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[发明专利]干涉仪移动镜位置测定装置和傅里叶变换红外分光光谱仪-CN201880096674.2有效
发明人： 村松尚 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2018-09-03 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：干涉仪移动镜位置测定装置(10)用于确定具有分束器(22)、固定镜(23)以及移动镜(24)的干涉仪的移动镜(24)的位置，干涉仪移动镜位置测定装置(10)具备：激光光源(11)；相位分离光学系统(1/8波片(15)、偏振分束器(16))，其能够将相位互不相同的第一光和第二光进行分离并进行检测，第一光和第二光是激光光源(11)的光被固定镜(23)和移动镜(24)反射而生成的；信号变换部，其与移动镜(24)的位置同步地分别检测第一光和第二光，来生成第一正弦波信号和第二正弦波信号；信号变换部(第一光检测器(17A)、第二光检测器(17B))，其与移动镜(24)的位置同步地分别检测第一光和第二光，来生成第一正弦波信号和第二正弦波信号；相位计算部(18)，其在针对第一正弦波信号和第二正弦波信号分别进行了标准化及相位差校正后，计算在各时间点的第一正弦波信号或者第二正弦波信号的相位；以及移动镜位置确定部(19)，其基于移动镜(24)的位置与相位的关系，根据在特定的时间点的相位来确定在该时间点的移动镜(24)的位置。
干涉仪移动位置测定装置傅里叶变换红外分光光谱仪

[发明专利]傅里叶变换红外分光光度计-CN202210132651.0在审
发明人：胜秀昭;村松尚;丸野浩昌;森谷直司 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2022-02-14 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： G01N21/35 文献下载
摘要：本公开提供一种傅里叶变换红外分光光度计(1)，其具备主干涉仪(6)、控制干涉仪(7)、红外检测器(19)、控制光检测器(34)和分束器块(30)。分束器块(30)配置在分束器(13)和控制光检测器(34)之间。控制光检测器(34)具有相对于控制干涉光(21i)的光轴(21p)倾斜的光轴。
傅里叶变换红外分光光度计

[发明专利]气体吸收分光装置-CN201980010397.3在审
发明人：胜秀昭;村松尚;松田直树;森谷直司 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2019-01-15 - 公布日： 2020-09-11 - 主分类号： G01N21/3504 文献下载
摘要：本发明提供一种气体吸收分光装置，具备：波数可变激光光源(113)；光检测器(114)，检测从波数可变激光光源射出的、通过了测量对象气体的激光的强度；激光驱动机构(112)，将驱动电流供给至波数可变激光光源(113)，以使激光在规定的波数范围内反复扫描，在该装置中设置：压力关联值获取机构(117)，获取作为测量对象气体的压力的值或者与该压力同步地变化的值的压力关联值；控制机构(131)，控制激光驱动机构(112)，以根据所述压力关联值使进行所述扫描的波数范围变化。由此，即使在测量对象气体的压力变化且要求高速响应性的情况下，也能够以从低压到高压的较宽的压力范围进行高精度的测量。
气体吸收分光装置

[发明专利]音圈电机、具备该音圈电机的动镜单元以及干涉分光光度计-CN201780046990.4在审
发明人：丸野浩昌;森谷直司;桥本豊之;村松尚;胜秀昭 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2017-06-07 - 公布日： 2019-04-16 - 主分类号： H02K33/18 文献下载
摘要：提供一种音圈电机以及干涉分光光度计，即便在高速驱动时也能够将动镜与定镜的角度偏差抑制在1秒以下。音圈电机具备：固定部(71)，固定有具有筒状部(73a)的磁轭(73)、以及设置在筒状部(73a)内的磁铁(74)；移动部(72)，固定有筒形状的线圈(72b)，该线圈(72b)配置在磁轭(73)的筒状部(73a)与磁铁(74)之间；供电线(72c)，连接线圈(72b)与电源，在磁轭(73)的筒状部(73a)形成有用于使供电线(72c)通过的狭缝(73c)、(73d)，线圈(72c)经供电受到由磁铁(74)形成的电磁力，由此移动部(72)相对于固定部(71)往复移动，狭缝(73c)、(73d)形成为相对于磁轭(73)的圆筒部(73a)的中心轴对称。
音圈电机筒状部磁轭磁铁干涉分光光度计供电线固定部移动部动镜狭缝中心轴对称高速驱动角度偏差电磁力筒形状圆筒部定镜电源供电配置

[发明专利]气体吸收分光装置以及气体吸收分光方法-CN201380069618.7在审
发明人： 村松尚;森谷直司;松田直树 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2013-12-25 - 公布日： 2015-09-09 - 主分类号： G01N21/39 文献下载
摘要：提供一种即使在高速测定时也能进行精度良好的气体浓度等的测定的气体吸收分光装置以及气体吸收分光方法。将波长变化的激光照射于测定对象气体，求出表示通过了测定对象气体的所述激光的相对于波长的强度的变化的光谱线型。对于该光谱线型，在波长的各点在规定的波长宽度的范围内利用近似多项式进行多项式近似，基于各点的所述近似多项式的各项的系数，制作该光谱线型的包含零阶的n阶微分曲线。基于这样作成的包含零阶的n阶微分曲线，决定测定对象气体的物理量。
气体吸收分光装置以及方法

[发明专利]半导体器件的制造方法-CN200580051923.9有效
发明人：油井肇;村松尚 -专利权人：株式会社瑞萨科技
申请日： 2005-11-24 - 公布日： 2008-10-29 - 主分类号： H01L21/301 文献下载
摘要：本发明的目的是提供一种可以通过防止切割时形成的异形小片的飞散来提高半导体器件的制造成品率的技术。为实现上述目的，在多条切割线中，对于有可能切断异形外周部的切割线，从半导体晶片的外部开始切割线的形成，并在将半导体晶片切断到中途后，在到达形成于半导体晶片的外周部的异形外周部之前结束切割线的形成。对于其他的切割线则从半导体晶片的外部开始切割线的形成，并在将半导体晶片切断后，在半导体晶片的外部结束切割线的形成。
半导体器件制造方法

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