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[实用新型]一种节能低辐射玻璃立式磁控溅射生产设备-CN201320429962.X有效
发明人：刘战合 -专利权人： 有度功能薄膜材料扬州有限公司
申请日： 2013-07-19 - 公布日： 2014-02-12 - 主分类号： C03C17/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种节能低辐射玻璃立式磁控溅射生产设备，由多个镀膜腔体单元串接而成，相邻镀膜腔体单元之间设有工艺隔离腔体；镀膜腔体单元与工艺隔离腔体之间设有隔离阀。镀膜腔体单元，包括基座、靶材架、背板座、玻璃架；靶材架、背板座安装于基座上，围成镀膜腔；靶材架上设有靶材阴极，靶材架与基座之间设有开合装置；所述玻璃架设于镀膜腔内，为立式结构，与垂直面具有0－10度角。所述开合装置由液压或气压驱动。玻璃架设有玻璃传送装置。本实用新型生产节能低辐射玻璃时，玻璃为立式放置，减少了杂质在玻璃表面的沉积，减少了杂质对薄膜的伤害，从而增强薄膜的附着力；同时该结构还减少了杂质在靶材阴极上的沉积导致的弧光放电现象。
一种节能辐射玻璃立式磁控溅射生产设备

[发明专利]一种节能低辐射玻璃立式磁控溅射生产设备-CN201310303597.2无效
发明人：刘战合 -专利权人： 有度功能薄膜材料扬州有限公司
申请日： 2013-07-19 - 公布日： 2013-11-13 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种节能低辐射玻璃立式磁控溅射生产设备，由多个镀膜腔体单元串接而成，相邻镀膜腔体单元之间设有工艺隔离腔体；镀膜腔体单元与工艺隔离腔体之间设有隔离阀。镀膜腔体单元，包括基座、靶材架、背板座、玻璃架；靶材架、背板座安装于基座上，围成镀膜腔；靶材架上设有靶材阴极，靶材架与基座之间设有开合装置；所述玻璃架设于镀膜腔内，为立式结构，与垂直面具有0－10度角。所述开合装置由液压或气压驱动。玻璃架设有玻璃传送装置。本发明生产节能低辐射玻璃时，玻璃为立式放置，减少了杂质在玻璃表面的沉积，减少了杂质对薄膜的伤害，从而增强薄膜的附着力；同时该结构还减少了杂质在靶材阴极上的沉积导致的弧光放电现象。
一种节能辐射玻璃立式磁控溅射生产设备

[实用新型]复式轨道双对称可分离腔体磁控溅射镀膜设备-CN201320147545.6有效
发明人：田秋丽 -专利权人： 有度功能薄膜材料扬州有限公司
申请日： 2013-03-28 - 公布日： 2013-10-02 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种复式轨道双对称可分离腔体磁控溅射镀膜设备，包括镀膜腔体单元。镀膜腔体单元由左右对称的左腔体和右腔体组成，左腔体和右腔体分别构成独立的镀膜腔；镀膜腔包括靶材架和基片架；左腔体和右腔体的基片架位于镀膜腔体单元的中间，中间通过隔板隔开；左腔体和右腔体的靶材架位于镀膜腔体单元的外侧；靶材架上安装有开合装置。镀膜腔体单元还可以进一步包括滑轨，靶材架可以沿着滑轨移动。本实用新型通过结构化组件设计使得本实用新型安装非常方便。本实用新型的镀膜腔可以侧向打开，从而非常方便地实现镀膜腔内部的维护保养。本实用新型还可以将多个镀膜腔体单元组成连续镀膜设备。
复式轨道对称可分离磁控溅射镀膜设备

[发明专利]复式轨道双对称可分离腔体磁控溅射镀膜设备-CN201310104262.8无效
发明人：田秋丽 -专利权人： 有度功能薄膜材料扬州有限公司
申请日： 2013-03-28 - 公布日： 2013-06-12 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种复式轨道双对称可分离腔体磁控溅射镀膜设备，包括镀膜腔体单元。镀膜腔体单元由左右对称的左腔体和右腔体组成，左腔体和右腔体分别构成独立的镀膜腔；镀膜腔包括靶材架和基片架；左腔体和右腔体的基片架位于镀膜腔体单元的中间，中间通过隔板隔开；左腔体和右腔体的靶材架位于镀膜腔体单元的外侧；靶材架上安装有开合装置。镀膜腔体单元还可以进一步包括滑轨，靶材架可以沿着滑轨移动。本发明通过结构化组件设计使得本发明安装非常方便。本发明的镀膜腔可以侧向打开，从而非常方便地实现镀膜腔内部的维护保养。本发明还可以将多个镀膜腔体单元组成连续镀膜设备。
复式轨道对称可分离磁控溅射镀膜设备