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- [实用新型]一种新型多晶硅铸锭装置-CN202022171886.X有效
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戚凤鸣;许高升;孙宗阳
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晶海洋半导体材料（东海）有限公司
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2020-09-28
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2021-02-12
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C30B29/06
- 本实用新型公开了一种新型多晶硅铸锭装置，包括外炉，外炉包括顶盖，顶盖底部固定安装有中部炉体,中部炉体底部固定安装有底盖，顶盖顶部固定安装有卸荷口，卸荷口两侧分别固定安装有连接柱，中部炉体一侧固定安装有真空装置，中部炉体另一侧固定安装有氮气输送装置，支撑柱在靠近氮气输送装置一侧固定安装有控制器。该种新型多晶硅铸锭装置及其铸锭方法，结构简单合理，设计新颖，通过外炉有顶盖、中部炉体和底盖三段式设立，达到装置前期便于运输和安装的目的，同时便于装置后期在对多晶硅加热时，通过防护座和集硅池的设置，达到避免高温的硅液接触到炉体，保证装置的安全性，同时也对外溢的硅液进行集中回收。
- 一种新型多晶铸锭装置
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