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[发明专利]一种用线光斑诱导制备大面积周期结构的方法-CN201710579434.5有效
发明人：王文君;杨慧著;姜歌东;梅雪松;潘爱飞;翟兆阳;赵勇 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2017-07-17 - 公布日： 2019-11-08 - 主分类号： B23K26/352 文献下载
摘要：一种用线光斑诱导制备大面积周期结构的方法，先在玻璃基底上溅射功能薄膜材料；然后将玻璃基底固定在三坐标工作台上，三坐标工作台和加工光路系统配合；先调节飞秒激光器的输出激光波长，重频，脉宽，通过小孔光阑调节通光孔，衰减片调节激光功率，快门控制加工过程的进行，再通过聚焦柱面透镜使光束聚焦成线光斑；利用调节好的飞秒激光辐照功能薄膜材料，设定三坐标工作台水平X向运动速度，到达设定位置后回到加工起始点，水平Y向移动，之后于X向平行方向运动，如此反复，加工路径为一条条平行的线段，从而制作出均匀的大面积周期结构；本发明激光通过聚焦柱面镜聚焦为线光斑，减小了对功能薄膜材料的烧蚀损伤，同时提高加工效率。
一种光斑诱导制备大面积周期结构方法

[发明专利]一种基于空气及水环境的时序激光打孔装置及方法-CN201610855704.6有效
发明人：王文君;翟兆阳;梅雪松;潘爱飞;王方成;杨慧著 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2016-09-28 - 公布日： 2018-03-09 - 主分类号： B23K26/12 文献下载
摘要：一种基于空气及水环境的时序激光打孔装置及方法，装置包括水容器装置，水容器装置固定在三轴工作台上，水容器装置通过水泵和水槽连接，水容器装置的一侧设有石英窗口，石英窗口处在纳秒激光器发出的激光穿过聚焦透镜后的激光光路上，水容器装置内部放置的待加工材料表面位于聚焦透镜的焦点处；方法是加工环境时序交替，通过水泵的正反转控制水容器装置中水量的多少，控制空气环境下的加工时间和水溶液环境下的加工时间，进而控制激光打孔所需的总时间，从而实现打孔过程中空气和水环境的改变，本发明结合了传统空气及水下激光打孔的优点，在保证加工效率的同时减少待加工材料表面和微孔内壁的熔渣堆积，改善了孔壁的粗糙度。
一种基于空气水环境时序激光打孔装置方法

[发明专利]一种基于Au诱导的ITO薄膜上制备周期结构的方法-CN201610312233.4有效
发明人：王文君;杨慧著;姜歌东;梅雪松;潘爱飞;赵万芹;翟兆阳;孙学峰 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2016-05-11 - 公布日： 2017-11-28 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：一种基于Au诱导的ITO薄膜上制备周期结构的方法，先在玻璃基底上溅射ITO导电薄膜，在ITO导电薄膜表面溅射Au膜，再将玻璃基底固定在三坐标工作台上，三坐标工作台和加工光路系统配合，调节皮秒激光器的输出激光参数，辐照Au膜和ITO薄膜，设定三坐标工作台垂直向运动速度，到达设定位置后，水平向移动，之后于垂直向反方向运动，如此反复，加工路径为一条条首尾相接的线段，从而制作出均匀的大面积周期波纹结构，本发明制作的结构提升了薄膜太阳能电池的发电效率。
一种基于 au 诱导 ito 薄膜制备周期结构方法