专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种显影装置-CN201720628764.4有效
  • 杨档 - 昆山国显光电有限公司
  • 2017-06-01 - 2018-02-13 - G03F7/30
  • 本实用新型公开了一种显影装置,包括显影液管路,连接在显影液池和显影液喷嘴之间,用于将显影液从所述显影液池输送至所述显影液喷嘴;温度控制单元,设置在所述显影液管路内,用于控制所述显影液的温度。由此,保证了显影液的温度不偏离预设温度,从而保证了显影均匀性。
  • 一种显影装置
  • [实用新型]一种膜厚量测设备-CN201720917264.2有效
  • 赵敏敏;杨档;朱刚;魏少琦 - 昆山国显光电有限公司
  • 2017-07-26 - 2018-01-23 - G01B11/06
  • 本实用新型提供了一种膜厚量测设备,解决了现有技术中的设备测量结果与实际膜厚存在偏差从而导致的测量准确率较低的问题。本实用新型提供的膜厚量测设备包括移动装置、与移动装置连接的测厚模块,以及驱动装置;测厚模块通过驱动装置和/或移动装置移动;测厚模块包括非接触式测厚模块与接触式测厚模块,并通过接触式测厚模块测量的数据对非接触式测厚模块测量的数据实现补偿。
  • 一种膜厚量测设备
  • [实用新型]清洁组件、清洁设备及清洁装置-CN201720508964.6有效
  • 杨档;朱刚;曹星龙;赵敏敏 - 昆山国显光电有限公司
  • 2017-05-09 - 2017-12-29 - B08B1/00
  • 本实用新型涉及一种清洁组件。所述清洁组件包括清洁套,所述清洁套包括侧壁和第一底部,所述侧壁和所述第一底部垂直并连接,所述侧壁和所述第一底部的材料为吸水的弹性材料,所述侧壁和所述第一底部围成收容腔,所述收容腔容纳所述支撑杆,且所述侧壁和所述第一底部与所述支撑杆挤压接触。本实用新型还涉及一种清洁设备和清洁装置。所述清洁设备包括支撑组件、升降组件及上述清洁组件。升降组件驱动清洁组件对支撑杆进行清洁工作,不需要工作人员手动对支撑杆清洁,且清洁方便,效果好。上述清洁装置,包括支撑架和上述的清洁设备,清洁效果好。
  • 清洁组件设备装置
  • [发明专利]光刻的显影辅助方法及其设备-CN201710283921.7在审
  • 朱刚;杨档;王仁松;张若天;彭明行 - 昆山国显光电有限公司
  • 2017-04-26 - 2017-08-25 - G03F7/26
  • 本发明涉及一种光刻的显影辅助方法及其设备,所述方法包括获取基板存在光刻线宽异常的区域及所述区域的线宽偏离目标线宽的数值;将非接触式加热装置移动至基板的所述区域,根据所述数值设置加热温度和加热时间对所述基板进行局部加热,以对基板上的光刻胶的显影进行热补偿;对所述光刻胶进行显影。本发明通过对基板存在光刻线宽异常的区域进行局部加热,起到对基板和光刻胶的热补偿作用,减少补偿处光刻胶中溶剂的含量,从而改变光刻胶曝光显影特性,最终实现改善线宽均一性的目的。
  • 光刻显影辅助方法及其设备

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