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[发明专利]层叠体的制造方法、电路配线的制造方法及转印膜-CN202180085898.5在审
发明人：石坂壮二;松田知树 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2021-12-17 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： G03F7/11 文献下载
摘要：本发明提供一种包含图案形状优异且图案密合性也优异的图案的层叠体的制造方法、电路配线的制造方法及转印膜。本发明的层叠体的制造方法具有：贴合工序，使依次具有临时支撑体、中间层及感光性组合物层的转印膜的感光性组合物层的与中间层侧相反的一侧的表面与基板接触，贴合转印膜和基板；剥离工序，在临时支撑体与中间层之间，剥离临时支撑体；曝光工序，对感光性组合物层进行图案曝光；及显影工序，使用显影液对曝光后的感光性组合物层进行显影而形成图案，在测定X中求出的弹性模量X为1.0～10.0GPa。
层叠制造方法电路转印膜

[发明专利]层叠体的制造方法、电路配线的制造方法、转印膜-CN202180085907.0在审
发明人： 松田知树;石坂壮二;有冈大辅 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2021-12-08 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G03F7/38 文献下载
摘要：本发明的课题在于提供一种包含图案形状优异的图案的层叠体的制造方法、电路配线的制造方法及转印膜。本发明的层叠体的制造方法具有：贴合工序，通过使依次具有临时支承体、中间层及感光性组合物层的转印膜的感光性组合物层的与中间层侧相反的一侧的表面与基板接触，贴合转印膜及基板；剥离工序，在临时支承体与中间层之间剥离临时支承体；曝光工序，将感光性组合物层进行图案曝光；及显影工序，将被曝光的感光性组合物层使用碱性显影液进行显影而形成图案，通过测定X求出的接触角X与通过测定Y求出的接触角Y之差为20度以下。
层叠制造方法电路转印膜

[发明专利]感光性转印材料、树脂图案的制造方法、电路配线的制造方法及触摸面板的制造方法-CN202180052348.3在审
发明人： 松田知树;藤本进二 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2021-08-12 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： G03F7/029 文献下载
摘要：本发明提供一种感光性转印材料、以及使用上述感光性转印材料的树脂图案的制造方法、电路配线的制造方法及触摸面板的制造方法，所述感光性转印材料具有：临时支承体；及包含碱溶性高分子、烯属不饱和化合物及光聚合引发剂的光固化性且光发色性的感光性树脂层，上述感光性树脂层的层厚为5μm以下，通过高压汞灯，以100mJ/cm2的曝光量对感光性转印材料进行曝光的情况下，感光性转印材料的450nm～800nm的范围内的最大吸收波长处的每单位厚度的反射浓度的曝光前后的变化为0.04μm‑1以上。
感光性材料树脂图案制造方法电路触摸面板

[发明专利]转印膜、层叠体的制造方法-CN202180037878.0在审
发明人：霜山达也;松田知树 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2021-05-31 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明提供一种由折射率调整层及感光性组合物层形成的图案中不易产生底切的转印膜及层叠体的制造方法。本发明的转印膜依次具有临时支承体、感光性组合物层及折射率调整层，其中，折射率调整层包含选自金属氧化物、具有三嗪环的化合物及具有芴骨架的化合物中的至少一种材料、以及含有具有(甲基)丙烯酰基的结构单元的聚合物。
转印膜层叠制造方法

[发明专利]转印膜及具有导体图案的层叠体的制造方法-CN202210805407.6在审
发明人：儿玉邦彦;松田知树 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2022-07-08 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明提供一种分辨性优异、能够形成无卷边的抗蚀图案且容易进行抗蚀图案的剥离的转印膜。一种转印膜，其具有：临时支承体；及感光性组合物层，其包含碱溶性聚合物、聚合性化合物及聚合引发剂，碱溶性聚合物包含具有羧基的结构单元A和具有显示出高于羧基的pKa且低于14的pKa的酸基的结构单元B，碱溶性聚合物的源自羧基的酸值为80mgKOH/g以上。
转印膜具有导体图案层叠制造方法

[发明专利]感光性转印材料及其制造方法、带图案的金属导电性材料的制造方法、膜、触控面板、劣化抑制方法、以及层叠体-CN202080087620.7在审
发明人：植木启吾;福重裕一;丰冈健太郎;松田知树;山田悟 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2020-12-15 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明提供一种具有临时支承体及包含粘合剂聚合物以及具有选自金属还原性基团及金属配位性基团中的至少1种基团的化合物A的感光性层的感光性转印材料及其制造方法、以及使用了上述感光性转印材料的带图案的金属导电性材料的制造方法、具有金属及包含上述化合物A的树脂层的膜及具有上述膜的触控面板、以及在具有金属和树脂层的膜中上述树脂层包含上述化合物A的劣化抑制方法。
感光性材料及其制造方法图案金属导电性面板抑制以及层叠

