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[发明专利]基片处理方法和基片处理装置-CN202280019898.X在审
发明人：藤井宽之;冈田聪一郎;井户泰幸;村松诚;吉田圭佑;宫原奈乃华 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2022-02-21 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：本发明的基片处理方法包括：在形成于基片上的旋涂碳膜上形成碳化硅膜的步骤；和在上述碳化硅膜上形成EUV用的化学放大型的抗蚀剂膜的步骤。
处理方法装置

[发明专利]绝缘膜的成膜方法、基板处理装置和基板处理系统-CN201880057445.X有效
发明人： 村松诚;源岛久志 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-08-28 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H01L21/312 文献下载
摘要：[课题]提供一种技术，其在基板上形成包含氧化硅的绝缘膜作为涂布膜时，可以得到良好的膜质。[解决方案]将包含聚硅氮烷的涂布液涂布于晶圆W，在使涂布液的溶剂挥发后且进行固化工序前，在氮气气氛中对前述涂布膜照射紫外线。因此，使在聚硅氮烷中预先要水解的部位的硅生成悬挂键。因此，由于水解所需的能量下降，因此，即使使固化工序的温度为350℃时，不水解而残留的部位变少。其结果，由于有效地引起脱水缩合，因此，交联率改善而可以成膜为致密的(优质膜质的)绝缘膜。而且，通过对前述涂布膜照射紫外线后在涂布膜的表面形成保护膜，从而可以抑制固化工序前的悬挂键的反应，涂布膜的膜质变良好。
绝缘方法处理装置系统

[发明专利]绝缘膜的成膜方法、绝缘膜的成膜装置及基板处理系统-CN201880025732.2有效
发明人： 村松诚;斋藤祐介;源岛久志;藤井宽之 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-03-13 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01L21/316 文献下载
摘要：本发明的课题是提供一种技术：在基板上形成包含氧化硅的绝缘膜作为涂布膜时，可获得良好的膜质。本发明的成膜方法的特征在于，将包含聚硅氮烷的涂布液涂布在晶圆W上，并使涂布液的溶剂挥发后，在进行固化工序之前，在氮气气氛下对前述涂布膜照射紫外线。因此，在聚硅氮烷的被水解的部位容易生成悬挂键。因此，由于在作为预先被水解的部位的硅中生成悬挂键，因此羟基的生成效率变高。即，由于水解所需的能量降低，因此，即使在将固化工序的温度设为350℃时，未被水解而残留的部位也会变少。其结果，由于有效地发生脱水缩合，因此交联率提高，从而能够成膜致密的(为良好的膜质)绝缘膜。
绝缘方法装置处理系统

[发明专利]基片处理方法和基片处理装置-CN202180055575.1在审
发明人：只友浩贵;村松诚;上田健一;A·A·J·多安道尔费尔;鬼塚智也;吉田圭佑 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2021-08-10 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： G03F7/40 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供有效地抑制凹凸图案的图案倒塌的基片处理方法和基片处理装置。例示的实施方式的基片处理方法包括：将在表面形成有凹凸图案的基片的凹部内的液体替换为固体状态的加强材的步骤(S04、S05)；和对基片实施低分子化处理的步骤(S06)，其中，低分子化处理一边将加强材维持为固体状态、一边使加强材中含有的分子间的键合数减少。
处理方法装置

[发明专利]基片处理方法和基片处理系统-CN202180013830.6在审
发明人：斋藤祐介;村松诚;藤井宽之 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2021-02-05 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：本发明的对基片进行处理的基片处理方法包括：将包含有机金属配合物、溶剂和添加物的涂敷液涂敷于基片，形成上述涂敷液的液膜的步骤；对形成有上述涂敷液的液膜的基片进行加热，形成含有机成分的金属氧化膜的步骤，其中，上述含有机成分的金属氧化膜是包含上述添加物中所含的有机成分的金属氧化膜；将上述含有机成分的金属氧化膜作为掩模进行干蚀刻的步骤；在上述干蚀刻后，将上述含有机成分的金属氧化膜中的上述有机成分除去的步骤；和将从上述含有机成分的金属氧化膜中除去了上述有机成分的膜通过湿蚀刻除去的步骤。
处理方法系统

[发明专利]基板处理方法、基板处理装置和存储介质-CN202111146745.5在审
发明人：田中启一;吉原孝介;近藤良弘;村松诚;小玉辉彦 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2021-09-28 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本发明的课题在于改善使用了适于EUV光刻的抗蚀剂材料的基板的曝光时的灵敏度。在基板处理方法中，在处理容器内，对形成有基于EUV光刻用抗蚀剂材料的抗蚀剂膜的基板的表面，在曝光处理前照射包含真空紫外光的光。
处理方法装置存储介质

