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[发明专利]光电探测器-CN202310732812.4在审
发明人：杨辉;李帅辰 -专利权人：东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司
申请日： 2023-06-20 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G01J1/42 文献下载
摘要：本申请属于光电探测技术领域，尤其是涉及一种光电探测器。该光电探测器包括光电转换模块以及多个光导元件；光电转换模块包括多块电路板以及多个光电转换元件，多块电路板堆叠并间隔设置，各电路板设有至少一个光电转换元件；各光导元件一一对应连接于各光电转换元件，所有的光电转换元件在堆叠方向上的投影错位设置。如此各光导元件与相应各光电转换元件连接后彼此互不干涉。避免因所有光电转换元件布置于同一块电路板而导致光导元件需要设置复杂的外形结构，降低光导元件的加工难度以及该光电探测器的装配难度，光电探测器内部结构简单，成本更低。
光电探测器

[发明专利]密封阀门及半导体检测设备-CN202310786989.2在审
发明人：侯明凯;李帅辰 -专利权人：东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司
申请日： 2023-06-29 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： F16K31/122 文献下载
摘要：本申请属于密封阀门技术领域，尤其是涉及一种密封阀门及半导体检测设备。该密封阀门包括驱动装置、密封组件以及转接机构，驱动装置连接于转接机构，密封组件通过转接机构连接于驱动装置；驱动装置能够驱动转接机构以带动密封组件沿第一方向远离驱动装置运动至换向位置；密封组件处于换向位置、且在驱动装置的继续驱动下，转接机构带动密封组件沿第二方向运动。将该密封阀门应用于发射源腔室的密封，能够将发射源腔室在打开状态与密封状态之间切换，通过转接机构实现密封组件的方向切换以达到密封过道的目的，具备更好的密封效果及使用寿命。
密封阀门半导体检测设备

[发明专利]对中装置及方法-CN202310896903.1在审
发明人： 李帅辰;杨辉 -专利权人：东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司
申请日： 2023-07-20 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： B23P19/10 文献下载
摘要：本申请属于同轴调节设备技术领域，尤其是涉及一种对中装置及方法。该对中装置用于调节第二对中件与第一对中件之间的同轴度，对中装置包括第一检测模块、调节模块以及第二检测模块；第二对中件预固定于第一对中件形成预连接工件组，预连接工件组能够置于调节模块上；第一检测模块用于检测第一对中件与调节模块之间的第一同轴度，第二检测模块用于检测第二对中件与调节模块之间的第二同轴度；调节模块设置为用于根据第一同轴度调节预连接工件组的位置、以及用于根据第二同轴度调节第二对中件的位置。该对中装置通过多模块配合检测及调节对中件位置，能够获取同轴度的具体值，精度更高。
装置方法

[发明专利]密封阀门及扫描电镜密封结构-CN202310786522.8在审
发明人：侯明凯;李帅辰 -专利权人：东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司
申请日： 2023-06-29 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： F16K41/04 文献下载
摘要：本申请属于密封阀门技术领域，尤其是涉及一种密封阀门及扫描电镜密封结构。该密封阀门包括驱动机构、密封结构以及限位结构，密封结构连接于驱动机构；密封结构包括密封组件，限位结构包括第一滚动件，驱动机构能够驱动密封结构沿第一方向移动并使密封组件抵接于第一滚动件；密封组件抵接于第一滚动件后且在驱动机构的继续作用下，密封组件能够沿第二方向移动。在密封组件与限位结构发生相对运动的过程中，第一滚动件与密封组件二者滚动摩擦，密封组件移动顺畅，降低出现密封组件卡死风险。其次，二者因摩擦产生碎屑的风险降低，降低因碎屑卡在密封组件与壳体的壳壁之间而导致密封性差的概率，同时也能避免碎屑污染真空环境。
密封阀门扫描电镜结构

