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[发明专利]一种多尺寸兼容的LED厚度检测的自动化设备及其检测方法-CN201810321347.4有效
发明人：周俊晨;陆敏杰 -专利权人： 无锡星微科技有限公司
申请日： 2018-04-11 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明公开了一种多尺寸兼容的LED厚度检测的自动化设备，包括晶圆盒库、机械手、预对准平台和大理石气浮台，所述机械手的一侧设置有晶圆盒库，所述机械手的另一侧且与晶圆盒库成九十度的位置设置有预对准平台；本发明由于采用了12个晶圆片库，以及通过机械手抓取和放置晶圆片的方法，比起之前的人工放置晶圆片，单片检测的方式，检测效率大大提高了；本发明由于在最终检测前，添加了预对准平台部分，使得晶圆的放置定位精度远高于手工放置，使得检测精度大大提高；本发明由于检测台采用了大理石气浮平台，相比较于传统的机械检测平台，更加优良的平台性能使得检测精度大大提高。
一种尺寸兼容 led 厚度检测自动化设备及其方法

[外观设计]晶圆装载机（Load Port）-CN202330227092.7有效
发明人：陆敏杰;魏礼开 -专利权人： 无锡星微科技有限公司
申请日： 2023-04-23 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：晶圆装载机（Load Port）。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于工厂自动化的接口模块。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
装载 load port

[外观设计]五轴机械手-CN202330220238.5有效
发明人：陆敏杰;周宇 -专利权人： 无锡星微科技有限公司
申请日： 2023-04-20 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：五轴机械手。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于自动化机械的零部件。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
机械手

[外观设计]半导体设备前端模块（EFFM）-CN202330220157.5有效
发明人：陆敏杰;王兆昆 -专利权人： 无锡星微科技有限公司
申请日： 2023-04-20 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：半导体设备前端模块（EFFM）。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于晶圆的传输。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
半导体设备前端模块 effm

[外观设计]晶圆自动传输检测设备-CN202330227095.0有效
发明人：陆敏杰;徐东洋 -专利权人： 无锡星微科技有限公司
申请日： 2023-04-23 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： 10-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：晶圆自动传输检测设备。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于实现晶圆自动传输检测。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
自动传输检测设备

[发明专利]一种可用于承载大尺寸大负载的高加速的气浮平台-CN202210286468.6有效
发明人：陆敏杰;姜燕燕 -专利权人： 无锡星微科技有限公司
申请日： 2022-03-22 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： B23K26/70 文献下载
摘要：本发明涉及气浮平台设备技术领域，具体是一种可用于承载大尺寸大负载的高加速的气浮平台，包括工作台、上料组件、支撑架、第一转轴、第二转轴、基座、气浮组件、导料组件和成料组件，上料组件和成料组件设置在工作台的两侧，支撑架安装在工作台的顶部，第一转轴和第二转轴转动安装在支撑架的顶端，并且第一转轴的一端延伸至支撑架的外部，基座的两侧分别与第一转轴和第二转轴连接，气浮组件安装在基座的顶部，导料组件安装在工作台的顶部，本发明气浮组件对工件高精度移动作业，提高工件加工精度，导料组件带动基座和气浮组件转动倾斜一定角度，气浮组件上的工件经过导料组件快速落至成料组件内集中收集，无需人工手动取走工件。
一种用于承载尺寸负载加速平台

[发明专利]一种晶圆检测用多自由度运动平台-CN202310060505.6在审
发明人：陆敏杰;姜燕燕 -专利权人： 无锡星微科技有限公司
申请日： 2023-01-17 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明提供一种晶圆检测用多自由度运动平台，涉及圆晶检测设备技术领域。该晶圆检测用多自由度运动平台，包括底架、控制器、X轴驱动装置、Y轴驱动装置以及两组光栅尺、读数头。本发明通过第一直线驱动器可带动承托块上升和下降，以方便放置圆晶，同时，在侧面检测厚度的传感装置运用时，第一直线驱动器也可以作为运动平台的Z轴使用，当检测不同直径的圆晶时，通过控制器同步控制四组第二直线驱动器动作，控制承托块聚拢或者分离，从而实现调整夹持范围大小的目的，通过四组第一导向柱使得第一直线驱动器带动浮动块升降时保持垂直运动，通过第二导向柱使得调节承托块夹持范围时运动平稳。
一种检测自由度运动平台