[发明专利]电动式直动致动器及电动式制动装置-CN201480033603.X有效
发明人：山崎达也;村松诚;增田唯 -专利权人： NTN株式会社
申请日： 2014-06-12 - 公布日： 2018-08-31 - 主分类号： F16D65/18 文献下载
摘要：本发明涉及电动式直动致动器，其具有以下部件而构成：电动机(30)；驱动轴(27)，其由该电动机(30)旋转驱动；旋转及直动转换机构(50)，其将该驱动轴(27)的旋转运动转换成被支承为沿轴向移动自如的外圈部件(22)的向轴向的直线运动；以及电动锁定机构(70)，其被组装在将电动机(30)的转子轴(33a)的旋转减速并传递给驱动轴(27)的齿轮减速机构(40)，通过通电将动力传递路径转移到不能进行动力传递的锁定状态，之后即使切断该通电也保持锁定状态，在电动式直动致动器中，在电动机(30)的电机壳体(31)内内置电动锁定机构(70)，将电动机(30)和电动锁定机构(70)单元化来实现装配性的提高。
电动式直动致动器制动装置

[发明专利]电动式直动致动器以及电动式盘形制动装置-CN201510887836.2有效
发明人：安井诚;村松诚;江口雅章;山崎达也;后藤知美 -专利权人： NTN株式会社
申请日： 2011-08-31 - 公布日： 2018-03-06 - 主分类号： F16H25/22 文献下载
摘要：本发明提供一种电动式直动致动器，即使采用低成本的弹性环也能够可靠地保持使行星辊与旋转轴的外径面弹性接触的状态，从而能够将旋转轴的旋转始终可靠地传递给行星辊。在外圈部件(5)的内径面与旋转轴(10)的外径面之间组装有多个行星辊(21)。将与行星辊(21)相同数量的辊轴(19)以在径向上移动自如的方式设置于能够以旋转轴(10)为中心旋转的支架(14)，利用该辊轴(19)将行星辊(21)支承为旋转自如。将一部分被切除后的弹性环(23)组装成与多个辊轴(19)外接，从而利用该弹性环(23)对各辊轴(19)朝径向内侧施力，以使行星辊(21)与旋转轴(10)的外径面弹性接触。使弹性环(23)相对于多个辊轴(19)相对地止转，以防止弹性环(23)的切除部与辊轴(19)对置并缩径而将对辊轴(19)的朝径向内侧的施力解除。
电动式直动致动器以及形制装置

[发明专利]电动式直动致动器以及电动式制动装置-CN201480022964.4有效
发明人：安井诚;村松诚;竿山祐辉 -专利权人： NTN株式会社
申请日： 2014-04-17 - 公布日： 2017-12-15 - 主分类号： F16D65/18 文献下载
摘要：本发明涉及电动式直动致动器以及电动式制动装置。由被设置在形成齿轮减速机构(13)的多个齿轮中的一个齿轮(33)的侧面周方向上的多个卡止孔(41)、被设置为能够相对于该卡止孔(41)进退且在前进时与卡止孔(41)卡合而对齿轮(33)进行锁定的锁定销(42)、以及使该锁定销(42)进退的线性螺线管(43)形成能够对电动马达(11)的转子轴(12)的旋转进行锁定以及解锁的锁定机构。使线性螺线管(43)中的柱塞(49)和锁定销(42)为不同的部件并且端面被配置在轴向上对置的同轴上，从被锁定的齿轮(33)加载到锁定销(42)的力矩载荷不会加载到柱塞(49)，防止自由滑动地支承柱塞(49)的线轴(48)的内径面损伤。另外，由非磁性材料形成锁定销(42)，并防止在线性螺线管(43)的线圈(47)与柱塞(49)的相互间所形成的磁路的磁从锁定销(42)泄漏，通过对线圈(47)的通电，柱塞(49)可靠地被吸附移动，从而提高锁定动作的可靠性。
电动式直动致动器以及制动装置

[发明专利]电动驻车制动器-CN201380014013.8有效
发明人：增田唯;村松诚 -专利权人： NTN株式会社
申请日： 2013-03-26 - 公布日： 2017-09-22 - 主分类号： B60T17/22 文献下载
摘要：本发明提供一种电动驻车制动器，使其能够进行电动驻车制动器的动作不良的监视来防止事故。在电动马达(10)与直动机构(11)经由减速机构(12)连接，且使锁销(50)通过螺线管(13)与上述减速机构(12)卡合的电动驻车制动器中，设置检测上述螺线管(13)的电抗(L)的变化的监视单元。检测到的电抗(L)的变化是由柱塞(53)的位移所引起的，所以根据其位移来监视锁销(50)的滑动不良从而避免事故的产生。
电动制动器

