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- [发明专利]硅氧化物的制备装置-CN202210124601.8在审
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林煌伟;杨瑜民;许松林
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中美矽晶制品股份有限公司
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2022-02-10
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2022-11-22
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B01D7/02
- 一种硅氧化物的制备装置，包括一加热炉、一加热装置、一坩埚、一析出盒、一排气管道,及一抽气装置，所述加热炉内部具有由一隔热材料围设形成的一加热炉腔；所述加热装置、所述坩埚及所述析出盒设置于所述加热炉腔中；所述析出盒具有一入气口及一出气口，所述析出盒包含至少一个隔板并设置于所述析出盒的内部空间中，所述至少一个隔板与所述析出盒内壁形成至少一个通道，所述至少一个通道分别连通所述入气口及所述出气口；所述排气管道具有一第一端及一第二端，所述第一端设置于邻近所述坩埚的上开口的位置，所述第二端与所述析出盒的所述入气口连通；所述抽气装置与所述析出盒的所述出气口连通。
- 氧化物制备装置
- [发明专利]硅氧化物的制备装置-CN202210125140.6在审
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杨瑜民;林煌伟;许松林
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中美矽晶制品股份有限公司
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2022-02-10
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2022-11-22
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B01D7/02
- 一种硅氧化物的制备装置，包括一加热炉、一加热装置、一坩埚、一沉积盒、至少一个排气管道及一抽气装置，所述坩埚及所述沉积盒设置于所述加热炉中，所述加热装置对所述坩埚加热使置于所述坩埚中的固态原料形成一气态硅氧化物，所述沉积盒具有至少一个入气口及一出气口，所述沉积盒内部设置至少一个吸附件；所述至少一个排气管道的第一端设置邻近于所述坩埚的上开口的位置，所述至少一个排气管道的第二端与所述沉积盒的至少一个入气口连通；所述抽气装置与所述沉积盒的出气口连通以将所述气态硅氧化物抽离所述坩埚并使所述气态硅氧化物与所述至少一个吸附件的表面接触以沉积一固态的硅氧化物。
- 氧化物制备装置
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