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[发明专利]一种减薄液及其制备方法和应用-CN202210975704.5有效
发明人：白晓鹏;李泰亨;申阳;王泽;陈红波 -专利权人： 易安爱富（武汉）科技有限公司
申请日： 2022-08-15 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： C23F1/28 文献下载
摘要：本发明提出了一种减薄液及其制备方法和应用，所述减薄液包括三氯化铁、无机酸、有机酸、表面活性剂和去离子水，所述表面活性剂为十六烷基三甲基溴化铵、脂肪酸羟基乙烷磺酸盐、异构脂肪醇聚氧乙烯醚和七甲基三硅氧烷聚氧乙烯醚中的一种或多种组合。本发明减薄液中的三氯化铁可将因瓦合金的铁和镍氧化为离子态，有机酸和无机酸抑制三氯化铁水解，提高蚀刻速率；表面活性剂可以降低药液表面张力，提高药液对因瓦合金箔表面润湿性，使蚀刻减薄后的因瓦合金箔表面平坦，无内褶皱缺陷。
一种减薄液及其制备方法应用

[发明专利]一种铜蚀刻液及制备方法和应用-CN202211073590.1有效
发明人：赵方方;李泰亨;王丹宇;白晓鹏;王泽;陈红波;董童威 -专利权人： 易安爱富（武汉）科技有限公司
申请日： 2022-09-02 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： C23F1/18 文献下载
摘要：本发明提出了一种铜蚀刻液及其制备方法和应用，所述铜蚀刻液包括磷酸、强氧化性酸、抑制剂、表面活性剂、分散剂和去离子水；所述分散剂为奈系磺酸盐、木质素磺酸盐、腐殖酸钠和聚羧酸盐中的一种或多种组合。本发明的铜蚀刻液性能稳定，可有效分散颗粒物，抑制有机物和铜离子团聚，使基板表面干净无污染，且能够保证具有较小的蚀刻锥角、较少的CDloss变化量。
一种蚀刻制备方法应用

[发明专利]一种钛铝钛复合膜层的酸性蚀刻液及制备方法-CN202211160441.9有效
发明人：白晓鹏;李泰亨;申阳;王丹宇;苗发虎 -专利权人： 易安爱富（武汉）科技有限公司
申请日： 2022-09-22 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： C23F1/26 文献下载
摘要：本发明提出了一种钛铝钛复合膜层的酸性蚀刻液及制备方法，所述酸性蚀刻液包括氧化性酸、非氧化性酸、硫代硫酸盐和去离子水。本发明酸性蚀刻液中的硫代硫酸盐可与二氧化钛形成络合物而溶解于药液中，从而促进金属钛的持续蚀刻，从而避免二氧化钛钝化膜阻止进一步蚀刻反应。
一种钛铝钛复合酸性蚀刻制备方法

[实用新型]一种湿法蚀刻装置-CN202222711510.2有效
发明人：王丹宇;李泰亨;白晓鹏;赵方方;王泽;陈红波;董童威 -专利权人： 易安爱富（武汉）科技有限公司
申请日： 2022-10-14 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： H05K3/06 文献下载
摘要：本实用新型属于蚀刻技术领域，提出了一种湿法蚀刻装置，包括壳体、蚀刻部件、位移部件、基板安装架，所述位移部件、基板安装架自上而下依次安装在壳体内部，且与壳体内壁连接；所述蚀刻部件与位移部件连接，所述基板安装架安装有基板，所述基板位于蚀刻部件下方，所述蚀刻部件在位移部件的驱动下横向往复移动，蚀刻基板；所述基板的一端向壳体底部倾斜。本实用新型基板的一端向壳体底部倾斜，有利于多余的蚀刻液及时从基板表面流出，防止蚀刻液集聚在基板表面过量蚀刻，造成蚀刻不均匀，影响基板品质。
一种湿法蚀刻装置