[发明专利]感光性转印部件、电路配线的制造方法及触摸面板的制造方法-CN202080058305.1在审
发明人：两角一真;有富隆志;藤本进二;松田知树 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2020-07-09 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明的课题在于提供一种能够制造分辨率更优异的树脂图案的感光性转印部件。并且，本发明的课题在于提供一种电路配线的制造方法及触摸面板的制造方法。本发明的感光性转印部件具备临时支承体及感光性树脂层，感光性树脂层的层厚为8μm以下，感光性树脂层含有具有源自苯乙烯的结构单元的聚合物A和具有芳香环及两个烯属不饱和基团的聚合性化合物B1，相对于聚合物A的总质量的源自苯乙烯的结构单元的含量超过40质量％，感光性树脂层中，聚合性化合物B1的含量相对于具有聚合性基团的聚合性化合物B的含量的质量比为55质量％以上。
感光性部件电路制造方法触摸面板

[发明专利]感光性转印部件、树脂图案的制造方法、电路配线的制造方法、触摸面板的制造方法-CN202080055251.3在审
发明人： 松田知树;石坂壮二;片山晃男;山田悟 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2020-06-30 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： G03F7/039 文献下载
摘要：本发明的课题在于提供一种因曝光后延迟所导致的图案线宽的变动较少且所形成的图案的分辨率也优异的感光性转印部件。并且，本发明的另一课题在于提供一种使用上述感光性转印部件而成的树脂图案的制造方法、电路配线的制造方法及触摸面板的制造方法。本发明的感光性转印部件具有临时支承体及感光性树脂层，所述感光性转印部件中，上述感光性树脂层含有聚合物X及聚合物Y中的任一种以上及光产酸剂，上述聚合物X含有具有被酸分解性基团保护的酸基的结构单元A及具有3元环或4元环的醚骨架的结构单元B，上述聚合物Y含有具有被酸分解性基团保护的酸基的结构单元A、具有3元环或4元环的醚骨架的结构单元B及具有碱性基团的结构单元C，上述感光性树脂层中的具有上述3元环或4元环的醚骨架的结构单元B的含量相对于上述感光性树脂层的总质量为8.0～700.0μmol/g。其中，在上述感光性树脂层含有上述聚合物X的情况下，上述感光性树脂层还含有碱性化合物。
感光性部件树脂图案制造方法电路触摸面板

[发明专利]感光性转印材料、树脂图案的制造方法、电路布线的制造方法及触摸面板的制造方法-CN202080027370.8在审
发明人：藤本进二;松田知树;两角一真;有富隆志;汉那慎一;山田悟;海鉾洋行 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2020-03-24 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明提供一种感光性转印材料、以及使用了上述转印材料的树脂图案的制造方法、电路布线的制造方法及触摸面板的制造方法，所述感光性转印材料依次具有临时支承体、热塑性树脂层、中间层及负型感光性层，上述热塑性树脂层含有：碱溶性树脂A；色素B，显色时的波长范围400nm～780nm中的最大吸收波长为450nm以上，通过酸、碱或自由基而最大吸收波长发生变化；及化合物C，通过光产生酸、碱或自由基。
感光性材料树脂图案制造方法电路布线触摸面板

[发明专利]感光性转印材料及电路布线的制造方法-CN201611242741.6有效
发明人： 松田知树;片山晃男;藤本进二 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2016-12-28 - 公布日： 2021-10-15 - 主分类号： G03F7/039 文献下载
摘要：提供一种感光性转印材料和电路布线的制造方法，所述感光性转印材料在低温且高速下对基板进行贴合也具有良好的密合性，可以以高分辨率形成电路布线。感光性转印材料(100)、和使用其的电路布线的制造方法，所述感光性转印材料(100)包含临时支撑体(12)和配置在临时支撑体上的正型感光性树脂层(14)，所述正型感光性树脂层(14)包含含有下述通式A所示的结构单元和具有酸基的结构单元且玻璃化转变温度为90℃以下的聚合物以及光产酸剂。通式A中，R31及R32各自独立地表示氢原子、烷基或芳基，至少R31和R32中的任一者为烷基或芳基，R33表示烷基或芳基，R31或R32与R33可以连结而形成环状醚。R34表示氢原子或甲基，X0表示单键或亚芳基。
感光性材料电路布线制造方法