[发明专利]一种用于大尺寸晶圆的厚度检测平台-CN202310134201.X在审
发明人：陆敏杰;姜燕燕 -专利权人： 无锡星微科技有限公司
申请日： 2023-02-17 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明提出一种用于大尺寸晶圆的厚度检测平台，该平台通过对上表面的反射波和下表面的反射波进行裁剪并对裁剪后的反射波进行降噪处理，得到待分析波形，通过对反射波进行降噪处理，减小噪声，提升厚度计算的准确性。基于降噪后得到的待分析波形以及激光红外光源的波长、折射率n1、晶圆折射率n2进行晶圆厚度的检测，具体的将待分析波形进行小波包分解与重构的预处理操作，将预处理后的数据输入改进的LSTM神经网络得到波形特征；并将波形特征、激光红外光源的波长、折射率n1、晶圆折射率n2输入concatenate层、Dense层获得晶圆厚度，通过基于神经网络的拟合操作，进一步提升了晶圆厚度的检测精度。
一种用于尺寸厚度检测平台

[发明专利]一种基于视觉的晶圆预对准平台以及对准方法-CN202310104814.9在审
发明人：陆敏杰;贺慧平 -专利权人： 无锡星微科技有限公司
申请日： 2023-02-13 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于视觉的晶圆预对准平台以及对准方法，属于领域晶圆检测领域。该预对准平台以及对准方法基于两组双目相机进行图像采集和处理，为保持晶圆外边缘轮廓，针对性地提出晶圆图像自适应图像去噪方法；本发明并依据晶圆形状特点，定义晶圆边缘特征点，形成互为三角形的特征点，方便按照AAM模型进行特征点提取并按照等腰三角形规则进行特征点匹配；最后依据特征点空间坐标；依据特征点位置进行晶圆位置偏差计算，依据得到特征点空间位置坐标计算对准偏差e，基于偏差值e进行晶圆预对准；本发明对准方法可以实现晶圆中心点和边缘缺口的一次性对准，大大提升了预对准效率。
一种基于视觉晶圆预对准平台以及方法

[发明专利]一种用于光栅尺刻写的高精度激光刻写运动平台-CN202310061655.9在审
发明人：陆敏杰;姜燕燕 -专利权人： 无锡星微科技有限公司
申请日： 2023-01-17 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： B23K26/362 文献下载
摘要：本发明提供一种用于光栅尺刻写的高精度激光刻写运动平台，涉及光栅尺刻写设备技术领域。该用于光栅尺刻写的高精度激光刻写运动平台，包括基准台、控制器以及多组气浮装置。本发明，通过激光测距传感器检测到基准块之间的距离，当激光刻写头沿着Y轴导向轨平移时，激光测距传感器跟随移动，实时获取激光测距传感器检测到基准块之间的距离，并传递回控制器，实现实时检测Y轴导向轨平直度，根据激光测距传感器传递回的距离信息，由控制器进行计算差值，并控制伺服马达旋转带动转杆转动，转杆通过与转套的螺纹连接，旋转时即带动连接块上升以及下降，通过连接块与底梁的固定连接，从而调整Y轴导向轨平直度，使得刻写精度更高。
一种用于光栅尺刻写高精度激光运动平台

[发明专利]一种用于大尺寸晶圆的厚度和弯曲度的检测系统和方法-CN202310151463.7在审
发明人：陆敏杰;王兆昆 -专利权人： 无锡星微科技有限公司
申请日： 2023-02-22 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于大尺寸晶圆的厚度和弯曲度的检测系统和方法，属于晶圆检测领域，包括传输机构，具有传送带，用于传输晶圆；搬运机构，具有机械臂，机械臂末端具有真空吸盘，用于将待检测晶圆从传输机构搬运至检测机构；检测机构，具有承载结构和光学检测结构，用于对晶圆进行厚度和弯曲度检测；所述承载结构包括多条细线，用于承载待检测晶圆；所述光学检测结构具有摄像机和LCD面板，摄像机可360°旋转，用于依次旋转90°，分别拍摄4张待检测晶圆干涉条纹图像；所述LCD面板，可向待检测晶圆投射光栅，还具有分光镜和控制器，用于实现晶圆检测。本系统可以减少大尺寸晶圆检测时由于重力效应导致的弯曲变形，并且结构简单，易于实现。
一种用于尺寸厚度弯曲检测系统方法