[实用新型]一种用于检测有机物加热蒸发残留物的试验装置-CN202222237672.7有效
发明人：苗发虎;李泰亨;申阳;刘庆;张玉灵 -专利权人： 易安爱富（武汉）科技有限公司
申请日： 2022-08-24 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： G01N7/16 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种用于检测有机物加热蒸发残留物的试验装置，包括工作面、托盘、罩体、导管及尾气处理组件；托盘上装载待测样品；罩体设置在工作面上并罩住托盘；导管一端朝向工作面延伸并延伸至托盘正上方且端部与带的样品之间留有间隙，导管另一端贯穿罩体向外延伸并连通外部输气设备，外部输气设备通过导管向罩体内输送惰性气体；尾气处理组件设置在工作面上并位于罩体外，尾气处理组件与罩体内部相连通，尾气处理组件用于处理罩体内排出的尾气；通过罩体罩住待测样品，并通过导管向样品持续输送惰性气体，能够挤开待测样品附近的氧气，从而保证了试验时的检测准确性，同时又能够避免产生的有害气体扩散到罩体外。
一种用于检测有机物加热蒸发残留物试验装置

[发明专利]一种钛铝钛复合膜层的碱性蚀刻液及制备方法-CN202211167808.X在审
发明人：白晓鹏;李泰亨;申阳;赵方方;苗发虎 -专利权人： 易安爱富（武汉）科技有限公司
申请日： 2022-09-23 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： C23F1/36 文献下载
摘要：本发明提出了一种钛铝钛复合膜层的碱性蚀刻液及制备方法，所述碱性蚀刻液包括双氧水、无机碱、稳定剂和去离子水，所述稳定剂为锡酸盐、焦磷酸盐和羟基喹啉中的一种或多种组合。本发明的碱性蚀刻液可对钛铝钛复合膜层有效蚀刻，不会腐蚀基底材料，且蚀刻后无钛残渣。
一种钛铝钛复合碱性蚀刻制备方法

[实用新型]一种氮化硅蚀刻液磷酸回收装置-CN202222256599.8有效
发明人：白晓鹏;李泰亨;申阳;苗发虎;王丹宇;赵方方 -专利权人： 易安爱富（武汉）科技有限公司
申请日： 2022-08-26 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： B01D9/02 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种氮化硅蚀刻液磷酸回收装置，其包括废液罐与结晶装置，废液罐用于储存废刻蚀液。该氮化硅蚀刻液磷酸回收装置，通过设置离心分离装置，使磷酸形成结晶后的混合液进入旋转部后，通过旋转离心分离，有效且快速的完成固液分离操作，分离出的液体直接通过排液管排出离心分离装置，分离后磷酸结晶上附着的液体明显减少，可提高磷酸回收品质；通过驱动电机输出端与旋转部的可拆卸设置，及在离心分离装置上设置仓门，可在固液分离后，打开仓门，直接将旋转部取出，采集旋转部内的磷酸结晶，在旋转部取出后，可将另一旋转部安装至离心分离装置内，避免影响磷酸的回收效率。
一种氮化蚀刻磷酸回收装置

[发明专利]一种含高氯酸的混酸蚀刻液中酸浓度定量的测定方法-CN202210955988.1在审
发明人：苗发虎;李泰亨;申阳;刘庆;张玉灵;白晓鹏 -专利权人： 易安爱富（武汉）科技有限公司
申请日： 2022-08-10 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： G01N31/16 文献下载
摘要：本发明提出了一种含高氯酸的混酸蚀刻液中酸浓度定量的测定方法，在冰醋酸中加入待测混酸样品，自动电位滴定仪滴定至出现第一EP点，根据第一EP点所消耗强碱醇类溶液的体积来计算高氯酸的浓度；然后，醇溶剂中加入待测混酸样品，自动电位滴定仪滴定至分别出现第一EP点、第二EP点和第三EP点，硝酸与高氯酸同为无机强酸，磷酸为中强酸，醋酸为弱酸，第一EP点强碱醇类溶液是硝酸与高氯酸共同消耗，硝酸浓度计算需扣除高氯酸所消耗体积，第二EP点、第三EP点所消耗强碱醇类溶液的体积来计算磷酸和醋酸的浓度。本发明采用分步法可以准确测量出蚀刻液混酸中所含的高氯酸、硝酸、磷酸和醋酸的浓度。
一种氯酸蚀刻液中酸浓度定量测定方法

