专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]半导体器件的制造方法和半导体器件-CN97114532.6无效
  • 望月博;奥和田久美;金谷宏行;日高修 - 东芝株式会社
  • 1997-07-09 - 2004-05-12 - H01L21/8239
  • 本发明涉及半导体器件的制造方法和半导体器件。该制造方法包括:在半导体基片上形成MOS晶体管的工序、形成第1绝缘膜的工序;在对应于MOS晶体管的漏极区的部分的第1绝缘膜上开出接触孔,在该接触孔的内部及第1绝缘膜上形成位线的工序;在位线上和第1绝缘膜上形成第2绝缘膜的工序;在对应于MOS晶体管的源极区的部分的第2绝缘膜和第1绝缘膜上有选择地开出接触孔并在该接触孔的内部埋入、形成电容器接触插件的工序;形成强电介质电容器的工序;形成连接强电介质电容器和电容器接触插件的电极布线的工序。由此,在制造具有位线先制作的上部电极连接结构的强电介质存储单元时能防止强电介质电容器特性劣化并可用联合使工序集成化。
  • 半导体器件制造方法
  • [发明专利]半导体器件及其制造方法-CN98104086.1无效
  • 望月博;奥和田久美;金谷宏行;日高修 - 东芝株式会社
  • 1998-02-03 - 1998-08-12 - G11C11/22
  • 本发明揭示一种半导体器件及其制造方法。包括在半导体基板表层部分形成具有由杂质扩散区结构的漏极区及源极区的MOS晶体管的步骤;在半导体基板上形成绝缘膜的步骤;在绝缘膜上有选择地对接触孔进行开口的步骤;将下端部与MOS晶体管的漏极区与源极区中某一区域接触的电容接触接点埋入并形成于接触孔中的步骤;形成具有下部电极、强电介质膜及上部电极的强电介质电容的步骤;形成连接上部电极与电容接触接点上端面间的布线的步骤。
  • 半导体器件及其制造方法

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