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[发明专利]一种谐振式硅微加速度计-CN202310114299.2在审
发明人：陈余;孙鹏;杨天宇;李小石;王曦;张开盛 -专利权人：中国工程物理研究院电子工程研究所
申请日： 2023-02-13 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01P15/097 文献下载
摘要：本发明公开了一种谐振式硅微加速度计，涉及微机电系统技术领域，包括下层的衬底硅和上层的机械结构，所述衬底硅上带有左锚点和右锚点，上层的所述机械结构锚定于所述左锚点和右锚点上；所述机械结构包括两个沿X轴对称的左音叉梁谐振器和右音叉梁谐振器，所述左音叉梁谐振器通过左锚点固定于衬底硅上，所述右音叉梁谐振器通过右锚点固定于衬底硅上；所述左锚点和右锚点均位于左音叉梁谐振器和右音叉梁谐振器之间，且沿X轴对称设置，所述左锚点、右锚点、左音叉梁谐振器和右音叉梁谐振器均在同一直线上；所述X轴为敏感轴方向。采用本方案，通过将固定锚点数量减少为2个，并尽量居中靠近，从而进一步减小了温度应力对敏感结构的影响。
一种谐振式硅微加速度计

[发明专利]一种压电行波微执行器的孤极结构-CN202010810784.X有效
发明人：孙翔宇;杜亦佳;王艺程;陈余;李小石;弓冬冬;杨天宇 -专利权人：中国工程物理研究院电子工程研究所
申请日： 2020-08-13 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： H10N30/87 文献下载
摘要：本发明公开一种压电行波微执行器的孤极结构，包括定子和固定支撑，定子与固定支撑相连；定子包括依次叠加设置的驱动电极、压电材料层、下电极和振膜支撑层，驱动电极位于压电材料层的顶部，驱动电极的外边沿与固定支撑之间具有间隙，驱动电极的外边沿与固定支撑之间设置孤极，孤极设置于压电材料层的顶部，孤极能够对压电信号进行检测和分析。本发明的压电行波微执行器的孤极结构，在驱动电极与固定支撑之间设置孤极，孤极可用于行波状态的原位在线检测，检测信号能准确反应定子表面行波状态，孤极设置于驱动电极与固定支撑之间，对驱动信号不会造成影响，因而不会带来执行器驱动力能力损失。
一种压电行波执行结构

[发明专利]带位移放大齿的行波微执行器结构、制备方法及微型电机-CN202210762276.8在审
发明人：杨天宇;陈余;李小石;孙翔宇 -专利权人：中国工程物理研究院电子工程研究所
申请日： 2022-06-30 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： H01L41/113 文献下载
摘要：本发明公开了带位移放大齿的行波微执行器结构、制备方法及微型电机，涉及行波微执行器技术领域，其技术方案要点是：包括依次设置的PZT层、顶硅结构层以及多个定子齿；多个所述定子齿以圆周分布方式布置在顶硅结构层背向PZT层的侧面，且相邻的定子齿间隔设置。一方面，利用PZT‑SOI片中的背硅支撑层制备定子齿；另一方面，采用两个PZT‑SOI片的键合方式实现行波微执行器结构的制备。本发明结合MEMS工艺在原PZT结构的基础上，有效解决了PZT薄膜的摩擦磨损问题，同时可以提升输出力矩。
位移放大行波执行结构制备方法微型电机

[发明专利]模拟温度、湿度、气氛、辐射共存环境的复合加载样品台-CN202210761127.X在审
发明人：孟德超;李小石;陈余;杨天宇;张光辉;周航;周泉丰 -专利权人：中国工程物理研究院电子工程研究所
申请日： 2022-06-30 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： G01N17/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种模拟温度、湿度、气氛、辐射共存环境的复合加载样品台，包括气氛罐、温度控制组件、盐雾组件、传感器组件、屏蔽铅盒和控制组件，气氛罐内部放置有待测样品，气氛罐置于辐射场所内；温度控制组件、盐雾组件设置在气氛罐内；传感器组件包括探头组件和模块组件，探头收件设置在气氛罐内，控制组件设置在屏蔽铅盒内；本发明通过盐雾组件和温度控制组件对待测样品所处的环境进行调整，从而实现了模拟复合环境的目的，解决了目前实验装置在辐射场所中无法实现多种因素同时复合的问题，本发明实现辐射、温度、气氛、湿度多种因素复合加载，是无源单位实现复合环境效应评估及利用复合环境调控器件和材料性质的重要基础。
模拟温度湿度气氛辐射共存环境复合加载样品