[发明专利]电动式直动促动器以及电动制动装置-CN201280058078.8有效
发明人：山崎达也;增田唯;村松诚;江口雅章;竿山祐辉 -专利权人： NTN株式会社
申请日： 2012-10-23 - 公布日： 2017-06-20 - 主分类号： F16D65/18 文献下载
摘要：本发明提供在电动制动装置进行通常的制动动作时能够进行间隙设定的电动式直动促动器。设有检测用摩擦垫(7)按压制动盘(2)的载荷的大小的载荷传感器(14)、用于修正因温度导致的对载荷传感器(14)的影响的温度传感器(37)、以及电子控制装置(50)，该电子控制装置(50)根据由载荷传感器(14)检测的载荷的大小，计算与该载荷的大小对应的从电动马达(15)的位置到间隙成为规定的大小的电动马达(15)的位置的电动马达(15)的旋转角(θ)，以该旋转角(θ)为目标值使电动马达(15)旋转。
电动式直动促动以及制动装置

[发明专利]电动式直动致动器-CN201280053878.0有效
发明人：山崎达也;增田唯;村松诚;江口雅章;竿山祐辉 -专利权人： NTN株式会社
申请日： 2012-10-31 - 公布日： 2016-10-26 - 主分类号： F16H25/20 文献下载
摘要：本发明提供能够高精度地控制外圈部件的轴向的位置的电动式直动致动器。该电动式直动致动器具有：旋转轴(10)，其由电动马达(15)驱动；多个行星辊(11)，它们与所述旋转轴(10)的外周的圆筒面滚动接触；行星架(13)，其将所述多个行星辊(11)保持为能够自转并且能够公转，并且轴向移动被限制；外圈部件(12)，其以包围多个行星辊(11)的方式配置，并且被支承为能够沿轴向滑动；螺旋凸条(22)，其设于所述外圈部件(12)的内周；圆周槽(23)，其以与所述螺旋凸条22卡合的方式设于各行星辊(11)的外周，该电动式直动致动器将旋转轴(10)的旋转转换成外圈部件(12)的直线运动，设有检测行星架(13)的旋转角的公转传感器(33)。
电动式直动致动器

[发明专利]电动式直动致动器以及电动式制动装置-CN201180024027.9有效
发明人： 村松诚;山崎达也;江口雅章;后藤知美 -专利权人： NTN株式会社
申请日： 2011-04-27 - 公布日： 2016-10-12 - 主分类号： F16D65/18 文献下载
摘要：本发明提供电动式直动致动器以及电动式制动装置，在组装有电动式直动致动器的电动式制动装置中，能够高精度地得到所希望的制动力。在将从电动马达（2）向其传递旋转的旋转轴（4）的旋转运动转换为作为输出部材的外圈部件（5）的直线运动的运动转换机构的内部设置检测对被驱动物进行直线驱动的外圈部件（5）的推压力的负载传感器（30），由此，在将该电动式直动致动器用于电动式制动装置时，能够直接检测由制动装置的被驱动物产生的制动力，从而能够高精度地得到所希望的制动力。
电动式直动致动器以及制动装置

[发明专利]滚珠坡道机构以及直动促动器和电动盘式制动器装置-CN201380066152.5在审
发明人：安井诚;村松诚;竿山祐辉 -专利权人： NTN株式会社
申请日： 2013-12-09 - 公布日： 2015-09-16 - 主分类号： F16H25/12 文献下载
摘要：将驱动侧转子(51)和被驱动侧转子(52)在同轴上对置配置，并且分别在两转子(51、52)的相互对置的面上，沿周向等间隔地设置槽深度在周向上逐渐变化并且该变化的方向为相反方向的3组对置的一对圆弧状的坡道槽(56、57)，在对置的一对坡道槽(56、57)之间分别设置有滚珠(53)，用保持器(60)保持滚珠(53)。给予在保持器(60)的兜部(61)之间形成的柱部(62)能够弹性变形的挠性，通过柱部(62)的弹性变形吸收坡道槽(56、57)的制造上的尺寸偏差，而分别使多个滚珠(53)与坡道槽(56、57)均匀地接触的滚珠坡道机构。
滚珠坡道机构以及促动电动制动器装置

[发明专利]图案形成方法和加热装置-CN201380016312.5在审
发明人： 村松诚;北野高广;富田忠利;田内启士 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2013-11-25 - 公布日： 2015-07-29 - 主分类号： B05D7/24 文献下载
摘要：在本发明中，在基板上形成图案时，在基板上形成至少包括两种聚合物的嵌段共聚物的膜，在溶剂蒸气氛围下对该嵌段共聚物的膜进行加热，使得嵌段共聚物相分离，除去被相分离的嵌段共聚物的膜中的一种聚合物，因此，能够促进嵌段共聚物的聚合物的流动化，能够促进相分离。
图案形成方法加热装置

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