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[发明专利]半导体器件的制造方法-CN201911174515.2有效
发明人：崔基雄;李河圣;金成基 -专利权人：夏泰鑫半导体（青岛）有限公司
申请日： 2019-11-26 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： H10B12/00 文献下载
摘要：一种半导体器件的制造方法，包括：接收基板；以及在基板上设置介电层；在介电层上设置金属材料；在金属材料的顶表面上设置钝化层；进行合金层形成工艺，以在钝化层的顶表面上设置SiGe层。
半导体器件制造方法

[发明专利]一种胃肠外科手术用术后创伤废液收集装置-CN202210791140.X有效
发明人：杨涛;郭丰丽;李河圣 -专利权人：杨涛
申请日： 2022-07-07 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： A61F13/36 文献下载
摘要：本发明公开了胃肠手术术后护理技术领域的一种胃肠外科手术用术后创伤废液收集装置，包括固定架和滑动套，所述滑动套接在固定架的一端，所述固定架、滑动套的一侧内壁上共同开设有回形接槽，本发明采用通过空间调节机构调节固定位置的固定架和滑动套，固定架和滑动套能够顺着胃肠手术的刀口方向罩在刀口上方，使得内部的海绵层与刀口接触，两端向下倾斜的海绵层能够更有效的沿着皮肤表面与伤口接触，保证对积液的吸取效果，并通过转动电机和驱动电机驱动海绵层滑动同时进行自转，滑动的海绵层能够沿着刀口将积液吸取干净，转动的海绵层能够切换与刀口的接触面，使得海绵层能够均匀地吸取刀口上积液保证吸取效果。
一种胃肠外科手术术后创伤废液收集装置

[发明专利]离子布植装置及离子布植时捕集污染物粒子的方法-CN201911022505.7有效
发明人：朴兴雨;李河圣;崔钟武;金成基 -专利权人：夏泰鑫半导体（青岛）有限公司
申请日： 2019-10-25 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明提供一离子布植装置及离子布植时捕集污染物粒子的方法。所述离子布植装置，包括：离子源；与所述离子源耦合的分析仪；与所述分析仪耦合的加速器；处理室，配置为从所述加速器接收掺杂物粒子；和收集板，设置在所述加速器和所述处理室之间，所述收集板具有主体，所述主体具有分别被捕集套结构部分覆盖的多个孔，其中所述捕集套结构定义了口袋开口且所述捕集套结构和所述孔共同形成收容腔。
离子装置布植时捕集污染物粒子方法

[发明专利]用于离子源的灯丝、离子源及离子注入机-CN201911174571.6有效
发明人：朴兴雨;李河圣;崔钟武;金成基 -专利权人：夏泰鑫半导体（青岛）有限公司
申请日： 2019-11-26 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：本发明提出一种用于离子源的灯丝，所述灯丝能够在通电时释放热电子，所述灯丝的两端分别用于与电源连接，所述灯丝包括三个扭转部，位于中间的所述扭转部呈单重螺旋环状，位于两侧的所述扭转部呈多重螺旋环状，中间的所述扭转部形成的环的直径比两侧的所述扭转部形成的环的直径大。本发明将单重螺旋环的扭转部设于两个多重螺旋环的扭转部之间，多重螺旋环的扭转部释放热电子的效率高，而单重螺旋环的扭转部平衡多重的电流，使得灯丝既能保持释放热电子的效率，又降低了断路的风险。本发明还提供一种离子源及离子注入机。
用于离子源灯丝离子注入

[发明专利]一种管线装置及半导体处理设备-CN202110396416.X在审
发明人： 李河圣;朴兴雨;朱宁炳;刘金彪;刘青;王垚;杨涛;李俊峰 -专利权人：中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请日： 2021-04-13 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： F17D1/065 文献下载
摘要：本发明公开一种管线装置及半导体处理设备，涉及半导体加工技术领域，用于在离子注入工艺中防止废气排放管线堵塞。该管线装置包括：具有副产物接口的管线本体、导出管、加热组件、冷却组件及控制器。管线本体的第一端与分子泵连通，管线本体的第二端与干泵连通。副产物接口位于管线本体的第一端与第二端之间，导出管与副产物接口连接。加热组件设在管线本体的第一端与副产物接口之间，用于对管线本体的第一端与副产物接口之间的部分进行加热。冷却组件设在导出管上，用于对导出管进行冷却。上述半导体处理设备包括该管线装置。
一种管线装置半导体处理设备

