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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种椭偏仪系统模型参数一致化控制方法及装置-CN202310281487.4在审
发明人： 戴传奇;张琪;陈军;杨成;何勇;李伟奇;张传维 -专利权人：武汉颐光科技有限公司
申请日： 2023-03-21 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： G05B19/042 文献下载
摘要：本发明涉及一种双旋转补偿器穆勒矩阵椭偏仪系统模型参数一致化控制方法及装置，通过运动控制器负反馈调节两电机原点位置角度差，来实现两旋转补偿器安装方位角相对位置固定，且该固定关系不会因为断电重启等其他因素而破坏，该做法可以让系统只采集一次两电机Z相信号时间差，就可以进行系统校准。通过加入可设置延时发送触发脉冲信号，来实现调试CS1一致化该参数目的；通过调试控制器设定两旋转补偿器安装方位角相对位置角，来实现调试CS2一致化该参数目的。将原来与安装调试有关的系统参数CS1、CS2加入调试补偿，然后将补偿后的系统参数带入系统模型进行参数量测计算。这样就可以确保不同设备的系统模型参数一致化，量测一致性就可以大大提高。
一种椭偏仪系统模型参数一致控制方法装置

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