[发明专利]感光性转印材料、层叠体、触控面板、带有图案的基板的制造方法、电路基板的制造方法及触控面板的制造方法-CN201980083606.7在审
发明人：儿玉邦彦;山田悟;松田知树;铃木正弥;丰冈健太郎 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2019-10-30 - 公布日： 2021-07-30 - 主分类号： H05K3/10 文献下载
摘要：本发明提供一种感光性转印材料、层叠体、触控面板、带有图案的基板的制造方法、电路基板的制造方法及触控面板的制造方法，所述感光性转印材料依次具有临时支承体、感光性树脂层、含银纳米线的银纳米线层及热固性树脂层。
感光性材料层叠面板带有图案制造方法路基

[发明专利]感光性转印材料、树脂图案的制造方法、电路布线的制造方法及触摸面板的制造方法-CN201980034172.1在审
发明人： 松田知树;两角一真;山田悟 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2019-05-10 - 公布日： 2021-01-08 - 主分类号： G03F7/039 文献下载
摘要：一种感光性转印材料以及使用了上述感光性转印材料的树脂图案的制造方法、电路布线的制造方法及触摸面板的制造方法，上述感光性转印材料具有临时支承体及感光性树脂层，上述感光性树脂层包含满足下述a1及a2中的至少一个的聚合物成分以及光产酸剂，上述聚合物成分的玻璃化转变温度为90℃以下。a1：包含聚合物的聚合物成分，该聚合物具有包含被酸分解性基团保护的酸基的结构单元及包含pKaH为3以上的基团的结构单元；a2：聚合物成分，其包含：具有包含被酸分解性基团保护的酸基的结构单元的聚合物以及具有包含pKaH为3以上的基团的结构单元的聚合物。
感光性材料树脂图案制造方法电路布线触摸面板

[发明专利]感光性转印材料、树脂图案的制造方法、电路布线的制造方法及触摸面板的制造方法-CN201980035400.7在审
发明人：藤本进二;汉那慎一;石坂壮二;两角一真;筱田克己;松田知树 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2019-05-10 - 公布日： 2021-01-08 - 主分类号： G03F7/039 文献下载
摘要：本发明提供一种感光性转印材料以及使用了上述感光性转印材料的树脂图案的制造方法、电路布线的制造方法及触摸面板的制造方法，该感光性转印材料具有临时支承体、中间层及感光性树脂层，上述感光性树脂层包含聚合物及光产酸剂，该聚合物包含具有被酸分解性基团保护的酸基的结构单元，上述感光性树脂层中所包含的上述聚合物是酸值为10mgKOH/g以下的丙烯酸树脂，上述中间层包含水溶性或碱溶性丙烯酸树脂，上述中间层与上述感光性树脂层接触。
感光性材料树脂图案制造方法电路布线触摸面板

[发明专利]感光性转印材料、树脂图案的制造方法、电路布线的制造方法及触摸面板的制造方法-CN201980034383.5在审
发明人： 松田知树;两角一真 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2019-05-10 - 公布日： 2021-01-01 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明提供一种感光性转印材料以及使用上述感光性转印材料而成的树脂图案的制造方法、电路布线的制造方法及触摸面板的制造方法，该感光性转印材料具有临时支承体及感光性树脂层，上述感光性树脂层包含聚合物A、光产酸剂及聚合物F，该聚合物A包含具有被酸分解性基团保护的酸基的结构单元，该聚合物F包含具有氟原子的结构单元，上述聚合物F中的氟原子的含量相对于上述聚合物F的总质量为20质量％以上且50质量％以下，上述聚合物F满足f1或f2中的任一个。f1：上述聚合物F的I/O值为0.45以上。f2：上述聚合物F的I/O值小于0.45且上述聚合物F包含具有酸基或碱性基团的结构单元。
感光性材料树脂图案制造方法电路布线触摸面板

[发明专利]感光性转印材料、电路布线的制造方法及触摸面板的制造方法-CN201980033557.6在审
发明人：两角一真;筱田克己;汉那慎一;松田知树;石坂壮二 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2019-05-16 - 公布日： 2020-12-25 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明提供一种感光性转印材料及其应用，该感光性转印材料具有：临时支承体；及感光性树脂层，其含有聚合物、光产酸剂及苯并三唑化合物，所述聚合物包含具有酸基被酸分解性基团保护的基团的结构单元，且玻璃化转变温度为90℃以下。
感光性材料电路布线制造方法触摸面板

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