[发明专利]电离辐射场所交流电学性质的实时测试装置及测试方法-CN202210762272.X在审
发明人：孟德超;杨天宇;陈余;李小石;杨萍;王小凤;周泉丰 -专利权人：中国工程物理研究院电子工程研究所
申请日： 2022-06-30 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： G01R1/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种电离辐射场所交流电学性质的实时测试装置及测试方法，包括PCB板、测试控制组件和铅砖盒，PCB板设置在辐射场所内，且待测对象固定在PCB板上，PCB板上设置有接线端子和测试端子，接线端子与测试端子电连接，测试端子与待测对象电连接；测试控制组件的测试数据端通过短线缆与PCB板的接线端子电连接；铅砖盒设置在辐射源内，且测试控制组件设置在铅砖盒内；本发明通过将待测对象固定在PCB板上，并通过测试端子、接线端子和测试控组组件的配合，使待测对象通电，同时通过铅砖盒对测试控制组件进行辐射屏蔽，可以将测试控制组件置于辐射源内，从而可以缩短连接线缆，避免出现长距离引线，从而可以对交流电学性能进行在线实时测试。
电离辐射场所交流电学性质实时测试装置方法

[发明专利]一种微结构器件及内嵌结构的应用-CN202210758550.4在审
发明人： 李小石;陈余;杨天宇;孙鹏;邢占强;周泉丰 -专利权人：中国工程物理研究院电子工程研究所
申请日： 2022-06-30 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： H02J50/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种微结构器件及内嵌结构的应用，微结构器件包括用于提供发射信号的驱动单元和用于接收信号的执行单元驱动单元和执行单元之间采用内嵌结构实现信号互联，所述内嵌结构能够实现信号非接触传输，内嵌结构包括电容结构、电感结构或阵列结构。本发明的微结构器件通过采用内嵌结构实现信号互联，不仅能实现信号非接触传输，不存在摩擦磨损，以解决互联结构件之间相互磨损的问题，具有寿命长，可靠性高的优点；且内嵌结构足够小，尺寸为数百um，实现微结构器件信号互联的集成。
一种微结构器件结构应用

[发明专利]微马达执行器驱动时绝对位置的动态检测装置及检测方法-CN202210761181.4在审
发明人：杨天宇;陈余;李小石 -专利权人：中国工程物理研究院电子工程研究所
申请日： 2022-06-30 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： G01B7/30 文献下载
摘要：本发明公开了微马达执行器驱动时绝对位置的动态检测装置及检测方法，涉及马达执行器技术领域，其技术方案要点是：上电极，由多个沿转子圆周方向等间距布置的第一突起电极组成，且去掉第一突起电极以形成缺齿区域；下电极，由多个沿定子圆周方向的预设角度范围内间隔布置的第二突起电极组成，第二突起电极与第一突起电极之间构成相对平板电容；位置检测模块，用于检测相对平板电容的电容信号，并将电容信号转化为电压信号后进行信号解析，以及依据特征信号与当前时刻的实时信号之间信号的极值点、实时信号的趋势点分析得到绝对转动角度。本发明即使在驱动速度变化的情况下依旧能够准确的识别出转子与定子之间的绝对转动角度，检测精确度高。
马达执行驱动绝对位置动态检测装置方法