[发明专利]一种高浓度无机显影液及其制备方法-CN202210955989.6在审
发明人：王丹宇;李泰亨;赵方方;王泽;陈红波;白晓鹏 -专利权人： 易安爱富（武汉）科技有限公司
申请日： 2022-08-10 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： G03F7/32 文献下载
摘要：本发明提出了一种高浓度无机显影液，按质量百分比为100％计算，该显影液包括：5％‑20％无机碱，7％‑40％非离子表面活性剂A和1％‑30％非离子表面活性剂B，其余为高纯水；所述非离子表面活性剂A为含有聚氧乙烯基团和芳基醚的聚合物；所述非离子表面活性剂B为异构醇类非离子表面活性剂。本发明通过两种非离子表面活性剂的组合，形成稳定的显影液原液体系，密封状态下稳定性强，不发生分层；而且，显影液稀释100‑500倍使用时，显影无残留，图像清晰，显影速度快。
一种浓度无机显影液及其制备方法

[发明专利]一种CF制程负性光刻胶返工液及其制备方法和应用-CN202210994916.8在审
发明人：王泽;李泰亨;白晓鹏;王丹宇;赵方方;陈红波;董童威 -专利权人： 易安爱富（武汉）科技有限公司
申请日： 2022-08-18 - 公布日： 2022-10-25 - 主分类号： G03F7/42 文献下载
摘要：本发明提出了一种CF制程负性光刻胶返工液及其制备方法和应用，其中返工液包括无机碱、有机碱、小分子有机胺、有机溶剂、缓蚀剂和水，所述有机碱为1,8‑二氮杂环[5,4,0]十一烯‑7。本发明返工液具有较高的剥离性能和剥离效率，1‑2min即可将光刻胶剥离完全，而且剥离光刻胶后的剥离基板表面光滑，平整度高，不影响薄利基板的反复使用。
一种 cf 制程负性光刻返工及其制备方法应用

[发明专利]一种正性光刻胶剥离液组合物及应用-CN202211008706.3在审
发明人：白晓鹏;李泰亨;陈红波;赵方方;王丹宇 -专利权人： 易安爱富（武汉）科技有限公司
申请日： 2022-08-22 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： G03F7/42 文献下载
摘要：本发明提出了一种正性光刻胶剥离液组合物及应用，所述组合物包括醇胺类化合物、极性溶剂、醇醚类化合物、除水添加剂和腐蚀抑制剂，所述除水添加剂包括异氰酸酯和硅烷类化合物中的一种或多种试剂组合。本发明正性光刻胶剥离液组合物中的异氰酸酯化合物和硅烷类化合物可以去除醇胺、酰胺或醇醚类极性溶剂在存储、运输及使用过程中吸收的水分，保证试剂中的有效成分，在剥离光刻胶的同时防止药液对金属的腐蚀。
一种光刻剥离组合应用

[发明专利]一种ITO/Ag/ITO复合金属层薄膜的蚀刻液-CN202111115873.3有效
发明人：李泰亨;申阳;高峰;苗发虎;白晓鹏 -专利权人： 易安爱富（武汉）科技有限公司
申请日： 2021-09-23 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： C09K13/06 文献下载
摘要：本发明提出了一种用于ITO/Ag/ITO复合金属层薄膜的蚀刻液，以重量百分比为100％计算，所述蚀刻液包括磷酸20‑50％、硝酸3‑8％、硫酸1‑3％、醋酸10‑20％、抑制剂0.5‑2％和清洗剂0.1‑1.5％，余量为纯水；所述抑制剂包括无机钾盐和有机膦酸钠盐；所述清洗剂为纤维素交联聚合物，所述纤维素交联聚合物为纤维素与聚羧酸类化合物交联而得。纤维素交联聚羧酸类化合物，含有大量的羧基、羟基以及聚合烯酸，一方面与银离子螯合，使银离子沉淀，可减缓银蚀刻速率，另一方面纤维素交联聚合物与银离子和ITO螯合后，在形成沉淀的同时，还将金属离子从溶液中脱离出来，从而有效去除蚀刻后Ag和ITO残渣。
一种 ito ag 复合金属薄膜蚀刻

