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[实用新型]卧式热丝化学气相沉积设备-CN202320234678.0有效
发明人：余仲;张海涛;杨福满;赵步举;程培勇;刘顺;谭晓华 -专利权人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2023-02-02 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种卧式热丝化学气相沉积设备，包括：安装件；布气组件，布气组件位于安装件的其中一侧，布气组件包括固定架、以及设置于固定架上的多个布气管，多个布气管并列且间隔设置，每相邻两个布气管之间均形成有第一避让间隙；以及热丝组件，热丝组件与安装件连接、并穿设于第一避让间隙。本实用新型的卧式热丝化学气相沉积设备中，通过利用多个布气管来实现布气，相邻两个布气管之间形成的第一避让间隙可以供热丝组件安装。对于整个布气组件而言，无需额外开设用于避让热丝组件的孔位，降低了对布气组件的强度的影响，并且，这种布气组件的加工要求低，加工方便，成本较低。
卧式化学沉积设备

[实用新型]卧式热丝化学气相沉积镀膜设备-CN202320225943.9有效
发明人：余仲;谭晓华;刘顺;张海涛;赵步举;杨福满;程培勇 -专利权人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2023-02-02 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种卧式热丝化学气相沉积镀膜设备，包括：腔体，腔体设有工艺腔；热丝模块，热丝模块设置于工艺腔的内部，热丝模块包括多个热丝组件，多个热丝组件在水平方向上呈阵列式排布，每个热丝组件均包括热丝，每根热丝均包括第一竖向段、与第一竖向段沿水平方向间隔设置的第二竖向段、以及连接在第一竖向段与第二竖向段之间的横向段，横向段的两端分别与第一竖向段的底端和第二竖向段的底端连接，第一竖向段的顶端以及第二竖向段的顶端均与工艺腔的顶壁连接；及运输机构，运输机构设置于工艺腔的内部，并位于热丝模块的下方，运输机构用于承载横向载板。每根热丝在通电发热后难以发生变形，并且，发生断裂的风险低，可靠性高。
卧式化学沉积镀膜设备

[实用新型]热丝馈入装置以及卧式HWCVD设备-CN202320232037.1有效
发明人：余仲;程培勇;张海涛;杨福满;赵步举;刘顺;谭晓华 -专利权人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2023-02-02 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本实用新型公开了热丝馈入装置以及卧式HWCVD设备。其中，该热丝馈入装置包括：两个紧固件，分别被安装到卧式HWCVD设备的镀膜腔的竖直方向的上部，所述紧固件具有热丝安装部和电源馈入部，所述热丝安装部设置为：在所述紧固件被安装到所述镀膜腔的竖直方向的上部的情况下，所述热丝安装部位于所述紧固件的竖直方向的下端；热丝，具有两个连接端部和中间部，两个所述连接端部分别相对于所述中间部被弯折；两个所述连接端部分别被紧固到所述热丝安装部，并经由所述电源馈入部与电源电连接；所述中间部在所述镀膜腔的竖直方向的上部沿水平方向延伸。根据本实用新型的热丝馈入装置，能够缩短热丝的长度，并抑制热丝断裂。
热丝馈入装置以及卧式 hwcvd 设备

[实用新型]卧式热丝化学气相沉积设备-CN202320439426.1有效
发明人：王晨光;杨福满;张海涛;刘顺;赵步举;程培勇;谭晓华 -专利权人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种卧式热丝化学气相沉积设备，包括镀膜室、导电组件、输送组件及供气组件，导电组件包括导电端子与第一隔热件，导电组件设置有多个并沿水平方向呈阵列式排布，导电组件通过热丝与导电体连接形成串联回路，输送组件用于承载并沿水平方向输送待镀基片，供气组件用于向镀膜腔充入工艺气体。本实用新型中沿水平方向输送待镀基片，有利于减少掉片，导电组件沿水平面阵列排布，并且导电组件、热丝、导电体形成串联回路，适用于卧式镀膜，能够提高镀膜效率并降低生产成本，并且，热丝受其两侧的导电端子的拉伸作用，变形量小，并避免热丝下垂，使热丝与待镀基片之间的间隔保持恒定，从而提高镀膜质量。
卧式化学沉积设备

