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- [实用新型]一种离子注入机用离子源盖板-CN202123364754.X有效
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张玲
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扬州信尚电子科技有限公司
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2021-12-29
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2022-07-26
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H01J37/317
- 本实用新型涉及离子注入机技术领域，公开了一种离子注入机用离子源盖板，包括离子源盖板本体，所述离子源盖板本体的后端连接有起弧室前引导板，所述起弧室前引导板上开设有导流狭缝，所述离子源盖板本体为中空结构。本实用新型通过启动循环泵带动离子源盖板本体内的冷却液进行循环，当冷却液对离子源盖板本体的热量吸收流动到冷却铜管上，然后启动排风扇对冷却铜管进行降温，同时冷却铜管置于冷却箱的冷却水再次对冷却铜管内的冷却液进行降温，从而提高离子源盖板本体降温的效果，不仅避免离子源盖板本体温度过高变形等离子体从形变的狭缝中喷出而影响工艺的稳定性，而且避免离子源盖板本体变形更换提高维修成本。
- 一种离子注入离子源盖板
- [实用新型]一种离子注入机用冷却系统-CN202123364612.3有效
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张玲
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扬州信尚电子科技有限公司
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2021-12-29
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2022-06-21
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H01J37/317
- 本实用新型涉及离子注入机领域，具体为一种离子注入机用冷却系统，包括离子注入机本体，所述离子注入机本体的背面固定有罩壳，所述离子注入机本体的背面对应罩壳处开设有通孔，所述通孔的内侧设置有挡板，所述挡板的外壁两侧均固定有第一电推杆，所述第一电推杆的外端和罩壳的内壁固定连接，所述离子注入机本体的内腔固定有温度传感器。本实用新型通过冷风管能够将空调产生的冷气导入设备内部进行降温，从而显著的提升了冷却效果，同时在冬季的时候能够利用引风机将室外的冷风导入进行冷却，从而无需制冷，能够降低能耗，节约能源，较为实用，适合广泛推广与使用。
- 一种离子注入冷却系统
- [实用新型]一种芯片表面清灰清洁除尘设备-CN202123364726.8有效
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张玲
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扬州信尚电子科技有限公司
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2021-12-29
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2022-06-07
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B08B1/04
- 本实用新型公开了一种芯片表面清灰清洁除尘设备，包括清洁筒体，所述清洁筒体内部设置清洁机构；所述清洁机构包括固定盘、电机、电机轴、旋转筒、清洁刷毛、芯片槽、橡胶卡块、凹槽和电动伸缩缸；所述清洁筒体右侧贴合有固定盘，所述固定盘右侧螺栓连接有电机，所述电机左侧连接有电机轴，所述电机轴左侧穿过固定盘固定连接有旋转筒，所述旋转筒上下两侧均固定连接有清洁刷毛。本实用新型通过清洁筒体内部的芯片槽和橡胶卡块，可以将多个芯片卡入固定在清洁筒体的内壁上，经过清洁刷毛，能够一次对多个芯片进行清洁，而且在清洁完成后，经过电动伸缩缸带动固定盘向右侧移动，能够将清洁机构移出清洁筒体内部，从而便捷的对清洁机构进行清洁。
- 一种芯片表面清洁除尘设备
- [实用新型]一种离子注入机用护板-CN202123364765.8有效
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张玲
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扬州信尚电子科技有限公司
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2021-12-29
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2022-06-03
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H01J37/317
- 本实用新型涉及离子注入机技术领域，具体公开了一种离子注入机用护板，包括离子机工艺腔，离子机工艺腔内壁顶部固定安装有第一导辊体，离子机工艺腔内壁底部固定安装有第二导辊体，第一导辊体和第二导辊体外部活动安装有防护筒体，离子机工艺腔内壁固定安装有第一限位座和第二限位座。本实用新型通过防护筒体对离子机工艺腔内壁进行防护，当防护筒体内壁粘附较多的离子时，可通过去离子水管往第二限位座和防护筒体形成的腔体内部充入去离子水，并且配合马达电机带动清洗刷体旋动，可提升防护筒体内壁的清洁质量，使用后的去离子水可从排水管排出，该结构不需要拆卸离子机工艺腔和防护筒体，并且不需要停机便可清理防护筒体内壁粘附的离子。
- 一种离子注入机用护板
- [实用新型]一种半导体离子注入机-CN202121871168.1有效
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张玲
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扬州信尚电子科技有限公司
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2021-08-11
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2022-04-19
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H01J37/317
- 本实用新型公开了一种半导体离子注入机，具体涉及半导体离子注入机技术领域，包括注入机，注入机的内腔中设置有连接装置，且通过连接装置活动安装有侧板，连接装置包括安装块和连接杆，安装块的一端固定安装在注入机的拐角处，且靠近注入机内腔开口的一端中部开设有用于盛放连接杆的凸型槽，连接杆的一端固定安装在侧板靠近注入机的一侧，连接杆的外部两侧对称开设有限位槽。通过限位杆在凸型槽的内腔中放置时，然后拉动滑杆使得铰接杆往远离凸型槽内腔的方向进行滑动，从而限位杆转动至限位槽的内腔中进行放置，拉动侧板便可以将侧板和注入机之间进行分离，从而注入机和侧板之间进行拆卸的时候更加方便。