[实用新型]一种精馏塔在线水份检测结构-CN202121837466.9有效
发明人：李泰亨;申阳;高峰;苗发虎;白晓鹏 -专利权人： 易安爱富（武汉）科技有限公司
申请日： 2021-08-09 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： B01D3/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种精馏塔在线水份检测结构，包括精馏塔本体和水份检测仪，所述精馏塔本体包括塔体和冷凝器，所述塔体顶部一侧与冷凝器一侧连通，所述冷凝器的出口处连通有管线，所述水份检测仪包括显示器和检测头，所述检测头螺纹安装在管线上，所述检测头顶部设置有凸起部，所述凸起部的截面设置为六边形结构，所述冷凝器顶部一侧固定安装有固定板，所述显示器通过螺栓固定安装在固定板上，所述螺栓设置有四组，所述管线的外壁一侧连通有连接管，所述检测头螺纹安装在连接管一端。本实用新型通过改变传统在线水份检测结构的安装方式，使水份检测结构便于拆装，在出现故障时，便于进行维修，更利于使用。
一种精馏塔在线检测结构

[实用新型]一种具有辅助回收机构的剥离液预混料设备-CN202122071436.8有效
发明人：李泰亨;申阳;高峰;苗发虎;白晓鹏 -专利权人： 易安爱富（武汉）科技有限公司
申请日： 2021-08-31 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： B01F35/71 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有辅助回收机构的剥离液预混料设备，包括混料桶，所述混料桶的内部安装有搅拌组件，所述混料桶的侧壁分别设置有两个液体添加管和一个出液管；本实用新型主要是通过支架、电动推杆、堵料组件和挡板的配合，使电动推杆带动堵料组件移动，堵住固体原料进入混料桶内同时，推动挡板移动，使固定回收管的通道流通，剩余的固体原料通过固体回收管进行回收，从而为剩余原料的回收带来便捷，在混料桶的侧壁倾斜安装有两个液体添加管，液体添加管上安装有液体回收管；通过打开液体回收管上的电磁阀即可将液体添加管内部剩余的液体进行回收，一定程度上降低液体原料在管道内造成的浪费。
一种具有辅助回收机构剥离液预混料设备

[实用新型]一种净化效果好的剥离液生产用尾气处理装置-CN202122071437.2有效
发明人：李泰亨;申阳;高峰;苗发虎;白晓鹏 -专利权人： 易安爱富（武汉）科技有限公司
申请日： 2021-08-31 - 公布日： 2022-01-28 - 主分类号： B01D53/78 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种净化效果好的剥离液生产用尾气处理装置，包括箱体外壳，所述箱体外壳顶部安装有顶壳，所述顶壳内部可拆卸连接有空气滤芯，所述顶壳底部与箱体外壳连通，所述顶壳一侧通过手拧螺丝固定有盖板，本实用新型通过顶壳的设置，实现对废气的过滤，避免废气内的粉尘等物质造成箱体外壳内部堵塞，通过盖板以及手拧螺丝的设置，从而便于对空气滤芯的拆卸更换；通过进水壳上的多个凹槽分别排入过滤板的多个流通槽内，实现流通槽内部处理液保持流动状态，过滤板上多个气孔的设置，使废气通过多个气孔进行分散，并通过与流动的处理液反应，使在实际实用过程中实现废气中有害物质的高效去除。
一种净化效果剥离生产尾气处理装置

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