[发明专利]一种基于行波马达的驱动机构-CN202210761257.3在审
发明人：陈余;杨天宇;李小石;孙鹏;周泉丰;邢占强;计炜梁 -专利权人：中国工程物理研究院电子工程研究所
申请日： 2022-06-30 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： H02N2/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于行波马达的驱动机构，涉及马达驱动技术领域，包括：承载结构、MEMS驱动器和转子结构；转子结构设置在MEMS驱动器上，由MEMS驱动器驱动转子结构转动；承载结构用于承载待转体，承载结构设置于转子结构上随转子结构一起转动；本方案基于MEMS的行波微驱动器与转子机构和承载结构的配合，利用MEMS行波型微马达结构和转子机构的配合实现芯片端的原位旋转驱动，利用MEMS工艺技术特征尺寸在微米或纳米级的加工能力，同时MEMS结构具有可批量化制备、无装配或者少装配的特点，使得组成该驱动机构的结构组件数量少，便于实现芯片端的原位旋转驱动。
一种基于行波马达驱动机构

[发明专利]一种针对压电微机械超声换能器的全聚焦成像方法及装置-CN202210762277.2在审
发明人：计炜梁;邢占强;刘利芳;李小石 -专利权人：中国工程物理研究院电子工程研究所
申请日： 2022-06-30 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： G01H11/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种针对压电微机械超声换能器的全聚焦成像方法及装置，该方法包括：获取若干压电微机械超声换能器单元的回波信号组成的全矩阵回波数据；对所述全矩阵回波数据中的每个回波信号进行预处理，得到预处理后的全矩阵回波数据；根据所述预处理后的全矩阵回波数据，采用全聚焦成像及补偿法对所述预处理后的全矩阵回波数据进行全聚焦成像，得到全聚焦原始成像图。本发明解决了目前使用压电微机械超声换能器阵列进行成像时，回波信号幅值小噪声严重，信噪比低，最终成像质量差的问题，提高了最终成像质量；另外，本发明由于不需要控制声束聚焦与偏转，无需硬件延时控制，可以直接避免使用高精度硬件延时，极大地减小了硬件设计的成本。
一种针对压电微机超声换能器聚焦成像方法装置

[实用新型]一种家用饺子速冻解冻放置盘-CN202021547302.8有效
发明人：张臻;李小石;豆康宁;魏永义 -专利权人：漯河医学高等专科学校
申请日： 2020-07-30 - 公布日： 2021-03-09 - 主分类号： A23L3/365 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种家用饺子速冻解冻放置盘，包括底座和放置在底座上的多个放置盘，放置盘包括套圈体、饺子板和导水板，套圈体内固定有饺子板和导水板，导水板设置在饺子板的下方，套圈体的顶端处开设有卡圈，套圈体的底端内侧开设有卡槽，多个放置盘在卡圈和卡槽的作用下卡接连接，饺子板上均匀的开设有多个饺子放置槽，导水板的上方空间通过连通区与饺子板的上方连通，套圈体的侧面还开设有排水口，本实用新型通过在底座上放置有多个放置盘，在速冻或者解冻时将饺子整齐的放置在饺子放置槽内，既能增加同时处理的饺子的数量，又能避免饺子相互之间挨着产生影响，便于家用。
一种家用饺子速冻解冻放置

[发明专利]一种无梁型行波马达微驱动器-CN202010810780.1在审
发明人：孙翔宇;杜亦佳;王艺程;陈余;李小石;弓冬冬;杨天宇 -专利权人：中国工程物理研究院电子工程研究所
申请日： 2020-08-13 - 公布日： 2020-11-17 - 主分类号： H02N2/08 文献下载
摘要：本发明公开一种无梁型行波马达微驱动器，包括定子和固定支撑，定子与固定支撑相连。本发明的无梁型行波马达微驱动器，定子直接与固定支撑相连，省去了梁结构，消除了梁结构带来的影响，且定子直接与固定支撑相连，使定子振膜上下表面无其他约束，直接与空气接触，有利于实现微驱动器振动位移提升，从而提高驱动能力。
一种无梁型行波马达驱动器

