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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]极紫外光源装置-CN202310163902.6在审
发明人：邓海啸;杨涵翔 -专利权人：中国科学院上海高等研究院
申请日： 2023-02-24 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H05G2/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种极紫外光源装置，包括种子激光发生器、电子源、电子直线加速器、第一调制段、第一色散段、第二调制段、第二色散段和放大器，电子源产生的第一电子束被电子直线加速器加速后形成第二电子束；种子激光发生器用于产生种子激光，其和第二电子束均注入第一调制段中，以使第二电子束产生第一次能量调制，得到第三电子束；第一色散段对第三电子束压缩，形成第四电子束；第二调制段使第四电子束产生相干辐射，并被相干辐射第二次能量调制而形成第五电子束；第二色散段对第五电子束压缩，形成第六电子束；放大器使第六电子束产生辐射并发出千瓦量级的极紫外光。本发明的极紫外光源装置，可产生平均功率千瓦量级的极紫外光，且结构紧凑。
紫外光源装置

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