[实用新型]热丝用调节治具-CN202320234676.1有效
发明人：张勇;杨福满;张海涛;刘顺;赵步举;程培勇;谭晓华 -专利权人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2023-02-02 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本实用新型公开了热丝用调节治具，用于对热丝的安装位置进行调节。其中，热丝具有两个端部和一个中间部，两个所述端部相互对置，两个所述端部与所述中间部的夹角为90°，并且，所述中间部沿水平方向延伸，两个所述端部分别被紧固装置固定。所述热丝用调节治具包括：调节板，可保持所述热丝，所述调节板上设置有至少一个第一抵接面和至少一个第二抵接面，所述第一抵接面和所述第二抵接面平行且沿垂直于所述第一抵接面的方向具有预设的距离，所述热丝的两个所述端部在所述中间部抵接所述第一抵接面且所述紧固装置抵接所述第二抵接面的状态下，被紧固到所述紧固装置。本实用新型的热丝用调节治具能够在安装热丝时，提高热丝的安装精度。
热丝用调节

[发明专利]热丝系统以及卧式HWCVD设备-CN202310102678.X在审
发明人：余仲;程培勇;张海涛;杨福满;赵步举;刘顺;谭晓华 -专利权人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2023-02-02 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本发明公开了热丝系统以及卧式HWCVD设备。该热丝系统被使用在卧式HWCVD设备中，其中，所述卧式HWCVD设备具有镀膜腔，所述镀膜腔内容置有用于载置衬底的载板，所述载板水平地被支撑并沿第一方向运行，所述热丝系统配置在所述镀膜腔的竖直方向的上部并沿所述第一方向以及与所述第一方向正交的第二方向延伸，所述热丝系统包括多个热丝馈入单元，多个所述热丝馈入单元分别沿所述第一方向以及所述第二方向配置。本发明的热丝系统能够保持镀膜工艺的稳定性并且提高系统使用的稳定性。
系统以及卧式 hwcvd 设备

[发明专利]镀膜生产线-CN202310125234.8在审
发明人：余仲;谭晓华;刘顺;张海涛;赵步举;杨福满;程培勇 -专利权人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2023-02-02 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本发明公开了一种镀膜生产线，能够实现PECVD镀膜设备与HWCVD镀膜设备的连线，提高产能，降低成本。镀膜生产线，包括：卧式HWCVD设备，包括第一腔体、热丝模块以及第一水平运输机构，第一腔体设有第一镀膜腔，且第一腔体的前侧部设有第一进口，热丝模块设置于第一镀膜腔的内部，热丝模块包括多个热丝组件，多个热丝组件在水平方向上呈阵列式排布，每个热丝组件均包括热丝，每根热丝均包括第一竖向段、第二竖向段以及横向段，第一水平运输机构设置于第一镀膜腔的内部；卧式PECVD设备，包括设有第二镀膜腔的第二腔体、以及设置于第二镀膜腔内的第二水平运输机构，第二腔体的后侧部设有第二出口，第二出口与第一进口相互连通。
镀膜生产线

[实用新型]一种热丝定型工装-CN202223605627.9有效
发明人：张勇;程培勇;杨福满;赵步举;张海涛;刘顺;谭晓华 -专利权人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： B21F1/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种热丝定型工装，涉及镀膜设备技术领域。热丝定型工装，安装面板；热丝折角器，所述热丝折角器安装在所述安装面板上，以供热丝绕设而过；热丝拉紧总成，所述热丝拉紧总成的数量为两个，所述热丝拉紧总成安装在所述安装面板上，两个所述热丝拉紧总成能够分别连接在绕设后所述热丝的一端，并能够将所述热丝沿预设拉紧方向拉紧，且使拉紧后的所述热丝整体处于同一平面。本实用新型的热丝定型工装能够实现热丝按照预期要求进行定型。
一种定型工装