[发明专利]密封阀门及半导体检测设备-CN202310781842.4在审
发明人： 李帅辰;侯明凯 -专利权人：东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司
申请日： 2023-06-29 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： F16K41/04 文献下载
摘要：本申请属于密封阀门技术领域，尤其是涉及一种密封阀门及半导体检测设备。该密封阀门包括密封组件、第一筒体组件以及驱动装置，驱动装置的部分设置于第一筒体组件内并与第一筒体组件活动连接，密封组件位于第一筒体组件外并连接于驱动装置，驱动装置能够驱动密封组件沿第一方向远离第一筒体组件运动至换向位置；在密封组件处于换向位置的状态下，驱动装置能够相对于第一筒体组件运动，并带动密封组件沿第二方向运动。将该密封阀门应用于发射源腔室的密封，能够将发射源腔室在打开状态与密封状态之间切换，通过第一筒体组件与驱动装置配合活动实现密封组件的方向切换以达到密封过道的目的，具备更好的密封效果及使用寿命。
密封阀门半导体检测设备

[实用新型]一种检修时防止意外脱手的万用表-CN202321171657.5有效
发明人：张国山;朱哲;刘博宇;王国阳;李帅辰;李晋 -专利权人：天津中电晟发光伏发电有限公司
申请日： 2023-05-16 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G01R15/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种检修时防止意外脱手的万用表，包括固定板，所述固定板内部顶端与底端均固定开设有活动卡槽，所述活动卡槽内滑动连接有有滑块，所述滑块一侧穿过固定板固定连接有绑带，所述固定板内顶端与底端内均固定开设有固定槽，所述固定槽内滑动连接有固定块，所述固定板内固定设有滑套，所述滑套内滑动连接有十字滑块，所述十字滑块一侧固定连接有万用表本体，本实用新型的有益效果是：将万用表绑在手腕处，同时可根据工作人员手腕不同的粗细来调节，且防止了在检修过程中万用表本体会脱手的意外，且绑在手腕上的方式解放了工作人员的双手，提升了工作人员的工作效率，提升了万用表本体的实用性。
一种检修防止意外脱手万用表

[发明专利]密封阀门及密封结构-CN202310564669.2在审
发明人：杨辉;李帅辰 -专利权人：东方晶源微电子科技（北京）有限公司
申请日： 2023-05-18 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： F16K31/122 文献下载
摘要：本申请属于密封设备技术领域，尤其是涉及一种密封阀门及密封结构。该密封阀门包括驱动装置、密封机构以及限位件；密封机构包括密封板结构以及底座结构，密封板结构活动连接于底座结构，底座结构连接于驱动装置；驱动装置设置为能够驱动密封机构沿第一方向运动，以使密封板结构与限位件抵接；在密封板结构抵接于限位件的状态下，在驱动装置的作用下，密封板结构沿第二方向运动；其中，第一方向垂直于第二方向。在驱动装置、限位件以及底座结构配合作用下，驱动装置仅需提供沿第一方向的自由度，即可使得密封板结构在未抵接于限位件的状态下进行第一方向运动，在抵接于限位件的状态下进行第二方向运动。
密封阀门结构

[实用新型]密封阀门及密封结构-CN202321206465.3有效
发明人： 李帅辰 -专利权人：东方晶源微电子科技（北京）有限公司
申请日： 2023-05-18 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： F16K31/122 文献下载
摘要：本申请属于密封设备技术领域，尤其是涉及一种密封阀门及密封结构。该密封阀门包括驱动装置、转接件及密封件；转接件设有通道，通道包括第一开口和第二开口，第一开口的开口方向平行于第一方向，第二开口的开口方向与第一方向相交；密封件面向第二开口设置并连接于驱动装置，且密封件设置为在驱动装置的作用下沿第二方向靠近或远离转接件，以封闭或打开第二开口，第二方向垂直于第一方向。在本申请提供的密封阀门中，密封件仅需在驱动装置的作用下进行单向运动即可完成密封，极大地降低了密封阀门的复杂性以及成本。
密封阀门结构