[实用新型]一种自动化晶圆检测设备-CN202220012171.6有效
发明人：鲍士高;陆敏杰 -专利权人： 无锡星微科技有限公司
申请日： 2022-01-05 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本实用新型属于晶圆检测技术领域，尤其是一种自动化晶圆检测设备，现提出如下方案，包括设备基座和导向三角板，所述设备基座的外壁固定连接有工作电机，所述工作电机的输出端安装有限位转盘，所述限位转盘的侧壁抵接有与设备基座外壁旋接的限位三角板，所述限位三角板与限位转盘的连接部位开设有限位凹槽，所述限位转盘的顶端固定连接有导向转杆，本实用新型通过设置限位三角板和导向三角板，限位转盘转动与限位三角板紧密贴合，同时，限位转盘转动带动导向转杆转动，导向转杆转动带动导向导柱同步转动，导向导柱转动通过限位凹槽带动导向三角板间歇转动，实现对晶圆检测的三个工位的间歇转动操作，便于进行多工位的晶圆检测操作。
一种自动化检测设备

[实用新型]一种用于晶圆传输机械手的末端晶圆翻转机构-CN202123370781.8有效
发明人：孙成远;陆敏杰 -专利权人： 无锡星微科技有限公司
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： B25J15/02 文献下载
摘要：一种用于晶圆传输机械手的末端晶圆翻转机构，包括壳体、电机、小带轮、大带轮、片叉、回转式旋转接头和旋转轴，所述电机固定安装在壳体内部的一侧，大带轮设置在壳体内部的另一侧，小带轮与电机的输出轴连接，大带轮与小带轮通过同步带传动连接，旋转轴的一端穿设在大带轮上并与大带轮固定连接，旋转轴的另一端穿设出壳体后与片叉固定连接，所述回转式旋转接头的一端穿设有真空气管，回转式旋转接头的另一端与旋转轴连接，所述旋转轴中部设置有第一真空气道，片叉上设置有第二真空气道。本实用新型结构紧凑，尺寸小，气路布置简单，使用的真空气管较短，不会出现真空气管之间存在摩擦的情况，生产成本低，生产工序少，生产时长短。
一种用于传输机械手末端翻转机构

[实用新型]一种新型Z轴升降平台-CN202220012175.4有效
发明人：钱海宇;陆敏杰 -专利权人： 无锡星微科技有限公司
申请日： 2022-01-05 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： B66F7/06 文献下载
摘要：本实用新型属于Z轴升降平台技术领域，尤其是一种新型Z轴升降平台，现提出如下方案，包括平台底座、螺纹滑块和抬升主板，所述平台底座的顶端固定连接有升降电机，所述升降电机的输出端安装有用于带动所述螺纹滑块水平滑动的螺纹杆，所述螺纹滑块的顶端旋接有用于带动所述抬升主板竖直运动的支撑支杆，所述抬升主板的底端活动连接有与平台底座固定连接的限位孔板，所述限位孔板与抬升主板的连接部位设置有限位导柱，所述抬升主板的侧壁固定连接有调整导柱，本实用新型通过设置升降旋板，升降导柱竖直升降通过两组支撑旋杆带动两组升降旋板相对转动，升降旋板转动通过升降孔板带动升降台竖直升降，实现对升降台稳定抬升的控制操作。
一种新型升降平台

[实用新型]一种晶圆生产用水平移动装置-CN202123370848.8有效
发明人：陈昌浩;陆敏杰 -专利权人： 无锡星微科技有限公司
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：一种晶圆生产用水平移动装置，包括直线电机、两个高精度滑块、两个固定支座、机械手安装座、横移固定板、滑台和高精度导轨。本实用新型所述的一种晶圆生产用水平移动装置，安装简便，省时省力，运行顺畅，不会出现卡死的情况。
一种生产水平移动装置

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