[发明专利]一种HWCVD用热丝的定型方法-CN202211706129.5在审
发明人：张勇;程培勇;杨福满;赵步举;张海涛;刘顺;谭晓华 -专利权人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： B29C53/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种HWCVD用热丝的定型方法，涉及镀膜设备技术领域。HWCVD用热丝的定型方法，包括：步骤S100：确定热丝所要定型的样式：步骤S200：根据所述热丝所要定型的样式后，在安装面板上安装热丝折角器，使得所述热丝绕过各个所述热丝折角器后，能够获得预设样式的热丝；步骤S300：将所述热丝绕过各个所述热丝折角器，所述热丝的两端分别通过热丝拉紧总成将热丝的两端固定，并将所述热丝拉紧，且保持预设时长，使得所述热丝定型，获得所要定型的热丝样式。采用本方法对HWCVD用热丝的进行定型，能够达到对热丝进行张紧、整形、定型的效果，将热丝从热丝拉紧总成上取下来以后，热丝依然能保持定型折线。
一种 hwcvd 用热丝定型方法

[发明专利]一种卧式热丝化学气相沉积设备用的电极组件及镀膜设备-CN202211655168.7在审
发明人：余仲;杨福满;张海涛;刘顺;赵步举;程培勇;谭晓华 -专利权人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2022-12-22 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：本发明公开一种卧式热丝化学气相沉积设备用的电极组件及镀膜设备，涉及镀膜设备技术领域。卧式热丝化学气相沉积设备用的电极组件，包括：腔体盖板，用于盖装在腔体上，所述腔体盖板设有端子安装通孔；端子，所述端子设有热丝连接端，所述热丝连接端穿过所述端子安装通孔，并能够进入腔体内；安装件，所述安装件安装在所述腔体盖板上；绝缘连接件，端子通过所述绝缘连接件和所述安装件连接；热丝固定块，所述热丝固定块与热丝连接，所述热丝固定块设有快换结构，用于和所述热丝连接端快速拆装。可以实现热丝固定块与热丝连接端的快速拆装，达到节省大量更换热丝时所耗费的时间。
一种卧式化学沉积备用电极组件镀膜设备

[实用新型]一种用于量具类的性能老化试验设备-CN202022289858.8有效
发明人：冯云;李炜;韦卫军;温铁菊;谭承恒;杨福满 -专利权人：桂林量具刃具有限责任公司
申请日： 2020-10-15 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： G01N3/38 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于量具类的性能老化试验设备，所述测试平台设置在所述水箱的上方，所述丝杆电机与所述测试平台固定连接，所述丝杆电机上的丝杆与所述安装板螺纹配合，所述安装板与所述运动推杆固定连接，所述直线导轨与所述测试平台固定连接，所述运动推杆与所述直线导轨滑动连接，所述测试样品安装在所述测试平台上，且所述测试样品的一端设置在所述运动推杆上，所述电机水泵设置在所述水箱的一侧，且所述电机水泵的进水端与所述水箱连通，所述电机水泵的出水端与水管连通，所述喷水喷头与水管活动连接，通过上述结构设置，使得所述用于量具类的性能老化试验设备能够在做往复拉伸试验时，同时做防水试验的量具类性能老化试验设备。
一种用于量具性能老化试验设备

