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- [发明专利]半导体结构的形成方法-CN202111470796.3在审
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李宗亮;李素云;夏圣杰;李斌生;张冬平
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中芯南方集成电路制造有限公司
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2021-12-03
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2023-06-06
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H01L21/033
- 一种半导体结构的形成方法,包括:提供待刻蚀层,包括第一区和第二区;在第一区和第二区上形成分立的核心层;在待刻蚀层上、核心层侧壁表面和顶部表面形成侧墙材料层;在第一区上相邻的核心层之间形成隔离层;在第二区上相邻的核心层之间形成牺牲层,牺牲层暴露出核心层顶部表面;以牺牲层和隔离层为掩膜,对暴露出的侧墙材料层进行刻蚀,在第一区上的核心层侧壁和待刻蚀层上形成第一侧墙结构,在第二区上的核心层侧壁形成初始第二侧墙结构,第一侧墙结构和初始第二侧墙结构的顶部表面低于核心层顶部表面;去除牺牲层;回刻蚀初始第二侧墙结构,在第二区上的核心层侧壁形成第二侧墙结构。所述方法形成的半导体结构性能得到提升。
- 半导体结构形成方法
- [实用新型]一种督脉灸防烫伤保护装置-CN202021180574.9有效
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陈嘉炫;林江燕;罗小燕;李丽珍;李斌生;章健
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陈嘉炫
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2020-06-23
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2021-07-13
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A61H39/06
- 本实用新型涉及督脉灸技术领域,尤其为一种督脉灸防烫伤保护装置,包括箱体,所述箱体内腔的右侧固定安装有固定板,所述固定板的左侧开设有滑槽,且滑槽的表面滑动连接有第一长板,所述箱体内腔的右侧且位于固定板的上方固定安装有第二长板,所述第一长板和第二长板的左侧均焊接有套管;本实用新型通过箱体、固定板、第一长板、第二长板、连接板、加长箱、竖板、第一短板和第二短板的设置,使督脉灸防烫伤保护装置,达到了防烫上的目的,同时解决了只是在患者身上铺设一层姜蓉,姜蓉上放置艾绒,然后点燃艾绒,这种督脉灸治疗方式,艾绒燃烧的烬容易掉落至患者皮肤上,从而对患者带来烫伤的问题。
- 一种督脉烫伤保护装置
- [发明专利]改善关键尺寸均匀性的方法-CN201410222757.5在审
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孙超;李斌生;张英男;丁超;钟鑫生
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中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
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2014-05-23
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2015-11-25
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H01L21/027
- 本发明提供一种改善关键尺寸均匀性的方法,至少包括以下步骤:S1:提供一表面形成有光阻层的晶圆,进行曝光及显影以在所述光阻层中形成若干开口;S2:对所述晶圆进行电浆预处理以去除所述开口底部残留的光阻;S3:对所述晶圆进行Ar/O2电浆处理以进一步对所述光阻层进行刻蚀,并调节Ar与O2的流量比例,使得晶圆边缘部位的光阻刻蚀速率大于晶圆中间部位的光阻刻蚀速率;S4:以Ar/O2电浆处理后的光阻层为掩模对所述晶圆进行刻蚀。本发明在电浆预处理后再经过一步Ar/O2电浆处理,并调节Ar与O2的流量比例,使得晶圆边缘部位的光阻刻蚀速率大于晶圆中间部位的光阻刻蚀速率,从而调节晶圆边缘部位及晶圆中间部位的光阻开口尺寸,改善刻蚀后通孔关键尺寸的均匀性。
- 改善关键尺寸均匀方法
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