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- [发明专利]一种键合分离治具及其分离方法-CN202211476180.1有效
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赵培瑜
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杭州邦齐州科技有限公司
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2022-11-23
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2023-07-14
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H01L21/67
- 本发明公开了一种键合分离治具及其分离方法，属于键合治具技术领域，用于将活化处理后相互贴合的第一键合基体和第二键合基体进行分离，键合分离治具包括上下叠放的上治具和下治具，上治具的顶面和底面分别设有承托槽和泄水口，承托槽包括承托段和容纳段，下治具的顶面设有承接槽，下治具上设有将承接槽内水排出的排水结构。分离方法包括S1、准备玻璃器皿，依次放置下治具和上治具；S2、将大圆部安放到承托段内，小圆部悬空在容纳段内；S3、用水冲洗小圆部和第二键合基体贴合处，待第二键合基体滑落入承接槽内，依次将上治具和下治具取出进行清洗。分离过程不需镊子参与，且分离后无需转移治具即可进行清洗，能够有效避免脏污、划伤问题。
- 一种分离及其方法
- [实用新型]一种检测装置-CN202320146379.1有效
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赵培瑜;柳采杏;黄文晶
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杭州邦齐州科技有限公司
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2023-02-08
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2023-07-14
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G01N21/958
- 本实用新型公开一种检测装置，涉及表面缺陷检测领域，包括盛放有保湿剂的培养皿，培养皿内设有顺次放入的玻璃片和AVG，AVG叠放于玻璃片的上表面，玻璃片与AVG的接触面浸没于保湿剂中；培养皿的下方设有朝向玻璃片照射的光源机构，培养皿为透光材质；本实用新型中光源机构发出的光线自玻璃片底部进入人眼，防止在玻璃片上方照射时产生反光，使得玻璃片前期加工造成的缺陷可被清晰的观察到，令存在表面缺陷的玻璃片可被及时替换，从而有效降低了产品废品率；且玻璃片与AVG的接触面浸没在保湿剂中，这使得玻璃片与AVG在进行缺陷检测时可维持表面处理状态，缺陷检测完成后可继续进行后续的预键合以及高温退火，降低了缺陷检测对产品生产效率的影响。
- 一种检测装置
- [实用新型]一种调节CMP机的抛光头到抛光垫距离的治具-CN202320171307.2有效
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王雍期;王春雷;张一超
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杭州邦齐州科技有限公司
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2023-02-10
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2023-06-13
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B24B37/30
- 本实用新型公开了一种调节CMP机的抛光头到抛光垫距离的治具，具体涉及半导体制造技术领域，包括第一拼接块和第二拼接块，第一拼接块和第二拼接块用于靠近螺母的端面的周向固定设置有凸出于两者的多个高度相同的凸台，第一拼接块两端的第一拼接部与第二拼接块两端的第二拼接部能够卡接使两者拼接成一个套设在螺丝杆外侧的限高环，第二拼接部与第一拼接部的不同位置卡接时限高环处于第一形态或第二形态，第一形态时，各凸台的顶面用于与螺母靠近螺丝头的端面相抵接，第二形态时，第一拼接块与第二拼接块的顶面用于与螺母靠近螺丝头的端面相抵接。本实用新型能够精准调节间距，调节方式简单，且调节速度更快，治具便于拆卸和组装，提高工作效率。
- 一种调节cmp抛光距离
- [实用新型]一种贴膜治具-CN202320082985.1有效
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王雍期;赵培瑜;俞浩军
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杭州邦齐州科技有限公司
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2023-01-28
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2023-05-12
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B65B33/02
- 本实用新型公开一种贴膜治具，包括能配合使用的定位台和顶升部；定位台上依次开设有同轴连通的产品定位槽和贴膜卡槽，产品定位槽与贴膜卡槽呈阶梯分布，产品定位槽内放置有待贴膜的产品，贴膜纸置于贴膜卡槽内，产品的待贴膜面与贴膜纸的粘性面之间具有初始间隔；贴膜卡槽底部设有顶升通道，顶升部可顶升贴膜纸，顶升部置于顶升通道内，顶升部的顶升面与贴膜纸的放置面相重叠，且贴膜纸的顶升高度大于初始间隔；通过在定位台上设置同轴连通的产品定位槽和贴膜卡槽，对待贴膜产品和贴膜纸进行定位，初始间隔可以避免贴膜纸自动吸附到产品上，影响贴膜效果，顶升通道和顶升部能将贴膜纸部分贴到待贴膜面，减少气泡的产生，使贴膜更平整。
- 一种贴膜治具
- [实用新型]一种预键合治具-CN202223132526.4有效
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赵培瑜
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杭州邦齐州科技有限公司
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2022-11-25
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2023-04-25
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H01L21/687
- 本实用新型公开了一种预键合治具，属于键合治具技术领域，用于第一键合基体和圆形薄片状的第二键合基体的预键合，第一键合基体由小圆部和直径大于小圆部的大圆部同轴构成，小圆部的直径与第二键合基体的直径相同，包括承托座，承托座上设有用于承托大圆部的第一圆槽、供小圆部将第二键合基体压紧的第二圆槽以及位于承托座底部并与第二圆槽同轴连通的排水圆孔，第二圆槽的内径与第二键合基体的直径相同，第一圆槽上设有方便夹持着第二键合基体的镊子的尖部沿轴向伸入第二圆槽的排水竖槽，排水竖槽与排水圆孔连通。本预键合治具可有效减少预键合过程中的颗粒物，提升产品键合界面的洁净度，适应性换用较小的器皿盛放纯水，达到预期的节水效果。
- 一种预键合治具
- [实用新型]一种烘干托盘-CN202320133395.7有效
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张一超;赵培瑜;马立波;何湘玲
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杭州邦齐州科技有限公司
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2023-02-07
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2023-04-14
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F26B9/10
- 本实用新型公开一种烘干托盘，包括托盘本体，托盘本体表面设有若干烘干槽，所述烘干槽包括由内至外依次布置的中部避让区和产品定位区，所述产品定位区位于所述中部避让区的两侧，所述产品定位区的单侧宽度小于所述中部避让区的宽度；所述中部避让区呈下沉凹槽状结构，待烘干产品放置在所述产品定位区内，所述待烘干产品的宽度与所述产品定位区的整体宽度相适配，上述设置可以使放在产品定位区内的待烘干产品与烘干槽的中部避让区之间没有接触，减小待烘干产品与烘干槽的接触面积，减少划伤；将待烘干产品的宽度与产品定位区的整体宽度相适配，待烘干产品放置在产品定位区时，不容易在产品定位区内滑动，进一步减小待烘干产品烘干时划伤的可能性。
- 一种烘干托盘
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