[实用新型]一种饺子皮制作装置-CN202020436368.3有效
发明人：杨孟杰;王涛;候毅恒;陈裕杰;廖海锐;杨福满;蒙伟;徐繁平 -专利权人：桂林电子科技大学
申请日： 2020-03-30 - 公布日： 2021-02-02 - 主分类号： A21C3/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种饺子皮制作装置，包括机架和面皮输入辊组，所述机架纵向依次设有进面可调辊组、精压辊组、成品辊组、成品输送机构；所述可调辊组的进面辊与面皮输入辊组出料端的距离可调；所述精压辊组包括设置于面皮输入辊组出料端下部的精压辊I、精压辊II；所述成品辊组包括承接于精压辊组下部的成品辊I、成品辊II，成品辊I从中部向两侧开设斜刃角φ，成品辊I与成品辊II构成斜刃冲裁结构。本实用新型提出的一种饺子皮制作装置，可有效克服现有饺子皮机在制作面皮过程中面团易卡塞、工作不流畅的问题。
一种饺子皮制作装置

[发明专利]一种用于量具类的性能老化试验设备-CN202011100345.6在审
发明人：冯云;李炜;韦卫军;温铁菊;谭承恒;杨福满 -专利权人：桂林量具刃具有限责任公司
申请日： 2020-10-15 - 公布日： 2020-12-22 - 主分类号： G01N3/38 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于量具类的性能老化试验设备，所述测试平台设置在所述水箱的上方，所述丝杆电机与所述测试平台固定连接，所述丝杆电机上的丝杆与所述安装板螺纹配合，所述安装板与所述运动推杆固定连接，所述直线导轨与所述测试平台固定连接，所述运动推杆与所述直线导轨滑动连接，所述测试样品安装在所述测试平台上，且所述测试样品的一端设置在所述运动推杆上，所述电机水泵设置在所述水箱的一侧，且所述电机水泵的进水端与所述水箱连通，所述电机水泵的出水端与水管连通，所述喷水喷头与水管活动连接，通过上述结构设置，使得所述用于量具类的性能老化试验设备能够在做往复拉伸试验时，同时做防水试验的量具类性能老化试验设备。
一种用于量具性能老化试验设备

[实用新型]一种具有丝料截断监测与自动补丝的3d打印机补丝装置-CN202020165385.8有效
发明人：韩海媚;侯毅恒;梁士谦;杨文超;贾楠;方子祥;黄创;廖海锐;杨福满 -专利权人：桂林电子科技大学
申请日： 2020-02-13 - 公布日： 2020-12-04 - 主分类号： B29C64/118 文献下载
摘要：本实用新型为一种具有丝料截断监测与自动补丝的3d打印机补丝装置，包括控制部分和机械部分；控制部分包括内部供电系统、主控微处理器、编码电机自动换盘系统、丝料自动检测系统和丝料高速高温粘接系统；2个编码电机通过电机固定架横向并排安装于外壳内，每个编码电机的输出轴均与一进料单元连接控制丝料的工作，2个进料单元的丝料管输入外壳后交汇为丝料总管；所述检测模块安装于外壳内用于检测丝料总管上是否断料；在丝料经过检测模块后的丝料总管上设有所述加热组件。本装置采用检测模块对丝料长度进行监控，能够及时检测到丝料用尽，从而及时粘结，避免了丝料盘在剩余的情况下的更换，符合现在提倡的低碳标准，更加经济实用。
一种具有截断监测自动打印机装置

[实用新型]快捷双层非机动车停车装置-CN202020246791.7有效
发明人：杨孟杰;方子祥;肖宏晓;侯毅恒;黄创;廖海锐;杨福满;陈远深 -专利权人：桂林电子科技大学
申请日： 2020-03-03 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： B62H3/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种快捷双层非机动车停车装置，包括底板、低层停车模块、高层停车模块和高层提升模块；低层停车模块利用光轴导杆和气撑滑块机构实现低层停车位的左右移动，为高层停车位的存取提供足够的空间；高层停车模块与高层提升模块利用皮带、阻尼器、电动推杆等带动高层车位上下移动，实现高层停取车功能。本实用新型不仅可以大幅度提高车位利用率，还能实现非机动车的安全、高效的一体化停取车。
快捷双层非机动车停车装置

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