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[发明专利]脉冲双向射频源/负载-CN202210824403.2在审
发明人：亚伦·T·瑞多姆斯基;凯·卢;拉里·J·菲斯克二世;R·莱因哈特;马修·G·哈林顿;哈米西·鲁格胡努尼多;杰西·N·克莱因;亚伦·M·贝里 -专利权人： MKS仪器有限公司
申请日： 2018-05-10 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：提供了脉冲双向射频源/负载。射频电源系统包括主RF发生器和辅助RF发生器，其中每个发生器输出相应的RF信号。主RF发生器还将RF控制信号输出到辅助RF发生器，并且由辅助RF发生器输出的RF信号根据RF控制信号而改变。辅助RF发生器接收指示由主RF发生器和辅助RF发生器输出的相应RF信号的电特性的感测信号。辅助RF发生器确定RF信号之间的相位差。所感测的电特性和相位独立地或协作地被使用以控制由辅助RF发生器输出的RF信号的相位和振幅。辅助发生器包括电感箝位电路，其将所反射的能量从耦合网络返回到可变电阻负载。
脉冲双向射频负载

[发明专利]使用偏置射频产生器信号进行电弧检测的系统及方法-CN202180014708.0在审
发明人： 拉里·J·菲斯克二世;本杰明·J·吉特林;马里乌斯·欧尔德杰伊;亚伦·M·贝里;马修·G·哈林顿;亚伦·T·瑞多姆斯基 -专利权人： MKS仪器有限公司
申请日： 2021-02-24 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种用于射频电源供应器系统的电弧检测器，其中射频电源供应器系统包含第一射频电源供应器及第二射频电源供应器。施加至非线性负载的信号根据来自第一射频电源供应器及第二射频电源供应器中的一个的输出而变化。此信号具有一频率。在非线性负载的电弧或电弧情况下，此信号的频率会发生变化，并且如果此频率在选定范围之外，则会指示电弧或电弧情况。可以通过将此信号数字化为一系列的脉冲并测量脉冲之间的时间或间隔以确定此频率。
使用偏置射频产生器信号进行电弧检测系统方法

[发明专利]脉冲双向射频源/负载-CN201880030682.7有效
发明人：亚伦·T·瑞多姆斯基;凯·卢;拉里·J·菲斯克二世;R·莱因哈特;马修·G·哈林顿;哈米西·鲁格胡努尼多;杰西·N·克莱因;亚伦·M·贝里 -专利权人： MKS仪器有限公司
申请日： 2018-05-10 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：射频电源系统包括主RF发生器和辅助RF发生器，其中每个发生器输出相应的RF信号。主RF发生器还将RF控制信号输出到辅助RF发生器，并且由辅助RF发生器输出的RF信号根据RF控制信号而改变。辅助RF发生器接收指示由主RF发生器和辅助RF发生器输出的相应RF信号的电特性的感测信号。辅助RF发生器确定RF信号之间的相位差。所感测的电特性和相位独立地或协作地被使用以控制由辅助RF发生器输出的RF信号的相位和振幅。辅助发生器包括电感箝位电路，其将所反射的能量从耦合网络返回到可变电阻负载。
脉冲双向射频负载

[发明专利]自适应周期波形控制器-CN201910501067.6有效
发明人： 拉里·J·菲斯克二世;亚伦·T·瑞多姆斯基;乔纳森·斯米卡 -专利权人： MKS仪器有限公司
申请日： 2015-12-02 - 公布日： 2021-12-31 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明涉及自适应周期波形控制器。重复设定点生成器模块根据在连续时间间隔期间重复的预定模式而选择性地改变输出参数的设定点。闭环模块在时间间隔中的第一时间间隔期间，基于(i)所述时间间隔中的第一时间间隔期间设定点在N个时刻处的N个值与(ii)时间间隔中的第一时间间隔期间输出参数在N个时刻处的N个测量值之间的N个差而分别生成N个闭环值。调节模块在时间间隔中的第一时间间隔期间，基于(i)时间间隔中的第二时间间隔期间设定点在N个时刻处的N个值与(ii)时间间隔中的第二时间间隔期间输出参数在N个时刻处的N个测量值之间的N个差而分别生成N个调节值。
自适应周期波形控制器

[发明专利]等离子RF偏置消除系统-CN201680050640.0有效
发明人：亚伦·T·瑞多姆斯基;李相元;拉里·J·菲斯克二世;乔纳森·W·斯米卡 -专利权人： MKS仪器有限公司
申请日： 2016-08-29 - 公布日： 2021-06-22 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种RF供应系统，其中偏置RF发生器运行于第一频率以提供偏置RF输出信号，并且源RF发生器运行于第二频率以提供源RF输出信号。RF输出功率信号被施加到负载，例如等离子体室。源RF生成器检测触发事件。响应于触发事件，源RF发生器开始将频率偏移添加到源RF输出信号，以响应于相对于触发事件发生的等离子体室中的阻抗波动。由源RF发生器检测到的触发事件可以以根据偏置RF输出信号变化的控制信号的形式从偏置RF发生器接收。
等离子 rf 偏置消除系统