[发明专利]电极结构、静电偏转器及扫描电镜-CN202310518503.7在审
发明人： 李帅辰 -专利权人：东方晶源微电子科技（北京）有限公司
申请日： 2023-05-09 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： H01J37/147 文献下载
摘要：本申请涉及扫描电镜技术领域，尤其是涉及一种电极结构、静电偏转器及扫描电镜。该电极结构包括转接部及多个电极部；多个电极部沿排列方向间隔布置且均位于转接部的一侧；转接部连接于多个电极部且用于连接供电电源。本申请提供的电极结构中的各电极部，均通过转接部实现通电，各电极部不须单独接电，如此通过单根供电线缆即可为电极结构中的各电极部供电，极大地减少接线数量。因而，由该电极结构组装而成的静电偏转器所需的供电线缆数量大幅减少，装配难度降低，极大地提高了该静电偏转器的良品率。
电极结构静电偏转扫描电镜

[发明专利]减小相差的偏转器机构及扫描电镜-CN202110587261.8在审
发明人： 李帅辰;蒋磊;孙伟强;孟庆浪;蒋俊海 -专利权人：中科晶源微电子技术（北京）有限公司
申请日： 2021-05-27 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： H01J37/147 文献下载
摘要：本申请涉及减小相差的偏转器机构，包括可旋转偏转器、连接杆、固定偏转器及安装部，可旋转偏转器的旋转中轴与固定偏转器的中轴相重合，且分别安装到安装部上，可旋转偏转器与安装部转动连接，连接杆的一端与可旋转偏转器转动连接，连接杆能够带动可旋转偏转器转动，固定偏转器与安装部固定连接。通过移动连接杆，带动可旋转偏转器旋转，调节后可旋转偏转器与固定偏转器的设计夹角达到预先设计角度，以使使用本申请偏转器机构的扫描电镜获得最佳分辨率，尽量减少相差，不仅如此，旋转偏转器进行微调相较于机械安装，可旋转偏转器与固定偏转器的设计夹角具有更高的精度，有效的解决了仅靠机械安装无法保证两个偏转器安装精度的问题。
减小相差偏转机构扫描电镜

[发明专利]对中机构及具有其的扫描电镜-CN202110587257.1在审
发明人： 李帅辰;孟庆浪;蒋磊;孙伟强;蒋俊海 -专利权人：中科晶源微电子技术（北京）有限公司
申请日： 2021-05-27 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： H01J37/153 文献下载
摘要：本申请涉及一种对中机构及具有其的扫描电镜，包括依次可拆卸连接的电子枪腔体和安装腔体；电子枪腔体上开设有第一通孔，电子枪腔体朝向安装腔体的一侧设有第一凸台，第一凸台呈绕第一通孔设置的环状结构；安装腔体朝向电子枪腔体的一侧开设有安装槽，第一凸台放置在安装槽内部，第一凸台的外侧壁与安装槽的内侧壁之间设有距离；安装槽的槽底处开设有安装孔，安装孔贯穿安装腔体设置，安装孔处安装消像散器；安装腔体开设安装槽处的侧壁上移动安装有第一调节件，第一调节件贯穿安装腔体的侧壁设置，第一调节件设有多个，多个第一调节件沿安装槽的周向间隔分布。其使得消像散器的电场中心与光轴中心重合，从而实现消像散器的对中。
机构具有扫描电镜