- 一种半导体离子注入
- [实用新型]一种半导体芯片制造离子注入设备-CN202121873249.5有效
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张玲
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扬州信尚电子科技有限公司
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2021-08-11
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2022-04-19
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H01J37/08
- 本实用新型公开了一种半导体芯片制造离子注入设备，具体涉及离子注入机技术领域，包括真空罐和离子源，真空罐的上端面设置有用于固定离子源的固定机构，固定机构包括与真空罐上端面固定连接的第一连接块和与离子源外壁固定连接的第二连接块，第一连接块的上端面固定安装有弹性轴，弹性轴的轴向一端延伸至第二连接块的内腔通过设置第一连接块与第二连接块，其中第一连接块与第二连接块分别与离子源和真空罐连接，同时在第一连接块外壁设置与第二连接块内腔插接的弹性轴，另外在第二连接块的内腔滑动安装顶针，通过顶针刺入弹性轴的内部，使得弹性轴沿径向扩张，完成第一连接块与第二连接块的固定，实现离子源的固定安装，操作便捷。
- 一种半导体芯片制造离子注入设备
- [实用新型]一种离子注入机的防偏装置-CN202121873230.0有效
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张玲
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扬州信尚电子科技有限公司
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2021-08-11
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2022-01-11
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H01J37/20
- 本实用新型公开了一种离子注入机的防偏装置，具体涉及离子注入机机技术领域，包括承载板和放置盘，放置盘通过转轴转动安装在承载板的上端中部，承载板和放置盘的外部均设置有用于对放置盘限位的调节装置。通过设置第一限位齿轮和传动带，可以使得硅片放置到放置盘的上端之后，通过转动放置盘让硅片和放置盘一起进行转动一定角度之后，通过转动连杆使得第二限位齿轮进行转动，在传动带的作用下致使第一限位齿轮进行转动，此时的放置盘会再次进行转动，从而边可以对硅片的角度调节的更加精准，使得离子注入到硅片的内部时注入的更急均匀，降低了产品的残次率，减少了对硅片的浪费。
- 一种离子注入装置
- [实用新型]一种带有校准机构的离子注入机-CN202121873267.3有效
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张玲
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扬州信尚电子科技有限公司
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2021-08-11
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2022-01-11
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H01J37/317
- 本实用新型公开了一种带有校准机构的离子注入机，涉及离子注入机相关技术领域，包括支撑架，支撑架的一侧固定有支撑板，支撑板的一端固定有发射机，支撑板的另一端固定有接收机，支撑板的正前方开设有凹槽，凹槽的内部一侧固定有微型电机，微型电机的动力输出端传动有反向螺纹杆，反向螺纹杆的外表面滑动有传动板，支撑板的正前方固定有固定板，固定板的内部设有调节板，利用连接板带动支撑块的滑动，从而使调节板与接收机和发射机之间的距离发生变化，进而可以对离子注入机发射的离子束位置进行较准，另外通过调节板与固定板之间的相对运动，从而改变通孔所呈现的大小，进而改变离子束所投放范围的大小。
- 一种带有校准机构离子注入
- [发明专利]一种芯片表面硅脂涂抹装置-CN202010504709.0有效
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杨磊
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扬州信尚电子科技有限公司
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2020-06-05
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2021-05-18
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B05C5/02
- 本发明公开的一种芯片表面硅脂涂抹装置，包括底座，所述底座设有开口向前的转槽，所述转槽为圆形，所述转槽内圈上顺时针的转动设有转盘，所述转盘前后贯通的设有十字形的转动腔，所述转动腔下端上下滑动的设有表面清洁装置，所述转动腔右端左右滑动的设有挤出装置，所述转动腔上端上下滑动的设有摊平装置，本发明通过间歇性转动装置，自动对芯片表面分别进行表面清洁，硅脂挤出，摊平硅脂以及侧边清洁四个步骤，使得芯片表面在涂抹硅脂前得到充分清洁，并且能根据芯片尺寸挤出适量的硅脂，并且确保将硅脂均匀摊平在芯片表面，并且在摊平后清理侧边漏出的硅脂确保芯片周边的清洁。
- 一种芯片表面涂抹装置
- [实用新型]一种半导体LED灯实验台-CN201922253177.3有效
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杨洋
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扬州信尚电子科技有限公司
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2019-12-16
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2020-11-03
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B01L9/02
- 本实用新型公开了一种半导体LED灯实验台，包括主体，所述主体底端对称设置有滚轮、对称设置有第一圆槽，所述第一圆槽边侧等距设置有第一卡槽，所述第一圆槽中一体成型对称设置有连接弹簧、并且连接弹簧另一端一体成型设置在第一连接柱一端，所述第一连接柱边侧一体成型等距设置有第一卡条，所述第一连接柱另一端一体成型设置有第二连接柱、并且第二连接柱边侧一体成型等距设置有第二卡条，通过本实用新型对于LED灯实验台的搬运或者位置移动非常方便，并且对于其位置固定具有很好的稳固性，进而保证设备正常工作的进行，保证工作效率。
- 一种半导体led实验
