符号相反的两次顺序的同阶衍射的辐射。
  • 方法

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