[发明专利]自适应周期波形控制器-CN201580062727.5有效
发明人： 拉里·J·菲斯克二世;亚伦·T·瑞多姆斯基;乔纳森·斯米卡 -专利权人： MKS仪器有限公司
申请日： 2015-12-02 - 公布日： 2019-07-05 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：重复设定点生成器模块根据在连续时间间隔期间重复的预定模式而选择性地改变输出参数的设定点。闭环模块在时间间隔中的第一时间间隔期间，基于(i)所述时间间隔中的第一时间间隔期间设定点在N个时刻处的N个值与(ii)时间间隔中的第一时间间隔期间输出参数在N个时刻处的N个测量值之间的N个差而分别生成N个闭环值。调节模块在时间间隔中的第一时间间隔期间，基于(i)时间间隔中的第二时间间隔期间设定点在N个时刻处的N个值与(ii)时间间隔中的第二时间间隔期间输出参数在N个时刻处的N个测量值之间的N个差而分别生成N个调节值。
自适应周期波形控制器

[发明专利]RF脉冲发生与RF计量、处理和控制的同步-CN201380072406.4有效
发明人：戴维·J·库莫;拉里·J·菲斯克二世;亚伦·T·瑞多姆斯基;金宰显;李相元;乔纳森·斯米卡 -专利权人： MKS仪器有限公司
申请日： 2013-11-21 - 公布日： 2018-06-19 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：公开一种射频(RF)系统。该RF系统包括RF传感器、模拟数字转换器(ADC)模块、处理模块和同步模块。该RF传感器测量RF输出的参数，并且基于该参数，生成RF信号。该ADC模块将该RF信号的样本转换为数字值。该处理模块基于该数字值生成处理过的值。该同步模块响应于该RF输出中的转变，输出该处理过的值中之一。 1
处理模块同步模块输出模拟数字转换器传感器测量生成处理样本转换传感器射频计量响应

[发明专利]RF脉冲边沿整形-CN201380057321.9在审
发明人：哈米西·鲁格胡努尼多;拉里·J·菲斯克二世;亚伦·T·瑞多姆斯基 -专利权人： MKS仪器有限公司
申请日： 2013-10-24 - 公布日： 2015-07-22 - 主分类号： H03K5/01 文献下载
摘要：一种射频(RF)产生模块，包括功率控制模块，该功率控制模块接收RF产生模块分别在第一状态和第二状态下的输出的第一期望振幅和第二期望振幅，并且基于第一期望振幅和第二期望振幅输出与从第一状态至第二状态的转换相对应的输入功率设定值。频率控制模块接收输入功率设定值并输出与输入功率设定值相对应的频率设定值。脉冲整形模块接收输入功率设定值、频率设定值和何时从第一状态向第二状态转换的指示并且基于该输入功率设定值、该频率设定值和该指示将RF产生模块的输出从第一状态转换至第二状态。
rf 脉冲边沿整形

[发明专利]RF发生器的双峰自动功率和频率调谐的系统及方法-CN201310097480.3有效
发明人： 拉里·J·菲斯克二世;哈米西·鲁格胡努尼多 -专利权人： MKS仪器有限公司
申请日： 2013-03-25 - 公布日： 2013-09-25 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明提供一种射频发生器的双峰自动功率和频率调谐的系统及方法。所述射频发射器包括功率控制模块、频率控制模块和脉冲发生模块。所述功率控制模块被配置为产生表示功率发生器的目标状态的功率水平的功率信号。所述频率控制模块被配置为产生表示所述功率放大器的所述目标状态的频率的频率信号。所述脉冲发生模块被配置为（i）向所述功率放大器供应输出信号，（ii）调出所述功率放大器的所述目标状态之一的最新功率水平和最新频率中的至少一个，并且（iii）基于所述功率放大器的所述最新功率水平和所述最新频率中的至少一个、所述功率信号和所述频率信号，将所述输出信号的当前功率水平和当前频率从第一状态调节至第二状态。
rf 发生器双峰自动功率频率调谐系统方法

[发明专利]射频功率控制系统-CN201010105234.4有效
发明人：戴维·J·库莫;保罗·艾尔曼;卡尔·约里亚蒂;威廉·施滕格莱因;拉里·J·菲斯克二世;亚伦·瑞多姆斯基;理查德·范 -专利权人： MKS仪器有限公司
申请日： 2010-01-22 - 公布日： 2010-08-11 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明涉及射频功率控制系统。一种射频(RF)系统，包括分配M个预定频率间隔的控制模块。该系统还包括N个RF源，各个RF源以所述M个预定频率间隔中被指派的相应预定频率间隔内的频率向等离子体腔室内的电极施加第一RF功率。N个RF源中的各个RF源还响应包括来自所述等离子体腔室的反馈的第二RF功率。所述N个RF源各包括基于所述第二RF功率和所述M个预定频率间隔中的相应预定频率间隔来调整所述第一RF功率的处理模块。M和N是大于1的整数。
射频功率控制系统

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