[发明专利]一种行波微执行器位移放大结构-CN202010810914.X在审
发明人：孙翔宇;杜亦佳;王艺程;陈余;李小石;弓冬冬;杨天宇 -专利权人：中国工程物理研究院电子工程研究所
申请日： 2020-08-13 - 公布日： 2020-11-17 - 主分类号： H02N2/16 文献下载
摘要：本发明公开一种行波微执行器位移放大结构，包括齿条，齿条设置于行波微执行器的定子上，沿行波微执行器的定子的轴线方向，齿条凸出于行波微执行器的定子且朝向转子方向设置，齿条的顶面面积较行波微执行器的定子面积小。本发明的行波微执行器位移放大结构，在定子表面设置齿条，齿条凸出于定子表面设置且几乎不改变中性面，提高了定子表面质点到中性面的距离，从而实现行波传递过程中定子表面质点椭圆运动的位移提升，提高椭圆运动切向速度，进而为转子转动提供更多的能量，获得更高的转速，实现输出效率提升。
一种行波执行位移放大结构

[发明专利]一种超快响应的柔性应变传感器及其制备方法-CN201811050618.3有效
发明人：杨婷婷;徐炜;代刚;李小石;杜亦佳 -专利权人：中国工程物理研究院电子工程研究所
申请日： 2018-09-10 - 公布日： 2020-09-08 - 主分类号： G01B7/16 文献下载
摘要：本发明提供了一种超快响应的柔性应变传感器及其制备方法。本发明首先对柔性基底表面进行改性处理和拉伸处理，然后将功能化石墨烯分散液涂覆在经拉伸处理的柔性基底表面，形成功能化石墨烯薄膜；再通过还原处理，形成石墨烯敏感层；然后涂刷导电银胶并粘结导线，得到超快响应的柔性应变传感器。本发明通过柔性基底进行改性和拉伸处理，使得基底对应力/应变波的传递都更加敏感；本发明所述功能化石墨烯分散液的分散溶剂为NMP，NMP溶剂沸点较高，蒸发缓慢，因此咖啡环效应明显，石墨烯晶片形成渐变的堆叠结构，进一步优化了石墨烯敏感层的传感性能。
一种响应柔性应变传感器及其制备方法

[发明专利]一种图案化石墨烯柔性应变传感器的制备方法-CN201811050042.0有效
发明人：杨婷婷;徐炜;代刚;李小石;杜亦佳 -专利权人：中国工程物理研究院电子工程研究所
申请日： 2018-09-10 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： G01B7/16 文献下载
摘要：本发明提供了一种图案化石墨烯柔性应变传感器的制备方法，首先使用光刻法在硬性基底材料表面制备预定图形，得到图案化模具，然后将高分子材料弹性体和固化剂的混合浆料倾倒在图案化模具表面进行固化，得到微流道模具；然后使用微流道模具覆盖在柔性基底表面，使用多巴胺对柔性基底进行图案化改性，再在改性后的基底表面制备石墨烯敏感层，最后涂刷导电银胶、粘结导线，得到图案化石墨烯柔性应变传感器。本发明提供的制备方法无需对柔性基底进行光刻、不破坏柔性基底本体结构、适应复杂曲面、适用于大面积制造、适合于精细化图案加工，降低了对柔性基底自身材质、形状、表面结构的要求。
一种图案化石柔性应变传感器制备方法

[发明专利]一种微马达实时控制方法及系统-CN201910444827.4有效
发明人：杨天宇;王艺程;李小石;孙翔宇;陈余 -专利权人：中国工程物理研究院电子工程研究所
申请日： 2019-05-27 - 公布日： 2020-06-05 - 主分类号： H02N2/00 文献下载
摘要：本发明公开一种微马达实时控制方法及系统，方法包括：获取微马达运动状态的电压数字信号；对数字信号进行滤波去噪、降采样；将降采样后的数字信号中包含平坦的采样值裁剪掉；对裁剪后的数字信号进行波峰波谷和上升下降沿检测，得到去除干扰点后的数字信号；根据去除干扰点后的数字信号进行极值点校正；基于所述校正后的数字信号计算步进角度；判断所述步进角度是否等于目标步进角度；若步进角度等于目标步进角度，则截断脉冲输出；若步进角度不等于目标步进角度，则重复上述步骤直到当前步进角度等于目标步进角度。本发明中的上述方法能够提高信噪比及抗干扰能力。
一种马达实时控制方法系统

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