[发明专利]对中机构及具有其的扫描电镜-CN202110584543.2在审
发明人： 李帅辰;蒋磊;孙伟强;孟庆浪;蒋俊海 -专利权人：中科晶源微电子技术（北京）有限公司
申请日： 2021-05-27 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： H01J37/153 文献下载
摘要：本申请涉及一种对中机构及具有其的扫描电镜，用于安装在扫描电镜中，对扫描电镜中的的电子束进行对中校准，包括电子枪腔体和安装腔体；电子枪腔体上开设有第一通孔，电子枪腔体朝向安装腔体的一侧设有第一凸台，第一凸台呈环状；安装腔体朝向电子枪腔体的一侧开设有安装槽，第一凸台的外侧壁与安装槽的内侧壁之间设有距离；安装槽的槽底处开设有适用于安装与电子束对准的部件的安装孔；安装腔体开设安装槽处的侧壁上移动安装有第一调节件，第一调节件贯穿安装腔体的侧壁；第一调节件设有多个，多个第一调节件沿安装槽的周向间隔分布。其实现电子束的对中调节，达到了扫描电镜的最佳状态，减小了光轴偏移对分辨率、机台关键参数指标的影响。
机构具有扫描电镜

[发明专利]静电场偏转器及其加工方法-CN202110584540.9在审
发明人： 李帅辰;蒋磊;孙伟强;孟庆浪;蒋俊海 -专利权人：中科晶源微电子技术（北京）有限公司
申请日： 2021-05-27 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： H01J37/147 文献下载
摘要：本申请涉及一种静电场偏转器，适用于安装在扫描电镜内，包括：偏转极板与绝缘安装座，绝缘安装座中部具有安装孔，偏转极板整体呈柱体，外侧壁与安装孔相适配，偏转极板固定在安装孔内，且偏转极板的中部具有光轴孔，光轴孔与安装孔同轴设置，其中，偏转极板沿其径向分为偶数瓣的偏转极块。包括通过将偏转极板固定在绝缘安装座内，且偏转极板的光轴孔与安装孔同轴设置，使电子束尽可能垂直的通过静电场偏转器的几何中心，又将偏转极板沿其径向平均切割成偶数瓣的偏转极块，相对的两个偏转极块形成一个静电场，有效的提高了静电场的均匀性，以使扫描电镜减小了相差，提高的分辨率，检测精度的提高能够适用于更高制程的产线。
静电场偏转及其加工方法

[实用新型]消像散器-CN202121164546.2有效
发明人： 李帅辰;孟庆浪;蒋磊;孙伟强;蒋俊海 -专利权人：中科晶源微电子技术（北京）有限公司
申请日： 2021-05-27 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： H01J37/153 文献下载
摘要：本申请涉及一种消像散器，包括底座和极板；其中，所述底座呈中空筒状设置，所述底座适用于安装在扫描电镜上；所述极板设有两个以上，两个以上的所述极板均固定安装在所述底座的内壁上，两个以上的所述极板绕所述底座的内壁依次周向设置，以使两个以上的所述极板呈环形排布；每个所述极板朝向所述底座的内壁的一侧的结构与所述底座的内壁相匹配。其增加了分辨率，且减小了像散。
消像散器

[实用新型]一种用于托盘搬运的四向穿梭车-CN202121141343.1有效
发明人：吴富国;陶润龙;李帅辰;张泽宇 -专利权人：山西艾特嘉科技有限公司
申请日： 2021-05-26 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： B65G1/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于托盘搬运的四向穿梭车，包括四向穿梭车本体，所述四向穿梭车本体上安装有检修盖板，所述四向穿梭车本体上设有平衡托板，所述四向穿梭车本体的前端固定安装有显示屏，所述显示屏前端设有电源开关，所述四向穿梭车本体前端固定安装有障碍物检测器。本实用新型通过连杆一在滑槽一内向后移动，当挡板二向后移动接触到滑槽一时，连杆一停止移动，支撑杆下端的挡板一与连杆一贴合，可以防止连杆一在移动时发生偏离，连杆一往后移动会接触到板翼，且连杆一将板翼向上抬高，板翼向上移动带动主托板向上移动，当连杆一停止移动时，两个二层托板、两个板翼和主托板保持一平，此时主托板的面积增大，提高托物数量。
一种用于托盘搬运穿梭

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