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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]成膜装置-CN201810196480.1有效
发明人：佐佐木优;高桥宏辅;早濑文朗 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-03-09 - 公布日： 2023-02-21 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本发明涉及成膜装置。提供一种能够将在旋转台的上方侧形成的第一处理区域的气氛与第二处理区域的气氛有效地分离的成膜装置。成膜处理装置设置在真空容器内，对旋转的旋转台上载置的基板供给处理气体来进行成膜处理。在旋转台的上方设置有被分离区域相互分离的第一处理区域、第二处理区域。构成各分离区域的分离区域形成构件沿径向延伸且相互隔开间隔地设置，分离区域形成构件具有缘部和凹部，该缘部与旋转台之间形成狭窄的间隙，该凹部设置于被缘部夹着的区域，用于形成高度尺寸比所述狭窄的间隙的高度尺寸大的缓冲空间，从分离气体供给部朝向缓冲空间内供给分离气体。
装置

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