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[发明专利]一种异质薄膜结构延迟线型声表面波器件的设计方法-CN201911408358.7有效
发明人：张涛;柯贤桐;王益祎;曹晓闯;朱寒;姜峰 -专利权人：西安科技大学
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： H03H9/145 文献下载
摘要：本发明公开了一种异质薄膜结构延迟线型声表面波器件的设计方法，该方法包括以下步骤：一、选择薄膜材料与声表面波器件模型的堆叠方式；二、建立各个不同厚度的声表面波器件模型及获取声表面波器件模型的色散特性；三、根据声表面波器件模型的色散特性选择出最符合设计需求的薄膜厚度；四、在声表面波器件模型各个薄膜厚度确定的情况下预设声表面波器件的性能指标；五、根据声表面波器件设计指标设计换能器结构并计算出器件的参数值；六、声表面波器件的参数判断及反馈调整。本发明方法步骤简单，选择蓝宝石为基底层，选择氮化铝和氮化镓双层压电薄膜，实现异质薄膜结构延迟线型声表面波器件的设计。
一种薄膜结构延迟线型表面波器件设计方法

[发明专利]一种基于延迟线型声表面波传感电路系统设计方法-CN202010027282.X有效
发明人：张涛;朱寒;苏晓敏;姜峰;师晓云;曹晓闯;柯贤桐 -专利权人：西安科技大学
申请日： 2020-01-10 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： G01N29/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于延迟线型声表面波传感电路系统设计方法，该方法包括以下步骤：一、制作未包含敏感薄膜的延迟线型声表面波器件；二、制作包含敏感薄膜的延迟线型SAW气体传感器；三、选择组成基准振荡发生电路的合适参数；四、选择组成振荡发生电路的合适参数；五、选择组成振荡信号混频处理电路的合适参数；六、选择组成低频信号调理电路的合适参数；七、基准振荡发生电路、振荡发生电路、振荡信号混频处理电路和低频信号调理电路的连接。本发明设计合理，设计的基于延迟线型声表面波传感电路系统功耗低，产生高稳定度传感信号。
一种基于延迟线型表面波传感电路系统设计方法

[发明专利]一种基于宏观声学理论的纳米声学效应分析方法-CN201910119562.0有效
发明人：张涛;柯贤桐;朱寒;曹晓闯;吴利娜;张晶园 -专利权人：西安科技大学
申请日： 2019-02-18 - 公布日： 2021-03-26 - 主分类号： G01N21/3586 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于宏观声学理论的纳米声学效应分析方法，包括以下步骤：一、不同尺度延迟线型声表面波器件的获取；二、不同尺度延迟线型声表面波器件的参数测试；三、不同尺度延迟线型声表面波器件宏观声学理论计算值的获取及参数误差获取；四、宏观声学理论失效判断以及失效阈值确定。本发明步骤简单，设计合理且实现方便，通过对不同尺度延迟线型声表面波器件的参数测量值与不同尺度延迟线型声表面波器件的参数的宏观声学理论计算值分析，获取宏观声学理论失效时延迟线型声表面波器件对应的失效波长阈值，可有力推动声学器件纳米声学效应的研究。
一种基于宏观声学理论纳米效应分析方法

[发明专利]一种基于宽尺度范围的纳米声学效应研究方法-CN201910119563.5有效
发明人：张涛;杨烁;王梅;顾马龙;柯贤桐;曹晓闯;师晓云;蒋林 -专利权人：西安科技大学
申请日： 2019-02-18 - 公布日： 2021-03-26 - 主分类号： G01N21/3586 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于宽尺度范围的纳米声学效应研究方法，包括以下步骤：一、不同尺度的微纳声学器件的制作；二、不同尺度的微纳声学器件的参数测试；三、不同尺度的微纳声学器件宏观声学理论计算值的获取及参数相对误差获取；四、宏观声学理论失效判断及微观分子动力学理论对纳米尺度声学器件参数计算。本发明步骤简单，在4nm～4000nm的宽尺度范围内研究纳米声学效应，并对制作的不同尺度的微纳声学器件的参数进行测试，获取宏观声学理论失效时微纳声学器件所对应的失效波长阈值，且将在4nm～失效波长阈值范围内，采用基于分子动力学理论获取纳米尺度声学器件的参数，便于高频化和集成化纳米尺度声学器件设计。
一种基于尺度范围纳米声学效应研究方法

