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- [发明专利]用于聚焦带电粒子束的系统和方法-CN201980086941.2在审
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罗映;董仲华;殷学会;狄隆;邓年沛;方伟;浦凌凌;费若冲;朱博航;刘瑜
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ASML荷兰有限公司
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2019-12-19
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2021-11-05
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H01J37/147
- 公开了一种带电粒子束系统(300)。带电粒子束系统包括平台(201)，该平台被配置为保持样本(203)并且能够在X‑Y‑Z轴中的至少一个轴上移动。带电粒子束系统还包括用于确定平台的横向位移和竖直位移的定位感测系统(350,340)以及束偏转控制器(367)，该束偏转控制器(367)被配置为：施加第一信号，以将入射在样本上的初级带电粒子束(330)偏转来至少部分地补偿横向位移；以及施加第二信号，以调整入射在样本上的经偏转的带电粒子束的焦点来至少部分地补偿平台的竖直位移。第一信号和第二信号可以包括分别具有在10kHz至50kHz以及50kHz至200kHz的范围中的高带宽的电信号。另外，公开了一种非暂时性计算机可读介质，包括用于使装置(300)执行方法的指令的集合，装置包括带电粒子源(310)以生成初级带电粒子束(314,330)，该方法包括：确定平台(201)的横向位移，其中平台能够在X‑Y轴中的至少一个轴上移动；以及指示控制器(367)施加第一信号，以使入射在样本(203)上的初级带电粒子束偏转来至少部分地补偿横向位移。
- 用于聚焦带电粒子束系统方法
- [实用新型]钢丝绳芯胶带探伤系统-CN201120123821.6有效
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许志浩;苏琪;朱博航;刘伟;李海波;杨卓;沈迅;周敬森
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许志浩
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2011-04-25
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2012-05-02
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G01N27/83
- 本实用新型涉及一种钢丝绳芯胶带探伤系统，分布在钢丝绳芯胶带正反面的磁化器、检测传感器接井下、上光纤收发器、计算机等。检测时，磁化器磁化胶带中的钢丝绳阵列产生漏磁场；检测传感器测得，将磁场信号转换为电信号，经预处理，数/模转换后至井下计算机，计算机的分析结果一送到皮带机运行控制器，另一经井下光纤收发器，光缆，井上光纤收发器送到井上计算机。采用本实用新型，胶带正常运行时，磁化器和检测传感器固定不动。有缺陷存在，一方面通过皮带机运行控制器使皮带机停机，检测数据通过井上、下光纤收发器、通讯光缆送入井上计算机进行分析，显示、存储。本实用新型制造和使用方便，能实时监测，准确检测出断股、断绳和编接头滑移量损伤。
- 钢丝绳胶带探伤系统
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