[发明专利]一种医院胃肠外科用肠道吻合器-CN202210651145.2在审
发明人： 李河圣;杨涛;郭丰丽 -专利权人： 李河圣
申请日： 2022-06-10 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： A61B17/11 文献下载
摘要：本发明公开了一种医院胃肠外科用肠道吻合器，属于医疗器械领域，一种医院胃肠外科用肠道吻合器，包括安装块，安装块上固定连接有第一握把，安装块上开设有通槽并通过通槽滑动连接有第二握把，第二握把的底部固定连接有矩形块，矩形块的上表面与安装块的下表面滑动连接，矩形块和安装块的下表面均设有用于夹持肠管的夹持机构，转轴上套结有扭簧，扭簧的两端分别与安装座和转轴固定连接，两个转轴上远离扭簧的一端均固定连接有齿轮，矩形块和安装块上均滑动连接有齿条，两个齿条分别与靠近一组齿轮啮合。本发明通过设置夹持机构，达到了能够在切除肠管之前对肠道进行夹持，使得肠道的位置得到固定，便于切除的效果。
一种医院胃肠外科肠道吻合

[发明专利]一种便于调节的胃肠外科用导管固定装置-CN202210413537.5在审
发明人：杨涛;郭丰丽;李河圣 -专利权人：杨涛
申请日： 2022-04-20 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： A61M25/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种便于调节的胃肠外科用导管固定装置，包括：PU透明薄膜固定片、导管固定筒和弧形防脱块，所述PU透明薄膜固定片的内端固定安装有底部安装片，所述底部安装片的内端固定安装有弹性连接带的底端，所述导管固定筒设置在PU透明薄膜固定片的上端，所述导管固定筒的内端卡合安装有第一延长固定筒，所述导管固定筒的左端设置有固定筒左壁，所述弹性连接带的上端固定安装在固定筒左壁的下端，所述导管固定筒的右端设置有转动结构，弧形防脱块。该便于调节的胃肠外科用导管固定装置，方便调节防护的长度，适用于不同的使用情况，导管不易向上滑动，防止脱管事件的发生，提高安全性，方便调节导管固定筒的倾斜角度。
一种便于调节胃肠外科导管固定装置

[发明专利]一种乳腺外科手术治疗辅助定位穿刺装置-CN202210413565.7在审
发明人：郭丰丽;李河圣;杨涛 -专利权人：郭丰丽
申请日： 2022-04-20 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： A61B17/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种乳腺外科手术治疗辅助定位穿刺装置，包括工作台、调节机构、液压伸缩杆、安装座和限位罩，工作台的上端固定连接有床板；同时右侧视纵截面呈“L”字型结构的支撑架的后上端螺栓连接有第二电机；所述调节机构设置在工作台的左上侧；所述液压伸缩杆前后对称的螺栓连接在第一连接件的前后两端，且液压伸缩杆的上侧设置有移动机构；所述安装座一体化连接在调节框的右端；所述限位罩固定连接在第一连接件的右端。该乳腺外科手术治疗辅助定位穿刺装置，便于调节限位罩的尺寸适用于不同尺寸的乳房，同时容易调节限位罩在床板上的位置适用于不同的患者，而且方便调节穿刺针的位置对乳房上的不同位置进行穿刺。
一种乳腺外科手术治疗辅助定位穿刺装置

[发明专利]一种乳腺外科手术患者用快速康复装置-CN202210791157.5在审
发明人：郭丰丽;李河圣;杨涛 -专利权人：郭丰丽
申请日： 2022-07-07 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： A61H1/02 文献下载
摘要：本发明公开了乳腺外科技术领域的一种乳腺外科手术患者用快速康复装置，包括底架，底架顶部固定连接有双向靠背椅，双向靠背椅的前后侧壁上均固定连接有连接绳，两个连接绳均固定连接有T型板，驱动组将驱动板向左推动的距离是定长的，电动伸缩杆没有伸缩时电动伸缩杆将第一L型板向左推动的距离也是固定的，即T型板向左旋转的最大角度度是固定的，从而使患者的上肢摆动的最大角度度也是固定的，从而适应那些刚做完手术、不能够大幅度摆动手臂的患者的康复锻炼需求，调节T型板的转动角度时，只需要调节电动伸缩杆的伸缩端长度即可，进而能够适应手术结束时间更久的患者进行康复训练的需求，提高了适用性，方便不同的患者进行使用。
一种乳腺外科手术患者快速康复装置

[发明专利]一种节流阀、处理腔室及半导体处理设备-CN202110158760.5在审
发明人：朱宁炳;朴兴雨;李河圣;刘金彪;杨涛;李俊峰;王文武;王垚 -专利权人：中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请日： 2021-02-04 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： F16K1/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种节流阀、处理腔室及半导体处理设备，涉及半导体技术领域，用于防止流道内传输的气体与处理腔室内的气体反应而产生的反应物质凝聚在流量调节组件表面以及流道内壁上，提高节流阀的使用寿命。所述节流阀应用于具有处理腔室的半导体处理设备中。所述节流阀包括：阀体、流量调节组件和加热组件。阀体内开设有用向处理腔室传输气体的流道。流量调节组件可转动地设置在阀体内，用于调节气体在流道内的流量。加热组件包括设置在流量调节组件内的加热部，加热部用于对流量调节组件进行加热。
一种节流阀处理半导体设备