[实用新型]一种用于高频率微尺度声表面波器件测试的装置-CN201920214449.6有效
发明人：张涛;王梅;顾马龙;杨烁;曹晓闯;朱寒;师晓云 -专利权人：西安科技大学
申请日： 2019-02-18 - 公布日： 2019-11-08 - 主分类号： G01R1/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于高频率微尺度声表面波器件测试的装置，包括真空手套箱、微型手动探针测试台和矢量网络分析仪,所述真空手套箱包括真空手套箱箱体和机械泵，所述微型手动探针测试台包括载台机构、探针机构和显微镜机构，所述载台机构包括工作台、载物台和卡盘，两个探针分别为输入探针和输出探针，所述矢量网络分析仪的输出测试端口通过输出导线与所述输出探针连接，所述矢量网络分析仪的输入测试端口通过输入导线与所述输入探针连接。本实用新型结构简单，设计合理，成本低，增强了高频率微尺度声表面波器件测试的可靠性，确保高频率微尺度声表面波器件失效测试准确性，实用性强。
声表面波器件高频率微尺度真空手套箱矢量网络分析本实用新型探针测试台输出探针输入探针测试矢量网络分析仪显微镜机构失效测试输出测试输出导线输入测试输入导线探针机构机械泵台机构载物台工作台卡盘探针载台

[实用新型]一种用于研究纳米声学效应的延迟线型声表面波器件-CN201920210259.7有效
发明人：张涛;曹晓闯;朱寒;柯贤桐;师晓云;蒋林 -专利权人：西安科技大学
申请日： 2019-02-18 - 公布日： 2019-08-27 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于研究纳米声学效应的延迟线型声表面波器件，包括衬底、缓冲绝缘层和两个声表面波转换机构，声表面波转换机构包括压电薄膜层和第一金属叉指换能器，第一金属叉指换能器的底部与缓冲绝缘层的上表面接触，压电薄膜层的顶部设置有第二金属叉指换能器，第二金属叉指换能器的结构尺寸与第一金属叉指换能器一致，两个声表面波转换机构之间通过导波层连接，导波层与压电薄膜层的厚度相等。本实用新型通过双层叉指换能器，激发比单层叉指换能器更强的声表面波，从而增加输出端的信号，便于信号放大检测，通过导波层减小声波的传播损耗，提高器件的性能，有利于纳米尺度器件测试分析，增加了对纳米声学效应研究的可靠性。
换能器金属叉声表面波转换压电薄膜层声学效应导波层声表面波器件本实用新型叉指换能器缓冲绝缘层延迟信号放大检测声波传播损耗顶部设置厚度相等纳米尺度器件测试声表面波上表面衬底单层减小研究输出激发分析

[实用新型]一种用于窄带延迟线型声表面波器件的振荡电路-CN201821576487.8有效
发明人：张涛;朱寒;柯贤桐;曹晓闯;董立红 -专利权人：西安科技大学
申请日： 2018-09-27 - 公布日： 2018-12-07 - 主分类号： H03H9/25 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于窄带延迟线型声表面波器件的振荡电路，包括依次连接的SAW器件、π型匹配电路、第一级放大电路、移相电路和第二级放大电路，所述移相电路包括变容二极管D1、变容二极管D2、电阻R3、电阻R4、电感L6和电阻R5，所述变容二极管D1的阳极分两路，一路经电阻R4接地，另一路与第一级放大电路的输出端相接；所述变容二极管D1的阴极分两路，一路经电阻R3与3.4V直流电源输出端相接，另一路与变容二极管D2的阴极相接。本实用新型结构简单、设计合理且成本低，窄带延迟线型SAW器件作为振荡电路的选频元件，稳定性好，从而便于提供稳定的振荡源，实用性强。
变容二极管电阻振荡电路窄带延迟阴极声表面波器件本实用新型放大电路移相电路第一级分两路第二级放大电路直流电源输出端电感阳极匹配电路选频元件依次连接接地输出端振荡源

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