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[发明专利]自适应配方选择器-CN201280026144.3有效
发明人： 拉达·孙达拉扬;梅里特·芬克;陈立;巴顿·莱恩 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2012-03-29 - 公布日： 2014-09-10 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种处理晶圆的方法使用可以包括一个或更多个测量制程、一个或更多个离子能量控制（IEC）蚀刻工序以及一个或更多个离子能量优化（IEO）蚀刻制程的离子能量（IE）相关多层处理工序以及离子能量控制多输入/多输出（IEC-MIMO）模型和库。IEC-MIMO处理控制使用在多个层和/或多个IEC蚀刻工序之间的动态相互作用的行为建模。多个层和/或多个IEC蚀刻工序可以与可以使用IEO蚀刻制程来形成的线结构、沟槽结构、通孔结构、间隔结构、接触结构以及栅结构的形成相关联。
自适应配方选择器

[发明专利]离子能量分析仪、在该离子能量分析仪中发电信号的方法及制造和操作该离子能量分析仪的方法-CN201280023721.3有效
发明人：陈立;巴顿·莱恩;麦里特·法克;赵建平;拉达·孙达拉扬 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2012-03-28 - 公布日： 2014-01-22 - 主分类号： H01J49/04 文献下载
摘要：一种离子能量分析仪（74，122，174），用于确定等离子体（66）的离子能量分布，并且包括进入栅网（80，126，160）、选择栅网（82，134，134’）和离子收集器（84，136，136’）。进入栅网（80，126，160）包括尺寸小于等离子体（66）的德拜长度的第一多个开口。离子收集器（84，136，136’）经由第一电压源（182）耦合到进入栅网（80，126，160）。选择栅网（82，134，134’）位于进入栅网（80，126，160）与离子收集器（84，136，136’）之间并且经由第二电压源（180）耦合到进入栅网（80，126，160）。离子电流计（106）耦合到离子收集器（84，136，136’），以测量离子收集器（84，136，136’）上的离子通量并传送与该离子通量相关的信号。
离子能量分析发电信号方法制造操作