[发明专利]动力传递装置及半导体制造设备-CN202110019364.4在审
发明人：朱宁炳;朴兴雨;李河圣;刘金彪;杨涛;孔真真;项金娟;余嘉晗 -专利权人：中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请日： 2021-01-07 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种动力传递装置及半导体制造设备，动力传递装置包括支承主体、旋转轴、磁性流体、轴承组件以及垫片密封组件，支承主体安装在真空反应室与大气环境连通的开口处，支承主体内设置有轴孔；旋转轴穿过轴孔伸入真空反应室中；磁性流体设置在旋转轴与轴孔的内壁之间；轴承组件套设在旋转轴上，轴承组件包括至少一个真空侧轴承，真空侧轴承位于磁性流体的靠近真空反应室的一侧；垫片密封组件贴合设置在真空侧轴承面向真空反应室的一侧。本发明提出的动力传递装置中垫片密封组件贴合设置在真空侧轴承面向真空反应室的一侧，避免了真空反应室中的反应气体污染真空侧轴承和磁性流体，延长了真空侧轴承以及磁性流体的使用寿命。
动力传递装置半导体制造设备

[发明专利]一种半导体衬底处理装置-CN202011435862.9在审
发明人：朱宁炳;朴兴雨;李河圣;熊文娟;蒋浩杰;崔恒玮;李亭亭 -专利权人：中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请日： 2020-12-10 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请涉及一种RTP的热处理系统及热处理方法，具体包括，提供热处理反应腔室；提供可控的辐射热源；提供支撑组件，用于支撑位于其上并与所述辐射热源相对的衬底，所述支撑组件可对所述衬底进行旋转；提供驱动部件，用于驱动所述衬底和/或所述辐射热源运动，从而使得所述衬底与所述辐射热源沿着与所述衬底平行的方向产生往复相对运动。本申请通过产生辐射热源组件与半导体衬底之间的往复相对运动，能够获得更均匀的RTP处理效果，并有效解决半导体衬底旋转所产生的半导体衬底表面的环形图案问题。
一种半导体衬底处理装置

[发明专利]升降装置以及具有升降装置的升降机总成-CN202011439032.3在审
发明人： 李河圣;朴兴雨;朱宁炳;白国斌;高建峰;王桂磊;田光辉;丁云凌 -专利权人：中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请日： 2020-12-10 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： B66F3/46 文献下载
摘要：本申请属于半导体技术领域，具体涉及一种升降装置以及具有升降装置的升降机总成，该升降装置包括支撑板和升降组件，支撑板用于装载晶圆，支撑板上设置有通道，升降组件能够在通道内移动，升降组件的升降端与晶圆弹性接触。根据发明实施例的升降装置，将晶圆与升降组件之间的直接冲击力、应力和晶圆的重力转化为弹性接触的弹力，以减少升降件与晶圆之间发生的物理摩擦，避免在晶圆的表面留下破损点或划痕，以使在后续的加工过程中晶圆保持完整。
升降装置以及具有升降机总成

[发明专利]边缘环以及退火装置-CN202011358841.1在审
发明人：朴兴雨;李河圣;朱宁炳;熊文娟;蒋浩杰;崔恒玮;李亭亭 -专利权人：中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请日： 2020-11-27 - 公布日： 2022-05-31 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供的一种边缘环以及退火装置，涉及半导体技术领域，包括：环体，所述环体的内圈设置有环状的搁置槽，所述搁置槽上设置有沟槽。在上述技术方案中，沟槽开设在搁置槽的槽底，当晶圆放置在搁置槽内以后，由于搁置槽的槽底具有该沟槽，所以晶圆与搁置槽的实际接触面积会相对减少，可以使晶圆在搁置槽内搁置时，有效的降低与边缘环之间的冲击破损，进而减少微粒的产生，有效的提高晶圆的质量。
边缘以及退火装置

[发明专利]一种绝缘子及其组成的离子源、离子注入装置-CN202011360191.4在审
发明人：朴兴雨;李河圣;朱宁炳;刘金彪;刘青;张琦辉;李琳;王垚 -专利权人：中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请日： 2020-11-27 - 公布日： 2022-05-31 - 主分类号： H01J37/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种绝缘子及其组成的离子源、离子注入装置。一种绝缘子，其特征在于，包括：一个立柱本体，所述立柱本体具有两个自由端：第一自由端和第二自由端；由第一自由端至第二自由端所述立柱本体具有不等值的直径，并且中心处的直径值最小。本发明的绝缘子具有更大的比表面积，能够延缓离子束的污染，使用周期更长。
一种绝缘子及其组成离子源离子注入装置

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