“拉梅什·戈帕兰”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果2个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[其他]用于测量处理气体的解离的设备和系统-CN202090000978.7有效
发明人： 拉梅什·戈帕兰;锡亚马克·萨利米安 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2020-10-19 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： G01N21/3504 文献下载
摘要：本实用新型提供了用于测量处理气体的解离的设备和系统。该设备包含：进气口，配置成从远程等离子体源(RPS)接收所述处理气体，所述处理气体包括解离成至少一个自由基的多原子分子，其中该RPS经由导管将所述处理气体提供给半导体处理腔室；测量腔室，耦接到该进气口，该测量腔室包含：红外线(IR)源，配置为发射由该多原子分子吸收的一个或多个波长下的IR辐射；和IR检测器，配置为检测穿过所述处理气体的该IR辐射；和处理电路，耦合至该检测器，该处理电路配置为至少部分地基于检测到的该IR辐射来确定该处理气体中的该多原子分子的解离度。
用于测量处理气体解离设备系统

[发明专利]化学机械抛光智能环-CN201780051335.8有效
发明人：黄祖滨;斯蒂芬·A·威尔斯;拉梅什·戈帕兰;甘加达尔·希拉瓦特;西蒙·雅维伯格 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2017-09-08 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： B24B37/32 文献下载
摘要：本公开内容的实施方式总体涉及基板的化学机械抛光(CMP)。在一个实施方式中，本文公开了用于CMP设备的承载头。承载头包括主体、支撑环和传感器组件。支撑环耦接至主体。传感器组件至少部分地定位于主体中。传感器组件包括发射器、天线和振动传感器。发射器具有第一端和第二端。天线耦接至发射器的第一端。振动传感器耦接至第二端。振动传感器经配置以检测化学机械过程期间相对于承载头的径向轴、方位轴和角轴的振动。
化学机械抛光智能