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- [实用新型]一种粉末下料装置-CN201921046940.9有效
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徐鑫鑫;浦锡伟;程诚;孙斌;陈昌中
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无锡华源晶电科技有限公司
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2019-07-06
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2020-09-15
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B65D88/66
- 本实用新型提供了一种粉末下料装置，包括料筒，所述料筒的顶端设置有固定板，所述料筒的侧壁设置有支撑底座，所述振动器远离料筒的一侧表面开设有进气孔，所述进气孔的表面设置有进气导管，所述进气导管远离进气孔的一端设置有气路接口，所述进气孔的上端且振动器的表面开设有出气孔。本实用新型从上方进料，下方出料，在漏斗型料仓中，卸料时只有中心部位的物料向卸料口流动,其余为流动“死区”，通过设置有气动涡轮式振动器，这种振动器体积小、噪音低、启停快的优点，不必使用大型的振动器对料筒造成损坏，振动频率可根据气压的大小进行控制；装卸料的实现可通过振动器进气口上的气路接口通断完成，具有人员操作方便的特点。
- 一种粉末装置
- [实用新型]一种可调节石英门-CN201921046950.2有效
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陈昌中;孙斌;陈程;浦锡伟;徐鑫鑫
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无锡华源晶电科技有限公司
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2019-07-06
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2020-04-28
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F27D1/18
- 本实用新型提供了一种可调节石英门，包括支撑底座，所述支撑底座的一侧设置有固定杆，所述固定杆远离支撑底座的一端设置有活动杆，所述活动杆远离固定杆的一端设置有铝门，所述铝门的表面设置有夹持块，且铝门通过夹持块与活动杆相连接，所述铝门的背面设置有石英门本体，所述支撑底座的顶面活动套，所述活动套的内腔设置有大气缸，所述活动套的内侧壁设置有活动轴，且大气缸通过活动轴与活动套活动连接。本实用新型通过可调节的石英门关闭装置，适用于低压扩散炉的炉门关闭，采用2只气缸控制炉门的空间闭合，三角形式保证强度，以提高成品率，降低使用及维护成本，并减少设备维护工作量，提高了用户企业的生产效率。
- 一种调节石英
- [实用新型]一种新型的机械手取放手掌机构-CN201921046951.7有效
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陈程;浦锡伟;孙斌;徐鑫鑫;陈昌中
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无锡华源晶电科技有限公司
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2019-07-06
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2020-04-28
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B25J15/00
- 本实用新型提供了一种新型的机械手取放手掌机构，包括手掌托板，所述手掌托板的顶端设置有压转U型架与手掌前封板，所述手掌前封板位于压转U型架的背面，且手掌前封板高于压转U型架；所述压转U型架的内侧设置有偏摆底板，所述偏摆底板与手掌前封板相连接，且偏摆底板的顶面与手掌前封板的顶面处于同一水平面上；所述偏摆底板与手掌前封板的底端设置有滑块安装座。本实用新型为自动取料机械手提供稳定的取送料机构，手上有料识别功能够准确判断手掌上的物料状态，此结构简单可靠，识别准确性高；防撞报警功能触发敏捷，能够有效规避生产事故，减少生产损失；该机构机械零件简单易制，生产成本低，且所用传感器为经济可靠的微动开关。
- 一种新型机械手手掌机构
- [实用新型]硅片手动上料夹具-CN201921046953.6有效
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孙斌;陈昌中;陈程;浦锡伟;徐鑫鑫
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无锡华源晶电科技有限公司
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2019-07-06
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2020-04-28
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H01L21/677
- 本实用新型提供了硅片手动上料夹具，包括工作台，所述工作台的顶端设置有第一安装板与第二安装板，所述第一安装板的顶端设置有第一工作载物台与第二工作载物台，所述第一工作载物台远离第二工作载物台的一侧设置有第一推杆，所述第一工作载物台的内腔设置有第一满载片蓝，所述第二工作载物台的内腔设置有第二满载片蓝，所述第二安装板的顶端设置有固定台与空载石英舟。本实用新型设置有叠片部分，整体结构下配有第一斜板来满足片蓝导向的一致性，同时第一、第二工作载物台具有0.5mm的高度落差，通过推杆可将两个背靠背放置的满载片蓝中的硅片由第一载物台导入第二载物台，从而实现第二载物台中的第二片蓝中每槽均为背靠背放置的硅片。
- 硅片手动夹具
- [实用新型]一种六工位恒温箱-CN201921046949.X有效
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宋威运;王鹏;林罡;曹其伟
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无锡华源晶电科技有限公司
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2019-07-06
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2020-04-17
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G05D23/19
- 本实用新型公开了一种六工位恒温箱，涉及半导体生产技术领域，包括密封柜，所述密封柜的内壁固定连接有保温层，所述密封柜的内部且位于保温层的内侧表面固定连接有制冷层，所述密封柜的正面固定安装有密封板，所述密封板正面的顶部位置固定安装有人机交互面板，所述密封柜的正面且位于密封板的一侧位置出固定安装有密封门，把单独的恒温装置集中到一起，采用严密的密封结构，把所有的可能泄露点放在密封空间，然后使用氮气定向排放，特殊处理，从使用成本来说，该设备是六工位形式，即一台该设备可替代原先的4台独立温控设备，无论是从采购成本，还是后续的维护成本，相比现有的恒温箱，都有大幅度的下降。
- 一种六工位恒温箱
- [实用新型]一种四工位恒温箱-CN201921046952.1有效
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宋威运;王鹏;崔慧敏;曹其伟
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无锡华源晶电科技有限公司
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2019-07-06
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2020-04-10
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G05D23/19
- 本实用新型公开了一种四工位恒温箱，包括不锈钢箱体，所述不锈钢箱体的内壁固定连接有隔板，所述隔板的数量为两个，所述隔板顶部的两侧均固定连接有液态源瓶，所述不锈钢箱体的一侧连通有氮气进管，并且氮气进管的表面固定连接有第一控制阀，本实用新型涉及液态源恒温技术领域。该四工位恒温箱，把单独的恒温装置集中到一起，采用严密的密封结构，把所有的可能泄露点放在密封空间，然后使用氮气定向排放，减少了泄露由于采用新型温控方式和保温设计，此恒温箱的环境温度调节精度优于现有独立单个的形式，优化了恒温的功能，此四工位恒温箱可替代原先的四台独立温控设备，给操作人员带来了更高的安全性能。
- 一种四工位恒温箱
- [实用新型]一种双层sic桨-CN201921046948.5有效
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王鹏;崔慧敏;林罡;孙斌
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无锡华源晶电科技有限公司
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2019-07-06
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2020-02-21
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H01L31/18
- 本实用新型属于sic桨领域，尤其是一种双层sic桨，针对现有的原先设备配套的碳化硅桨，在不断加大的承载力量中，弯曲度在不断的加大，直接影响到工艺的进行，因为弯曲度的增大，容易造成脱舟，即载有晶片的石英舟从sic桨上滑落，使得石英舟以及晶片大量的破碎，给客户造成了极大的损失，另外，由于现行单层碳化硅桨承载能力的限制，单层桨容易折断，这样会造成整台设备碎片的损失问题，现提出如下方案，其包括夹持部分和承载区，所述夹持部分和承载区之间固定安装有同一个过渡区域。本实用新型实用性好，采用双层设计，减小弯曲度，提高承载力，完美的解决了单层sic桨的承载能力问题，给电池片的发展起到了极大的推动作用。
- 一种双层sic
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