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- [发明专利]垂直式探针头-CN202210789340.1在审
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杨金田;郑仰宏;陈宥豪;蔡锦溢;杨惠彬;孙宏川
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旺矽科技股份有限公司
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2022-07-06
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2023-01-13
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G01R1/073
- 本发明涉及一种垂直式探针头，包含设有上、下通孔的上、下导板单元及多个探针，各探针包含位于上、下导板单元之间的针身、分别容置于上、下通孔内的针尾安装部及针头安装部，以及用来电性接触待测物的针头接触部，探针中包含一对第一、二信号探针，至少其中之一为特殊针，特殊针的针身宽度小于针头安装部宽度且针身中心线朝成对的探针的方向偏离本身的针头安装部中心线，第一、二信号探针的针头接触部中心间距大于针身中心间距，因此可对应待测物的中心间距较大的高速差动对，且阻抗匹配效果良好，并可维持各探针接触力一致及避免作动时弹性不稳定。
- 垂直探针
- [发明专利]物料移载状态侦测系统及方法-CN202011447313.3有效
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刘永钦;蔡振扬;谢洹圳
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旺矽科技股份有限公司
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2020-12-09
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2022-11-22
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B65G47/90
- 本发明涉及一种物料移载状态侦测系统及方法，所述系统包含有一移载装置、一设置装置，以及至少一影像捕获设备，所述移载装置具有一能在多个位置之间移动的承载台，用于供一物料放置在所述承载台的一承载面上，所述影像捕获设备以一固定的拍摄方向朝位于一所述位置的所述承载台的承载面拍摄的方式设置于所述设置装置，所述方法是将实际移载过程的影像及物料吸附于承载台的吸附状态与标准影像及标准吸附状态比对进而判断是否有物料移载异常；由此，所述物料移载状态侦测系统及方法可侦测出移载装置上的物料是否呈现错误的放置状态，所述侦测系统的设备成本低且体积小。
- 物料状态侦测系统方法
- [发明专利]用于半导体测试的电路板-CN202210393067.0在审
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陈仕卿;赖俊良
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旺矽科技股份有限公司
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2022-04-15
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2022-10-21
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G01R31/26
- 本发明涉及一种用于半导体测试的电路板，包含有第一、二子电路板及一设于其之间的中介层。各子电路板包含有一基板及多个线路，线路包含有上、下接点。中介层包含多个穿孔及设于其中且电性连接二子电路板的上、下接点的多个连接导体。电路板能定义出中央及外围区域，第一子电路板位于中央区域的下接点与一探针头电性连接，第二子电路板位于外围区域的上接点与一测试机电性连接。第二子电路板在外围区域的上接点，其间距大于第一子电路板在中央区域的下接点间距，且其数量多于第一子电路板在外围区域的下接点。由此，本发明的电路板的电源测试一致性良好。
- 用于半导体测试电路板
- [发明专利]晶圆检测系统-CN202210276080.8在审
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郑怡轩;林宏毅;彭柏翰
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旺矽科技股份有限公司
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2022-03-21
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2022-10-14
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G01R31/26
- 本发明涉及一种晶圆检测系统，其包含一承载装置及一点测装置，承载装置包含电性导通的承载部及接触部，用于供晶圆背面设于承载部，点测装置包含一探针及多个弹性接触件，当探针的点触端点触晶圆正面时，弹性接触件的接触端与承载装置的接触部的接触面抵接；弹性接触件的接触端高于探针的点触端，承载装置的接触面高于晶圆正面；或者，接触面半径大于或等于晶圆半径的两倍，探针的点触端与弹性接触件的接触端的水平距离大于或等于晶圆半径的两倍；如此可满足短脉冲测试讯号的测试需求，且弹性接触件的结构设计及传输稳定度可避免受到检测温度的影响。
- 检测系统
- [发明专利]线路内嵌式探针装置-CN202210280326.9在审
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胡玉山;李逸隆;魏绍伦;周裕文
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旺矽科技股份有限公司
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2022-03-22
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2022-09-30
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G01R1/073
- 本发明涉及一种线路内嵌式探针装置，其电路板包含有一上表面设有二第一凹槽及一位于其间的第二凹槽的绝缘层单元、线路主体齐平于所述上表面地分别设于第一、二凹槽内的二接地线路及一讯号线路、一设于绝缘层单元的下表面的接地层，以及连接接地线路与接地层的多个导通孔，各导通孔包含有一贯穿第一凹槽的槽底面及所述下表面的通孔及一设于通孔内的导电层，线路主体、接地层及导电层由同一金属材料制成，接地及讯号线路上分别设置一探针；由此，本发明可易于控制线距、线宽、线厚及线路表面粗糙度，并利于达到薄铜线路、细微间距及高频测试等需求。
- 线路内嵌式探针装置
- [实用新型]可避免探针短路的探针头-CN202123181765.4有效
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林进亿;苏耿民;林哲纬
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旺矽科技股份有限公司
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2021-12-17
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2022-07-19
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G01R1/04
- 本实用新型涉及一种探针头，所述探针头包含有上、下导板单元及多个探针，各探针包含有一穿设于上导板单元的针尾、一穿设于下导板单元且与针尾横向错开的针头及一位于上、下导板单元之间的挫曲状针身，各探针包含有二端分别有第一、二裸针部的一导电针体及覆盖导电针体除了第一、二裸针部以外全部表面的一绝缘层，绝缘层及其覆盖的部分导电针体共同构成一绝缘部，绝缘部构成针身并分别与第一、二裸针部共同构成针尾及针头且包含有一能受上或下导板单元的上表面挡止的挡止部；由此，所述探针头可避免探针因相抵接而短路。
- 避免探针短路
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