- [实用新型]一种离子注入机的防护装置-CN201922265646.3有效
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杨洋
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扬州信尚电子科技有限公司
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2019-12-16
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2020-08-07
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H01J37/317
- 本实用新型公开了一种离子注入机的防护装置，包括主体，所述主体四个边角对称设置有固定装置、底端对称设置凹槽，所述凹槽槽口处设置卡槽，所述凹槽中一体成型设置有第一缓冲弹簧、并且第一缓冲弹簧另一端一体成型设置在支撑块一端，所述支撑块另一端一体成型设置有第一支撑杆，所述第一支撑杆底端设置有方槽，通过本实用新型在对设进行搬运或位置移动时，对于设备具有很好的缓冲保护作用,在需要进行位置固定时，具有很好的固定装置，不仅简单方便，还具有很好的稳固性，进而避免设备发生位置滑动和偏移，保证工作的正常进行。
- 一种离子注入防护装置
- [实用新型]一种半导体场效应管测试装置-CN201921334641.5有效
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杨洋
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扬州信尚电子科技有限公司
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2019-08-16
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2020-07-03
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G01R31/26
- 本实用新型公开了一种半导体场效应管测试装置，属于半导体检测技术领域。一种半导体场效应管测试装置，包括测试仪主体，本实用新型通过在测试仪主体顶面开设检测腔，并在检测腔内分别设置有用于检测电压的检测座、用于检测一定时间内场效应管温度变化的温度检测探头以及用于检测一定时间内场效应管发生噪音频率的噪音监测探头，从而达到一机多用的检测目的；本实用新型还在检测腔上端设置有密封组件，利用密封组件不仅可以起到密封防护的作用，且可以确保检测腔内温度检测探头和噪音监测探头检测数据的精确。本实用新型结构设计合理，操作简便，检测精度高，不仅满足半导体场效应管电压测试，还能检测半导体场效应管的噪音性能以及温度特性。
- 一种半导体场效应测试装置
- [实用新型]一种半导体实验台-CN201921492205.0有效
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杨洋
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扬州信尚电子科技有限公司
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2019-09-09
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2020-06-12
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B01L9/02
- 本实用新型涉及半导体实验用工作台技术领域，具体为一种半导体实验台，包括工作台，工作台的下端面四个边角位置均垂直安装有相互平行的支撑柱，工作台的上端面中间开设有安装槽，安装槽上端面后端转动安装有盖板，安装槽的内腔安装有电路安装板，有益效果为：本实用新型通过将电路板安装在工作台的下端，并利用盖板实现对电路安装板的保护，使得电路板与工作台相互结合，同时在不使用的时候利用盖板密封，不影响工作台的使用；通过设置带有插槽的插头和圆弧凸起的插座配合，实现电路实验的便捷插接，同时配合螺钉，实现电路板的固定，进而使得实验操作过程中不会造成偏移或接触不稳。
- 一种半导体实验
- [实用新型]一种半导体芯片放置盒-CN201921324918.6有效
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杨洋
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扬州信尚电子科技有限公司
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2019-08-15
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2020-06-09
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B65D85/30
- 本实用新型涉及放置盒技术领域，具体为一种半导体芯片放置盒，包括放置盒主体、密封盖和密封盒，放置盒主体包括一侧铰接的上盖和下箱体，上盖内开设有限位槽，限位槽内镶嵌连接有磁铁，限位槽内吸附连接密封盖，下箱体内开设有若干与限位槽对应的放置槽，放置槽内插接有密封盒，密封盒与密封盖对应，密封盒内放置有半导体芯片，有益效果为：有效防水防尘，防止水和灰尘接触芯片造成芯片使用效果降低，甚至是损坏芯片，而且可以全方位的防止芯片晃动振动，防止芯片与放置盒直接接触磨损影响芯片质量，有效降低碰撞对芯片的影响，保护芯片不受伤害，增加芯片储存或运输时的安全性。
- 一种半导体芯片放置
- [实用新型]一种离子注入机的控制装置-CN201921325993.4有效
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杨洋
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扬州信尚电子科技有限公司
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2019-08-15
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2020-05-19
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H05K5/06
- 本实用新型涉及离子注入机技术领域，具体为一种离子注入机的控制装置，包括控制箱主体，控制箱主体包括底端的底座，底座上端焊接箱体，箱体正面铰接有箱门，箱门正面设有凹槽，凹槽内设有控制面板，凹槽一侧铰接玻璃门，玻璃门另一端设有门锁，玻璃门上通过固定螺栓固定连接有把手，有益效果为：增加了对控制面板的保护装置，可以有效的保护控制面板，防止控制面板受到碰撞损坏或是误碰操作产生失误，提高了箱体本身的防尘防水效果，可以有效的保护内部电气元件，增加内部电气元件的使用寿命，还可以给内部电气元件增加保护装置，每组电气元件之间互相隔离，阻止火势蔓延，还可以缓冲爆炸冲击，降低爆炸威力，增加安全效果。
- 一种离子注入控制装置
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